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蒸鍍掩膜板及其制造方法與流程

文檔序號:11900385閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種蒸鍍掩膜板,其特征在于,所述蒸鍍掩膜板包括:框架及固定于所述框架上的支撐條;所述支撐條包括第一固定區(qū),所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口;所述框架包括第二固定區(qū),所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對應(yīng),所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記;通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對位置能夠得到所述支撐條和所述框架之間的相對位置。

2.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩膜板,其特征在于,當(dāng)所述標(biāo)記位于所述開口的中間位置時,所述支撐條位于所述框架的位置適當(dāng);當(dāng)所述標(biāo)記相對于所述開口偏上時,所述支撐條相對于所述框架偏下;當(dāng)所述標(biāo)記相對于所述開口偏下時,所述支撐條相對于所述框架偏上;當(dāng)所述標(biāo)記相對于所述開口偏左時,所述支撐條相對于所述框架偏右;當(dāng)所述標(biāo)記相對于所述開口偏右時,所述支撐條相對于所述框架偏左。

3.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩膜板,其特征在于,所述支撐條的數(shù)量為多個,每個支撐條均包括第一固定區(qū),每個支撐條上的第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口;所述框架包括多個第二固定區(qū),每個第二固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有標(biāo)記。

4.如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的蒸鍍掩膜板,其特征在于,所述標(biāo)記在所述框架上的投影位于所述開口在所述框架上的投影內(nèi)。

5.如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的蒸鍍掩膜板,其特征在于,所述開口位于所述第一固定區(qū)的中間位置。

6.如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的蒸鍍掩膜板,其特征在于,所述開口為規(guī)則結(jié)構(gòu)。

7.如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的蒸鍍掩膜板,其特征在于,所述標(biāo)記位于所述第二固定區(qū)的中間位置。

8.如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的蒸鍍掩膜板,其特征在于,所述標(biāo)記為規(guī)則結(jié)構(gòu)。

9.一種蒸鍍掩膜板的制造方法,其特征在于,所述蒸鍍掩膜板的制造方法包括:

提供框架及支撐條;所述支撐條包括第一固定區(qū),所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口;所述框架包括第二固定區(qū),所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對應(yīng),所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記;

將所述支撐條放置于所述框架上,并根據(jù)所述開口和所述標(biāo)記之間的相對位置調(diào)整所述支撐條與所述框架之間的相對位置;

將所述支撐條固定于所述框架上。

10.如權(quán)利要求9所述的蒸鍍掩膜板的制造方法,其特征在于,根據(jù)所述開口和所述標(biāo)記之間的相對位置調(diào)整所述支撐條與所述框架之間的相對位置主要包括:當(dāng)所述標(biāo)記相對于所述開口偏上時,將所述支撐條向上調(diào)整;當(dāng)所述標(biāo)記相對于所述開口偏下時,將所述支撐條向下調(diào)整;當(dāng)所述標(biāo)記相對于所述開口偏左時,將所述支撐條向左調(diào)整;當(dāng)所述標(biāo)記相對于所述開口偏右時,將所述支撐條向右調(diào)整。

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