技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種制造具有大鉆石單晶的化學(xué)機(jī)械研磨墊修整器之方法，先提供一暫時(shí)基座，該暫時(shí)基座包含一具有一平面的剛性模板以及一設(shè)置于該剛性模板的該平面上的黏著層；將復(fù)數(shù)大鉆石研磨顆粒布植于該黏著層，令該大鉆石研磨顆粒具有的一研磨端插入該黏著層而抵觸該平面，該大鉆石研磨顆粒具有一不小于300微米的粒徑；然后，移除該剛性模板，并透過一高分子結(jié)合劑與一研磨基座結(jié)合而得到一修整工具。

技術(shù)研發(fā)人員：張榮德;宋健民
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京清烯科技有限公司
文檔號(hào)碼：201710061775
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.26
技術(shù)公布日：2017.06.13