技術總結
一種帶有組合模具的充氣流量可調的管式爐，它涉及一種管式爐，具體涉及一種帶有組合模具的充氣流量可調的管式爐。本實用新型為了解決現(xiàn)有管式爐進行化學氣相沉積反應時，其內部可用空間較小的問題。本實用新型包括爐殼、耐熱絕緣材料層、第一電極、第二電極、熱電偶和多個電熱棒，耐熱絕緣材料層設置在爐殼內，多個電熱棒沿圓周方向均布插裝在耐熱絕緣材料層，第一電極、第二電極、熱電偶均與電熱棒連接，本實用新型還包括前模具、后模具、前擋板和后擋板，前模具和后模具由前至后并排設置在耐熱絕緣層內，前擋板設置在前模具的外側，后擋板設置在后模具的外側，前模具和后模具上均布設有多個第一通孔和第二通孔。本實用新型屬于化工領域。

技術研發(fā)人員：李成海;丁佩嶺;孫鵬飛;張云龍;張瑞霞;胡明
受保護的技術使用者：佳木斯大學
文檔號碼：201621404270
技術研發(fā)日：2016.12.20
技術公布日：2017.09.05