1.一種旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)，包括固定屏蔽（3），轉(zhuǎn)動屏蔽（7）和傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述固定屏蔽（3）為筒狀結(jié)構(gòu)，筒狀的固定屏蔽（3）朝向真空室（1）內(nèi)側(cè)的側(cè)邊設(shè)置有豎直布置的開口；所述傳動機(jī)構(gòu)包括主動鏈輪（9），傳動鏈條（8）和從動鏈輪（4），從動鏈輪（4）設(shè)置在固定屏蔽（3）外側(cè)的上部，從動鏈輪（4）與固定屏蔽（3）之間設(shè)置有連接座（6），從動鏈輪（4）套接在連接座（6）的外側(cè)，從動鏈輪（4）與連接座（6）之間設(shè)置有從動輪軸承（5）；所述轉(zhuǎn)動屏蔽（7）的橫截面為弧形結(jié)構(gòu)，轉(zhuǎn)動屏蔽（7）的上端與從動鏈輪（4）的下端面相連，轉(zhuǎn)動屏蔽（7）沿豎直方向布置在固定屏蔽（3）的外部，轉(zhuǎn)動屏蔽（7）遮擋住固定屏蔽（3）側(cè)邊的開口；主動鏈輪（9）通過傳動鏈條（8）與從動鏈輪（4）相連，主動鏈輪（9）的回轉(zhuǎn)中心設(shè)置有豎直向上的旋轉(zhuǎn)軸（13），旋轉(zhuǎn)軸（13）的中部設(shè)置有偏心軸承座（10），旋轉(zhuǎn)軸（13）與偏心軸承座（10）之間設(shè)置有主動輪軸承（11），偏心軸承座（10）的下部法蘭上設(shè)置有法蘭壓蓋（14）；旋轉(zhuǎn)軸（13）的上部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)氣缸（12），旋轉(zhuǎn)氣缸（12）的轉(zhuǎn)動輸出端與旋轉(zhuǎn)軸（13）的上端相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述固定屏蔽（3）側(cè)邊設(shè)置的豎直開口的圓心角為60°～120°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)軸（13）上部設(shè)置的旋轉(zhuǎn)氣缸（12）的旋轉(zhuǎn)角度為90°、180°或270°。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述從動鏈輪（4）與連接座（6）之間設(shè)置的從動輪軸承（5）為陶瓷軸承。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述固定屏蔽（3）和轉(zhuǎn)動屏蔽（7）的材料均為不銹鋼。