本發(fā)明涉及顯示器制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍掩膜板及其制造方法。

背景技術(shù)：

有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器以其輕薄、主動(dòng)發(fā)光、快響應(yīng)速度、廣視角、色彩豐富及高亮度、低功耗、耐高低溫等眾多優(yōu)點(diǎn)而被業(yè)界公認(rèn)為是繼液晶顯示器(LCD)之后的第三代顯示技術(shù)，可以廣泛用于智能手機(jī)、平板電腦、電視等終端產(chǎn)品。

目前OLED的制作過程中采用蒸鍍掩膜板進(jìn)行蒸鍍以在基板上形成膜層。蒸鍍掩膜板通常包括框架及固定在所述框架上的支撐條。具體的，請(qǐng)參考圖1，其為現(xiàn)有的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，框架10上具有固定槽11，支撐條12需要固定于所述固定槽11中。對(duì)于有些OLED產(chǎn)品，需要較寬的支撐條12，而目前張網(wǎng)機(jī)的CCD鏡頭視野較窄，導(dǎo)致支撐條12和固定槽11不能完整出現(xiàn)在CCD鏡頭中，由此張網(wǎng)時(shí)需要不斷移動(dòng)CCD鏡頭，從而導(dǎo)致張網(wǎng)時(shí)間較長(zhǎng)，張網(wǎng)效率不高。此外，由于不能非常有效的判斷與調(diào)整支撐條12和固定槽11的相對(duì)位置，一定程度上也降低了所述支撐條12固定于所述框架10上的位置精度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種蒸鍍掩膜板及其制造方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的蒸鍍掩膜板制造過程中支撐條和固定槽不能完整出現(xiàn)在CCD鏡頭中，由此張網(wǎng)時(shí)需要不斷移動(dòng)CCD鏡頭，從而導(dǎo)致張網(wǎng)時(shí)間較長(zhǎng)，張網(wǎng)效率不高的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種蒸鍍掩膜板，所述蒸鍍掩膜板包括：框架及固定于所述框架上的支撐條；所述支撐條包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口；所述框架包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記；通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板中，當(dāng)所述標(biāo)記位于所述開口的中間位置時(shí)，所述支撐條位于所述框架的位置適當(dāng)；當(dāng)所述標(biāo)記相對(duì)于所述開口偏上時(shí)，所述支撐條相對(duì)于所述框架偏下；當(dāng)所述標(biāo)記相對(duì)于所述開口偏下時(shí)，所述支撐條相對(duì)于所述框架偏上；當(dāng)所述標(biāo)記相對(duì)于所述開口偏左時(shí)，所述支撐條相對(duì)于所述框架偏右；當(dāng)所述標(biāo)記相對(duì)于所述開口偏右時(shí)，所述支撐條相對(duì)于所述框架偏左。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板中，，所述支撐條的數(shù)量為多個(gè)，每個(gè)支撐條均包括第一固定區(qū)，每個(gè)支撐條上的第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口，所述框架包括多個(gè)第二固定區(qū)，每個(gè)第二固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有標(biāo)記。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板中，所述標(biāo)記在所述框架上的投影位于所述開口在所述框架上的投影內(nèi)。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板中，所述開口位于所述第一固定區(qū)的中間位置。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板中，所述開口為規(guī)則結(jié)構(gòu)。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板中，所述標(biāo)記位于所述第二固定區(qū)的中間位置。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板中，所述標(biāo)記為規(guī)則結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明還提供一種蒸鍍掩膜板的制造方法，所述蒸鍍掩膜板的制造方法包括：

提供框架及支撐條；所述支撐條包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口；所述框架包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記；

將所述支撐條放置于所述框架上，并根據(jù)所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條與所述框架之間的相對(duì)位置；

將所述支撐條固定于所述框架上。

可選的，在所述的蒸鍍掩膜板的制造方法中，根據(jù)所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條與所述框架之間的相對(duì)位置主要包括：當(dāng)所述標(biāo)記相對(duì)于所述開口偏上時(shí)，將所述支撐條向上調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記相對(duì)于所述開口偏下時(shí)，將所述支撐條向下調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記相對(duì)于所述開口偏左時(shí)，將所述支撐條向左調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記相對(duì)于所述開口偏右時(shí)，將所述支撐條向右調(diào)整。

在本發(fā)明提供的蒸鍍掩膜板及其制造方法中，支撐條包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口，框架包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記，通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，張網(wǎng)時(shí)所述開口和所述標(biāo)記能夠同時(shí)出現(xiàn)在CCD鏡頭中，從而便可方便、快速的根據(jù)所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，使得所述支撐條位于所述框架的位置適當(dāng)，提高了張網(wǎng)效率。進(jìn)一步的，由于通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠有效、精確的得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，從而調(diào)整時(shí)也能夠提高兩者之間的位置精度。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例一的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例二的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明實(shí)施例三的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明實(shí)施例四的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明實(shí)施例五的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中，框架-10、20、30、40、50、60；支撐條-12、21、31、41、51、61；開口-22、32、42、52、62；標(biāo)記-23、33、43、53、63；固定槽-11。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的蒸鍍掩膜板及其制造方法作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。

【實(shí)施例一】

請(qǐng)參考圖2，其為本發(fā)明實(shí)施例一的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，所述蒸鍍掩膜板2包括：框架20及固定于所述框架20上的支撐條21；所述支撐條21包括第一固定區(qū)(圖2中未示出)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口22；所述框架20包括第二固定區(qū)(圖2中未示出)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記23；通過所述開口22和所述標(biāo)記23之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條21和所述框架20之間的相對(duì)位置。

其中，所述第一固定區(qū)指所述支撐條21上用于固定(于框架20上)的區(qū)域，通常的，所述第一固定區(qū)靠近所述支撐條21的端部。所述第二固定區(qū)指所述框架20上用于固定(支撐條21)的區(qū)域。所述第一固定區(qū)與所述第二固定區(qū)的大小、形狀基本相似，當(dāng)所述支撐條21固定于所述框架20上時(shí)，所述第一固定區(qū)與所述第二固定區(qū)基本重合。

進(jìn)一步的，當(dāng)所述標(biāo)記23位于所述開口22的中間位置時(shí)，所述支撐條21位于所述框架20的位置適當(dāng)(也即所述支撐條21和所述框架20之間的相對(duì)位置符合要求)；當(dāng)所述標(biāo)記23相對(duì)于所述開口22偏上時(shí)，所述支撐條21相對(duì)于所述框架20偏下；當(dāng)所述標(biāo)記23相對(duì)于所述開口22偏下時(shí)，所述支撐條21相對(duì)于所述框架20偏上；當(dāng)所述標(biāo)記23相對(duì)于所述開口22偏左時(shí)，所述支撐條21相對(duì)于所述框架20偏右；當(dāng)所述標(biāo)記23相對(duì)于所述開口22偏右時(shí)，所述支撐條21相對(duì)于所述框架20偏左。

較佳的，所述框架20包括多個(gè)第二固定區(qū)，每個(gè)第二固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有標(biāo)記23。所述支撐條21包括兩個(gè)第一固定區(qū)，每個(gè)第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口22。由此，能夠更加方便、也更加好的調(diào)整所述支撐條21和所述框架20之間的相對(duì)位置。

請(qǐng)繼續(xù)參考圖2，在本申請(qǐng)實(shí)施例中，示出了一根支撐條21。在本申請(qǐng)的其他實(shí)施例中，所述支撐條21的數(shù)量可以多個(gè)。相應(yīng)的，每個(gè)支撐條21均包括第一固定區(qū)，每個(gè)支撐條21上的第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口22。優(yōu)選的，每個(gè)支撐條21均包括兩個(gè)第一固定區(qū)，每個(gè)支撐條21上的每個(gè)第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口22。

優(yōu)選的，所述標(biāo)記23在所述框架20上的投影位于所述開口22在所述框架20上的投影內(nèi)，即所述標(biāo)記23小于所述開口22(包括面積、截面寬度等參數(shù))。由此，所述標(biāo)記23能夠完整的出現(xiàn)在所述開口22內(nèi)，從而便于觀察兩者之間的相對(duì)位置。

在本申請(qǐng)實(shí)施例中，所述開口22位于所述第一固定區(qū)的中間位置；所述標(biāo)記23位于所述第二固定區(qū)的中間位置。由此可以進(jìn)一步降低所述開口22和所述標(biāo)記23之間的相對(duì)距離，從而使得張網(wǎng)時(shí)所述開口22和所述標(biāo)記23能夠更快、更好的同時(shí)出現(xiàn)在CCD鏡頭中。較佳的，所述開口22為規(guī)則結(jié)構(gòu)，例如，所述開口22可以為圓形結(jié)構(gòu)(開口)、方形結(jié)構(gòu)(開口)、三角形結(jié)構(gòu)(開口)、菱形結(jié)構(gòu)(開口)或者梯形結(jié)構(gòu)(開口)等；所述標(biāo)記23為規(guī)則結(jié)構(gòu)，所述標(biāo)記23可以為圓形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、方形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、三角形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、菱形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、梯形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、“一”形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、“土”形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)或者形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)等。更優(yōu)的，所述開口22及所述標(biāo)記23均為對(duì)稱結(jié)構(gòu)。在本申請(qǐng)實(shí)施例中，所述開口22為圓形結(jié)構(gòu)(開口)，所述標(biāo)記23為圓形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)。

進(jìn)一步的，本實(shí)施例還提供一種蒸鍍掩膜板的制造方法(可相應(yīng)參考圖2)，所述蒸鍍掩膜板的制造方法包括：

提供框架20及支撐條21；所述支撐條21包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口22；所述框架20包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記23；

將所述支撐條21放置于所述框架20上，并根據(jù)所述開口22和所述標(biāo)記23之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條21與所述框架20之間的相對(duì)位置；

將所述支撐條21固定于所述框架20上。

在此，根據(jù)所述開口22和所述標(biāo)記23之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條21與所述框架20之間的相對(duì)位置主要包括：當(dāng)所述標(biāo)記23相對(duì)于所述開口22偏上時(shí)，將所述支撐條21向(所述框架20的)上調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記23相對(duì)于所述開口22偏下時(shí)，將所述支撐條21向(所述框架20的)下調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記23相對(duì)于所述開口22偏左時(shí)，將所述支撐條21向(所述框架20的)左調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記23相對(duì)于所述開口22偏右時(shí)，將所述支撐條21向(所述框架20的)右調(diào)整。

綜上可見，在本申請(qǐng)實(shí)施例中，通過支撐條包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口，框架包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記，通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，張網(wǎng)時(shí)所述開口和所述標(biāo)記能夠同時(shí)出現(xiàn)在CCD鏡頭中，從而便可方便、快速的根據(jù)所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，使得所述支撐條位于所述框架的位置適當(dāng)，提高了張網(wǎng)效率。進(jìn)一步的，由于通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠有效、精確的得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，從而調(diào)整時(shí)也能夠提高兩者之間的位置精度。

【實(shí)施例二】

請(qǐng)參考圖3，其為本發(fā)明實(shí)施例二的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，所述蒸鍍掩膜板3包括：框架30及固定于所述框架30上的支撐條31；所述支撐條31包括第一固定區(qū)(圖3中未示出)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口32；所述框架30包括第二固定區(qū)(圖3中未示出)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記33；通過所述開口32和所述標(biāo)記33之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條31和所述框架30之間的相對(duì)位置。

其中，所述第一固定區(qū)指所述支撐條31上用于固定(于框架30上)的區(qū)域，通常的，所述第一固定區(qū)靠近所述支撐條31的端部。所述第二固定區(qū)指所述框架30上用于固定(支撐條31)的區(qū)域。所述第一固定區(qū)與所述第二固定區(qū)的大小、形狀基本相似，當(dāng)所述支撐條31固定于所述框架30上時(shí)，所述第一固定區(qū)與所述第二固定區(qū)基本重合。

進(jìn)一步的，當(dāng)所述標(biāo)記33位于所述開口32的中間位置時(shí)，所述支撐條31位于所述框架30的位置適當(dāng)(也即所述支撐條31和所述框架30之間的相對(duì)位置符合要求)；當(dāng)所述標(biāo)記33相對(duì)于所述開口32偏上時(shí)，所述支撐條31相對(duì)于所述框架30偏下；當(dāng)所述標(biāo)記33相對(duì)于所述開口32偏下時(shí)，所述支撐條31相對(duì)于所述框架30偏上；當(dāng)所述標(biāo)記33相對(duì)于所述開口32偏左時(shí)，所述支撐條31相對(duì)于所述框架30偏右；當(dāng)所述標(biāo)記33相對(duì)于所述開口32偏右時(shí)，所述支撐條31相對(duì)于所述框架30偏左。

較佳的，所述框架30包括多個(gè)第二固定區(qū)，每個(gè)第二固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有標(biāo)記33。所述支撐條31包括兩個(gè)第一固定區(qū)，每個(gè)第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口32。由此，能夠更加方便、也更加好的調(diào)整所述支撐條31和所述框架30之間的相對(duì)位置。

請(qǐng)繼續(xù)參考圖3，在本申請(qǐng)實(shí)施例中，示出了一根支撐條31。在本申請(qǐng)的其他實(shí)施例中，所述支撐條31的數(shù)量可以多個(gè)。相應(yīng)的，每個(gè)支撐條31均包括第一固定區(qū)，每個(gè)支撐條31上的第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口32。優(yōu)選的，每個(gè)支撐條31均包括兩個(gè)第一固定區(qū)，每個(gè)支撐條31上的每個(gè)第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口32。

優(yōu)選的，所述標(biāo)記33在所述框架30上的投影位于所述開口32在所述框架30上的投影內(nèi)，即所述標(biāo)記33小于所述開口32(包括面積、截面寬度等參數(shù))。由此，所述標(biāo)記33能夠完整的出現(xiàn)在所述開口32內(nèi)，從而便于觀察兩者之間的相對(duì)位置。

在本申請(qǐng)實(shí)施例中，所述開口32位于所述第一固定區(qū)的中間位置；所述標(biāo)記33位于所述第二固定區(qū)的中間位置。由此可以進(jìn)一步降低所述開口32和所述標(biāo)記33之間的相對(duì)距離，從而使得張網(wǎng)時(shí)所述開口32和所述標(biāo)記33能夠更快、更好的同時(shí)出現(xiàn)在CCD鏡頭中。較佳的，所述開口32為規(guī)則結(jié)構(gòu)，例如，所述開口32可以為圓形結(jié)構(gòu)(開口)、方形結(jié)構(gòu)(開口)、三角形結(jié)構(gòu)(開口)、菱形結(jié)構(gòu)(開口)或者梯形結(jié)構(gòu)(開口)等；所述標(biāo)記33為規(guī)則結(jié)構(gòu)，所述標(biāo)記33可以為圓形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、方形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、三角形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、菱形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、梯形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、“一”形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、“土”形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)或者形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)等。更優(yōu)的，所述開口32及所述標(biāo)記33均為對(duì)稱結(jié)構(gòu)。在本申請(qǐng)實(shí)施例中，所述開口32為圓形結(jié)構(gòu)(開口)，所述標(biāo)記33為方形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)。

進(jìn)一步的，本實(shí)施例還提供一種蒸鍍掩膜板的制造方法(可相應(yīng)參考圖3)，所述蒸鍍掩膜板的制造方法包括：

提供框架30及支撐條31；所述支撐條31包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口32；所述框架30包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記33；

將所述支撐條31放置于所述框架30上，并根據(jù)所述開口32和所述標(biāo)記33之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條31與所述框架30之間的相對(duì)位置；

將所述支撐條31固定于所述框架30上。

在此，根據(jù)所述開口32和所述標(biāo)記33之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條31與所述框架30之間的相對(duì)位置主要包括：當(dāng)所述標(biāo)記33相對(duì)于所述開口32偏上時(shí)，將所述支撐條31向(所述框架30的)上調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記33相對(duì)于所述開口32偏下時(shí)，將所述支撐條31向(所述框架30的)下調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記33相對(duì)于所述開口32偏左時(shí)，將所述支撐條31向(所述框架30的)左調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記33相對(duì)于所述開口32偏右時(shí)，將所述支撐條31向(所述框架30的)右調(diào)整。

綜上可見，在本申請(qǐng)實(shí)施例中，通過支撐條包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口，框架包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記，通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，張網(wǎng)時(shí)所述開口和所述標(biāo)記能夠同時(shí)出現(xiàn)在CCD鏡頭中，從而便可方便、快速的根據(jù)所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，使得所述支撐條位于所述框架的位置適當(dāng)，提高了張網(wǎng)效率。進(jìn)一步的，由于通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠有效、精確的得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，從而調(diào)整時(shí)也能夠提高兩者之間的位置精度。

【實(shí)施例三】

請(qǐng)參考圖4，其為本發(fā)明實(shí)施例三的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，所述蒸鍍掩膜板4包括：框架40及固定于所述框架40上的支撐條41；所述支撐條41包括第一固定區(qū)(圖4中未示出)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口42；所述框架40包括第二固定區(qū)(圖4中未示出)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記43；通過所述開口42和所述標(biāo)記43之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條41和所述框架40之間的相對(duì)位置。

其中，所述第一固定區(qū)指所述支撐條41上用于固定(于框架40上)的區(qū)域，通常的，所述第一固定區(qū)靠近所述支撐條41的端部。所述第二固定區(qū)指所述框架40上用于固定(支撐條41)的區(qū)域。所述第一固定區(qū)與所述第二固定區(qū)的大小、形狀基本相似，當(dāng)所述支撐條41固定于所述框架40上時(shí)，所述第一固定區(qū)與所述第二固定區(qū)基本重合。

進(jìn)一步的，當(dāng)所述標(biāo)記43位于所述開口42的中間位置時(shí)，所述支撐條41位于所述框架40的位置適當(dāng)(也即所述支撐條41和所述框架40之間的相對(duì)位置符合要求)；當(dāng)所述標(biāo)記43相對(duì)于所述開口42偏上時(shí)，所述支撐條41相對(duì)于所述框架40偏下；當(dāng)所述標(biāo)記43相對(duì)于所述開口42偏下時(shí)，所述支撐條41相對(duì)于所述框架40偏上；當(dāng)所述標(biāo)記43相對(duì)于所述開口42偏左時(shí)，所述支撐條41相對(duì)于所述框架40偏右；當(dāng)所述標(biāo)記43相對(duì)于所述開口42偏右時(shí)，所述支撐條41相對(duì)于所述框架40偏左。

較佳的，所述框架40包括多個(gè)第二固定區(qū)，每個(gè)第二固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有標(biāo)記43。所述支撐條41包括兩個(gè)第一固定區(qū)，每個(gè)第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口42。由此，能夠更加方便、也更加好的調(diào)整所述支撐條41和所述框架40之間的相對(duì)位置。

請(qǐng)繼續(xù)參考圖4，在本申請(qǐng)實(shí)施例中，示出了一根支撐條41。在本申請(qǐng)的其他實(shí)施例中，所述支撐條41的數(shù)量可以多個(gè)。相應(yīng)的，每個(gè)支撐條41均包括第一固定區(qū)，每個(gè)支撐條41上的第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口42。優(yōu)選的，每個(gè)支撐條41均包括兩個(gè)第一固定區(qū)，每個(gè)支撐條41上的每個(gè)第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口42。

優(yōu)選的，所述標(biāo)記43在所述框架40上的投影位于所述開口42在所述框架40上的投影內(nèi)，即所述標(biāo)記43小于所述開口42(包括面積、截面寬度等參數(shù))。由此，所述標(biāo)記43能夠完整的出現(xiàn)在所述開口42內(nèi)，從而便于觀察兩者之間的相對(duì)位置。

在本申請(qǐng)實(shí)施例中，所述開口42位于所述第一固定區(qū)的中間位置；所述標(biāo)記43位于所述第二固定區(qū)的中間位置。由此可以進(jìn)一步降低所述開口42和所述標(biāo)記43之間的相對(duì)距離，從而使得張網(wǎng)時(shí)所述開口42和所述標(biāo)記43能夠更快、更好的同時(shí)出現(xiàn)在CCD鏡頭中。較佳的，所述開口42為規(guī)則結(jié)構(gòu)，例如，所述開口42可以為圓形結(jié)構(gòu)(開口)、方形結(jié)構(gòu)(開口)、三角形結(jié)構(gòu)(開口)、菱形結(jié)構(gòu)(開口)或者梯形結(jié)構(gòu)(開口)等；所述標(biāo)記43為規(guī)則結(jié)構(gòu)，所述標(biāo)記43可以為圓形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、方形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、三角形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、菱形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、梯形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、“一”形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、“土”形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)或者形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)等。更優(yōu)的，所述開口42及所述標(biāo)記43均為對(duì)稱結(jié)構(gòu)。在本申請(qǐng)實(shí)施例中，所述開口42為三角形結(jié)構(gòu)(開口)，所述標(biāo)記43為三角形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)。

進(jìn)一步的，本實(shí)施例還提供一種蒸鍍掩膜板的制造方法(可相應(yīng)參考圖4)，所述蒸鍍掩膜板的制造方法包括：

提供框架40及支撐條41；所述支撐條41包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口42；所述框架40包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記43；

將所述支撐條41放置于所述框架40上，并根據(jù)所述開口42和所述標(biāo)記43之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條41與所述框架40之間的相對(duì)位置；

將所述支撐條41固定于所述框架40上。

在此，根據(jù)所述開口42和所述標(biāo)記43之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條41與所述框架40之間的相對(duì)位置主要包括：當(dāng)所述標(biāo)記43相對(duì)于所述開口42偏上時(shí)，將所述支撐條41向(所述框架40的)上調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記43相對(duì)于所述開口42偏下時(shí)，將所述支撐條41向(所述框架40的)下調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記43相對(duì)于所述開口42偏左時(shí)，將所述支撐條41向(所述框架40的)左調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記43相對(duì)于所述開口42偏右時(shí)，將所述支撐條41向(所述框架40的)右調(diào)整。

綜上可見，在本申請(qǐng)實(shí)施例中，通過支撐條包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口，框架包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記，通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，張網(wǎng)時(shí)所述開口和所述標(biāo)記能夠同時(shí)出現(xiàn)在CCD鏡頭中，從而便可方便、快速的根據(jù)所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，使得所述支撐條位于所述框架的位置適當(dāng)，提高了張網(wǎng)效率。進(jìn)一步的，由于通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠有效、精確的得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，從而調(diào)整時(shí)也能夠提高兩者之間的位置精度。

【實(shí)施例四】

請(qǐng)參考圖5，其為本發(fā)明實(shí)施例四的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖5所示，所述蒸鍍掩膜板5包括：框架50及固定于所述框架50上的支撐條51；所述支撐條51包括第一固定區(qū)(圖5中未示出)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口52；所述框架50包括第二固定區(qū)(圖5中未示出)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記53；通過所述開口52和所述標(biāo)記53之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條51和所述框架50之間的相對(duì)位置。

其中，所述第一固定區(qū)指所述支撐條51上用于固定(于框架50上)的區(qū)域，通常的，所述第一固定區(qū)靠近所述支撐條51的端部。所述第二固定區(qū)指所述框架50上用于固定(支撐條51)的區(qū)域。所述第一固定區(qū)與所述第二固定區(qū)的大小、形狀基本相似，當(dāng)所述支撐條51固定于所述框架50上時(shí)，所述第一固定區(qū)與所述第二固定區(qū)基本重合。

進(jìn)一步的，當(dāng)所述標(biāo)記53位于所述開口52的中間位置時(shí)，所述支撐條51位于所述框架50的位置適當(dāng)(也即所述支撐條51和所述框架50之間的相對(duì)位置符合要求)；當(dāng)所述標(biāo)記53相對(duì)于所述開口52偏上時(shí)，所述支撐條51相對(duì)于所述框架50偏下；當(dāng)所述標(biāo)記53相對(duì)于所述開口52偏下時(shí)，所述支撐條51相對(duì)于所述框架50偏上；當(dāng)所述標(biāo)記53相對(duì)于所述開口52偏左時(shí)，所述支撐條51相對(duì)于所述框架50偏右；當(dāng)所述標(biāo)記53相對(duì)于所述開口52偏右時(shí)，所述支撐條51相對(duì)于所述框架50偏左。

較佳的，所述框架50包括多個(gè)第二固定區(qū)，每個(gè)第二固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有標(biāo)記53。所述支撐條51包括兩個(gè)第一固定區(qū)，每個(gè)第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口52。由此，能夠更加方便、也更加好的調(diào)整所述支撐條51和所述框架50之間的相對(duì)位置。

請(qǐng)繼續(xù)參考圖5，在本申請(qǐng)實(shí)施例中，示出了一根支撐條51。在本申請(qǐng)的其他實(shí)施例中，所述支撐條51的數(shù)量可以多個(gè)。相應(yīng)的，每個(gè)支撐條51均包括第一固定區(qū)，每個(gè)支撐條51上的第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口52。優(yōu)選的，每個(gè)支撐條51均包括兩個(gè)第一固定區(qū)，每個(gè)支撐條51上的每個(gè)第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口52。

優(yōu)選的，所述標(biāo)記53在所述框架50上的投影位于所述開口52在所述框架50上的投影內(nèi)，即所述標(biāo)記53小于所述開口52(包括面積、截面寬度等參數(shù))。由此，所述標(biāo)記53能夠完整的出現(xiàn)在所述開口52內(nèi)，從而便于觀察兩者之間的相對(duì)位置。

在本申請(qǐng)實(shí)施例中，所述開口52位于所述第一固定區(qū)的中間位置；所述標(biāo)記53位于所述第二固定區(qū)的中間位置。由此可以進(jìn)一步降低所述開口52和所述標(biāo)記53之間的相對(duì)距離，從而使得張網(wǎng)時(shí)所述開口52和所述標(biāo)記53能夠更快、更好的同時(shí)出現(xiàn)在CCD鏡頭中。較佳的，所述開口52為規(guī)則結(jié)構(gòu)，例如，所述開口52可以為圓形結(jié)構(gòu)(開口)、方形結(jié)構(gòu)(開口)、三角形結(jié)構(gòu)(開口)、菱形結(jié)構(gòu)(開口)或者梯形結(jié)構(gòu)(開口)等；所述標(biāo)記53為規(guī)則結(jié)構(gòu)，所述標(biāo)記53可以為圓形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、方形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、三角形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、菱形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、梯形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、“一”形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、“土”形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)或者形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)等。更優(yōu)的，所述開口52及所述標(biāo)記53均為對(duì)稱結(jié)構(gòu)。在本申請(qǐng)實(shí)施例中，所述開口52為方形結(jié)構(gòu)(開口)，所述標(biāo)記53為“一”形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)。其中，方形開口52具有相互垂直的水平側(cè)邊和豎直側(cè)邊，所述“一”形標(biāo)記53為水平線條，由此，通過所述方形開口52和所述“一”形標(biāo)記53能夠更加容易的觀察所述開口52和所述標(biāo)記53在豎直方向上的相對(duì)位置關(guān)系，從而能夠進(jìn)一步提高張網(wǎng)效率及支撐條51和框架50之間的位置精度。

進(jìn)一步的，本實(shí)施例還提供一種蒸鍍掩膜板的制造方法(可相應(yīng)參考圖5)，所述蒸鍍掩膜板的制造方法包括：

提供框架50及支撐條51；所述支撐條51包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口52；所述框架50包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記53；

將所述支撐條51放置于所述框架50上，并根據(jù)所述開口52和所述標(biāo)記53之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條51與所述框架50之間的相對(duì)位置；

將所述支撐條51固定于所述框架50上。

在此，根據(jù)所述開口52和所述標(biāo)記53之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條51與所述框架50之間的相對(duì)位置主要包括：當(dāng)所述標(biāo)記53相對(duì)于所述開口52偏上時(shí)，將所述支撐條51向(所述框架50的)上調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記53相對(duì)于所述開口52偏下時(shí)，將所述支撐條51向(所述框架50的)下調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記53相對(duì)于所述開口52偏左時(shí)，將所述支撐條51向(所述框架50的)左調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記53相對(duì)于所述開口52偏右時(shí)，將所述支撐條51向(所述框架50的)右調(diào)整。

綜上可見，在本申請(qǐng)實(shí)施例中，通過支撐條包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口，框架包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記，通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，張網(wǎng)時(shí)所述開口和所述標(biāo)記能夠同時(shí)出現(xiàn)在CCD鏡頭中，從而便可方便、快速的根據(jù)所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，使得所述支撐條位于所述框架的位置適當(dāng)，提高了張網(wǎng)效率。進(jìn)一步的，由于通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠有效、精確的得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，從而調(diào)整時(shí)也能夠提高兩者之間的位置精度。

【實(shí)施例五】

請(qǐng)參考圖6，其為本發(fā)明實(shí)施例五的蒸鍍掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖6所示，所述蒸鍍掩膜板6包括：框架60及固定于所述框架60上的支撐條61；所述支撐條61包括第一固定區(qū)(圖6中未示出)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口62；所述框架60包括第二固定區(qū)(圖6中未示出)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記63；通過所述開口62和所述標(biāo)記63之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條61和所述框架60之間的相對(duì)位置。

其中，所述第一固定區(qū)指所述支撐條61上用于固定(于框架60上)的區(qū)域，通常的，所述第一固定區(qū)靠近所述支撐條61的端部。所述第二固定區(qū)指所述框架60上用于固定(支撐條61)的區(qū)域。所述第一固定區(qū)與所述第二固定區(qū)的大小、形狀基本相似，當(dāng)所述支撐條61固定于所述框架60上時(shí)，所述第一固定區(qū)與所述第二固定區(qū)基本重合。

進(jìn)一步的，當(dāng)所述標(biāo)記63位于所述開口62的中間位置時(shí)，所述支撐條61位于所述框架60的位置適當(dāng)(也即所述支撐條61和所述框架60之間的相對(duì)位置符合要求)；當(dāng)所述標(biāo)記63相對(duì)于所述開口62偏上時(shí)，所述支撐條61相對(duì)于所述框架60偏下；當(dāng)所述標(biāo)記63相對(duì)于所述開口62偏下時(shí)，所述支撐條61相對(duì)于所述框架60偏上；當(dāng)所述標(biāo)記63相對(duì)于所述開口62偏左時(shí)，所述支撐條61相對(duì)于所述框架60偏右；當(dāng)所述標(biāo)記63相對(duì)于所述開口62偏右時(shí)，所述支撐條61相對(duì)于所述框架60偏左。

較佳的，所述框架60包括多個(gè)第二固定區(qū)，每個(gè)第二固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有標(biāo)記63。所述支撐條61包括兩個(gè)第一固定區(qū)，每個(gè)第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口62。由此，能夠更加方便、也更加好的調(diào)整所述支撐條61和所述框架60之間的相對(duì)位置。

請(qǐng)繼續(xù)參考圖6，在本申請(qǐng)實(shí)施例中，示出了一根支撐條61。在本申請(qǐng)的其他實(shí)施例中，所述支撐條61的數(shù)量可以多個(gè)。相應(yīng)的，每個(gè)支撐條61均包括第一固定區(qū)，每個(gè)支撐條61上的第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口62。優(yōu)選的，每個(gè)支撐條61均包括兩個(gè)第一固定區(qū)，每個(gè)支撐條61上的每個(gè)第一固定區(qū)內(nèi)均設(shè)置有開口62。

優(yōu)選的，所述標(biāo)記63在所述框架60上的投影位于所述開口62在所述框架60上的投影內(nèi)，即所述標(biāo)記63小于所述開口62(包括面積、截面寬度等參數(shù))。由此，所述標(biāo)記63能夠完整的出現(xiàn)在所述開口62內(nèi)，從而便于觀察兩者之間的相對(duì)位置。

在本申請(qǐng)實(shí)施例中，所述開口62位于所述第一固定區(qū)的中間位置；所述標(biāo)記63位于所述第二固定區(qū)的中間位置。由此可以進(jìn)一步降低所述開口62和所述標(biāo)記63之間的相對(duì)距離，從而使得張網(wǎng)時(shí)所述開口62和所述標(biāo)記63能夠更快、更好的同時(shí)出現(xiàn)在CCD鏡頭中。較佳的，所述開口62為規(guī)則結(jié)構(gòu)，例如，所述開口62可以為圓形結(jié)構(gòu)(開口)、方形結(jié)構(gòu)(開口)、三角形結(jié)構(gòu)(開口)、菱形結(jié)構(gòu)(開口)或者梯形結(jié)構(gòu)(開口)等；所述標(biāo)記63為規(guī)則結(jié)構(gòu)，所述標(biāo)記63可以為圓形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、方形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、三角形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、菱形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、梯形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、“一”形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)、“土”形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)或者形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)等。更優(yōu)的，所述開口62及所述標(biāo)記63均為對(duì)稱結(jié)構(gòu)。在本申請(qǐng)實(shí)施例中，所述開口62為方形結(jié)構(gòu)(開口)，所述標(biāo)記63為形結(jié)構(gòu)(標(biāo)記)。其中，方形開口62具有相互垂直的水平側(cè)邊和豎直側(cè)邊，所述形標(biāo)記63具有相互垂直的水平線條和豎直線條，由此，通過所述方形開口62和所述形標(biāo)記63能夠更加容易的觀察所述開口62和所述標(biāo)記63在水平方向和豎直方向上的相對(duì)位置關(guān)系，從而能夠進(jìn)一步提高張網(wǎng)效率及支撐條61和框架60之間的位置精度。

進(jìn)一步的，本實(shí)施例還提供一種蒸鍍掩膜板的制造方法(可相應(yīng)參考圖6)，所述蒸鍍掩膜板的制造方法包括：

提供框架60及支撐條61；所述支撐條61包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口62；所述框架60包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記63；

將所述支撐條61放置于所述框架60上，并根據(jù)所述開口62和所述標(biāo)記63之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條61與所述框架60之間的相對(duì)位置；

將所述支撐條61固定于所述框架60上。

在此，根據(jù)所述開口62和所述標(biāo)記63之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條61與所述框架60之間的相對(duì)位置主要包括：當(dāng)所述標(biāo)記63相對(duì)于所述開口62偏上時(shí)，將所述支撐條61向(所述框架60的)上調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記63相對(duì)于所述開口62偏下時(shí)，將所述支撐條61向(所述框架60的)下調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記63相對(duì)于所述開口62偏左時(shí)，將所述支撐條61向(所述框架60的)左調(diào)整；當(dāng)所述標(biāo)記63相對(duì)于所述開口62偏右時(shí)，將所述支撐條61向(所述框架60的)右調(diào)整。

綜上可見，在本申請(qǐng)實(shí)施例中，通過支撐條包括第一固定區(qū)，所述第一固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有開口，框架包括第二固定區(qū)，所述第二固定區(qū)與所述第一固定區(qū)對(duì)應(yīng)，所述第二固定區(qū)內(nèi)設(shè)置有標(biāo)記，通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，張網(wǎng)時(shí)所述開口和所述標(biāo)記能夠同時(shí)出現(xiàn)在CCD鏡頭中，從而便可方便、快速的根據(jù)所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置調(diào)整所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，使得所述支撐條位于所述框架的位置適當(dāng)，提高了張網(wǎng)效率。進(jìn)一步的，由于通過所述開口和所述標(biāo)記之間的相對(duì)位置能夠有效、精確的得到所述支撐條和所述框架之間的相對(duì)位置，從而調(diào)整時(shí)也能夠提高兩者之間的位置精度。

上述描述僅是對(duì)本發(fā)明較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本發(fā)明范圍的任何限定，本發(fā)明領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。