技術(shù)編號：12626244
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種制造化學(xué)機(jī)械研磨墊修整器之方法，尤指一種制造具有大鉆石單晶的化學(xué)機(jī)械研磨墊修整器之方法。背景技術(shù)在半導(dǎo)體工業(yè)中，特別在目前線寬越來越小的發(fā)展趨勢下，晶圓表面的平坦化步驟更為關(guān)鍵，目前高階制程已全面使用化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)來達(dá)到全面平坦化效果。但在化學(xué)機(jī)械研磨制程中因?yàn)閽伖鈮|會不斷的和晶圓產(chǎn)生摩擦，使得拋光墊上的溝紋逐漸消失，且化學(xué)機(jī)械研磨制程中產(chǎn)生的切削、反應(yīng)生成物等都會漸漸積存在拋光墊表面的細(xì)微溝槽中，容易造成拋光墊鈍化、堵塞，導(dǎo)致拋光墊表面劣化，容易對晶圓產(chǎn)生缺陷，因此，研磨墊修整...
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