本實(shí)用新型屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，傳動(dòng)平穩(wěn)可靠，調(diào)整方便快捷的旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

在現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)與工業(yè)生產(chǎn)中，真空鍍膜技術(shù)處于非常重要的地位，特別是真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜，是應(yīng)用極其廣泛的物理氣相沉積鍍膜方法。

對(duì)于設(shè)有側(cè)壁加熱器和使用不同成分靶材的真空鍍膜機(jī)，通常存在需要進(jìn)行屏蔽的問(wèn)題，即：當(dāng)其中一種成分的鍍膜靶工作時(shí)，其余未工作而成分不同的鍍膜靶靶面，以及加熱器的輻射面，都會(huì)受到工作靶膜材成分的污染，也將被鍍膜，從而造成加熱器輻射能力的下降和其余靶表面成分的改變，為后續(xù)鍍膜作業(yè)帶來(lái)困難。特別是近年來(lái)復(fù)合膜、梯度膜的鍍制工藝要求日益增多，對(duì)膜材成分的控制要求更加嚴(yán)格，鍍膜靶的屏蔽問(wèn)題就顯得日益突出。實(shí)際上，正如鍍膜真空室的所有空余內(nèi)壁面都加設(shè)屏蔽板一樣，多靶位真空鍍膜機(jī)的加熱器和鍍膜靶前面也加裝有屏蔽板，以防止不同材料靶材之間的污染，保證表面鍍制有多種材料的復(fù)合涂層產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定性。

現(xiàn)有技術(shù)鍍膜靶屏蔽的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)大多采用張緊輪結(jié)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)占用空間大，并且需要加設(shè)屏蔽，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間使用后的可靠性下降，調(diào)整不便，嚴(yán)重影響真空鍍膜機(jī)的鍍膜質(zhì)量和效率。故有必要對(duì)現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型就是針對(duì)上述問(wèn)題，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，傳動(dòng)平穩(wěn)可靠，調(diào)整方便快捷的旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：該旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)包括固定屏蔽，轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其技術(shù)要點(diǎn)是：所述固定屏蔽為筒狀結(jié)構(gòu)，筒狀的固定屏蔽朝向真空室內(nèi)側(cè)的側(cè)邊設(shè)置有豎直布置的開(kāi)口；所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)鏈輪，傳動(dòng)鏈條和從動(dòng)鏈輪，從動(dòng)鏈輪設(shè)置在固定屏蔽外側(cè)的上部，從動(dòng)鏈輪與固定屏蔽之間設(shè)置有連接座，從動(dòng)鏈輪套接在連接座的外側(cè)，從動(dòng)鏈輪與連接座之間設(shè)置有從動(dòng)輪軸承；所述轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽的橫截面為弧形結(jié)構(gòu)，轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽的上端與從動(dòng)鏈輪的下端面相連，轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽沿豎直方向布置在固定屏蔽的外部，轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽遮擋住固定屏蔽側(cè)邊的開(kāi)口；主動(dòng)鏈輪通過(guò)傳動(dòng)鏈條與從動(dòng)鏈輪相連，主動(dòng)鏈輪的回轉(zhuǎn)中心設(shè)置有豎直向上的旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸的中部設(shè)置有偏心軸承座，旋轉(zhuǎn)軸與偏心軸承座之間設(shè)置有主動(dòng)輪軸承，偏心軸承座的下部法蘭上設(shè)置有法蘭壓蓋；旋轉(zhuǎn)軸的上部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)氣缸，旋轉(zhuǎn)氣缸的轉(zhuǎn)動(dòng)輸出端與旋轉(zhuǎn)軸的上端相連。

所述固定屏蔽側(cè)邊設(shè)置的豎直開(kāi)口的圓心角為60°～120°。

所述旋轉(zhuǎn)軸上部設(shè)置的旋轉(zhuǎn)氣缸的旋轉(zhuǎn)角度為90°、180°或270°。

所述從動(dòng)鏈輪與連接座之間設(shè)置的從動(dòng)輪軸承為陶瓷軸承。

所述固定屏蔽和轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽的材料均為不銹鋼。

本實(shí)用新型的有益效果：由于本實(shí)用新型采用筒狀的固定屏蔽朝向真空室內(nèi)側(cè)的側(cè)邊開(kāi)設(shè)豎直的開(kāi)口，由主動(dòng)鏈輪、傳動(dòng)鏈條和從動(dòng)鏈輪組成的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，從動(dòng)鏈輪設(shè)置在固定屏蔽外側(cè)的上部，從動(dòng)鏈輪與固定屏蔽之間設(shè)置有連接座，從動(dòng)鏈輪通過(guò)從動(dòng)輪軸承套接在連接座的外側(cè)，轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽與從動(dòng)鏈輪相連，轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽沿豎直方向布置在固定屏蔽的外部；主動(dòng)鏈輪通過(guò)傳動(dòng)鏈條與從動(dòng)鏈輪相連，主動(dòng)鏈輪的回轉(zhuǎn)中心設(shè)置豎直向上的旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸的中部通過(guò)主動(dòng)輪軸承與偏心軸承座相連，偏心軸承座的下部設(shè)置有法蘭壓蓋；旋轉(zhuǎn)軸的上部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)氣缸的結(jié)構(gòu)形式，所以其設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，占用空間合理，傳動(dòng)平穩(wěn)可靠，調(diào)整方便，保證了真空鍍膜機(jī)的鍍膜質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1沿A-A線的剖視圖。

圖中序號(hào)說(shuō)明：1真空室、2圓柱靶、3固定屏蔽、4從動(dòng)鏈輪、5從動(dòng)輪軸承、6連接座、7轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽、8傳動(dòng)鏈條、9主動(dòng)鏈輪、10偏心軸承座、11主動(dòng)輪軸承、12旋轉(zhuǎn)氣缸、13旋轉(zhuǎn)軸、14法蘭壓蓋、15螺栓。

具體實(shí)施方式

根據(jù)圖1～2詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)。該旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)包括筒狀結(jié)構(gòu)的固定屏蔽3，布置在固定屏蔽3外側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽7以及傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中筒狀結(jié)構(gòu)的固定屏蔽3朝向真空室1內(nèi)側(cè)的側(cè)邊開(kāi)設(shè)有豎直布置的開(kāi)口；根據(jù)使用需要，筒狀固定屏蔽3側(cè)邊上開(kāi)設(shè)的豎直開(kāi)口，在橫截面上的圓心角可以設(shè)計(jì)成60°～120°，例如可以是：60°、80°、100°或120°，以便于固定屏蔽3內(nèi)設(shè)置的圓柱靶2在工作時(shí)，靶材能夠從固定屏蔽3內(nèi)濺射到被鍍物體的表面上。傳動(dòng)機(jī)構(gòu)由主動(dòng)鏈輪9，傳動(dòng)鏈條8和從動(dòng)鏈輪4組成，圓環(huán)形的從動(dòng)鏈輪4設(shè)置在固定屏蔽3外側(cè)的上部，從動(dòng)鏈輪4與固定屏蔽3之間設(shè)置有連接座6，連接座6的上部與真空室1內(nèi)側(cè)的頂部相連接，以固定從動(dòng)鏈輪4的位置；從動(dòng)鏈輪4通過(guò)從動(dòng)輪軸承5套接在連接座6的外側(cè)，從動(dòng)鏈輪4能夠繞連接座6的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。橫截面為弧形的轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽7的上端與從動(dòng)鏈輪4的下端面相連接，弧形的轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽7沿豎直方向設(shè)置在從動(dòng)鏈輪4的下端面外側(cè)圓周上，并且轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽7布置在固定屏蔽3的外部，以遮擋住固定屏蔽3側(cè)邊的開(kāi)口，使得在此圓柱靶2不工作時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽7阻擋其他圓柱靶2濺射出的靶材對(duì)其的污染。固定屏蔽3和轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽7可以采用不銹鋼材料制成。

主動(dòng)鏈輪9通過(guò)傳動(dòng)鏈條8與從動(dòng)鏈輪4相連，主動(dòng)鏈輪9的回轉(zhuǎn)中心設(shè)置有豎直向上的旋轉(zhuǎn)軸13，旋轉(zhuǎn)軸13的上端穿過(guò)真空室1頂部開(kāi)設(shè)的通孔，伸出到真空室1的外側(cè)。旋轉(zhuǎn)軸13的中部通過(guò)主動(dòng)輪軸承11與偏心軸承座10相連，偏心軸承座10設(shè)置在真空室1外側(cè)的頂部上；偏心軸承座10的下部法蘭上設(shè)置有法蘭壓蓋14，法蘭壓蓋14通過(guò)螺栓15與真空室1的頂部相連接。豎直向上的旋轉(zhuǎn)軸13的上部設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸13轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)氣缸12，旋轉(zhuǎn)氣缸12的轉(zhuǎn)動(dòng)輸出端與旋轉(zhuǎn)軸13的上端相連接。

根據(jù)鍍膜工藝的要求，旋轉(zhuǎn)軸13上部設(shè)置的旋轉(zhuǎn)氣缸12的旋轉(zhuǎn)角度可以是90°、180°或270°。

從動(dòng)鏈輪4與連接座6之間設(shè)置的從動(dòng)輪軸承5可以是陶瓷軸承 。

使用時(shí)，將該旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)的筒狀固定屏蔽3設(shè)置在真空室1內(nèi)的圓柱靶2的外側(cè)，固定屏蔽3的上部固定在真空室1內(nèi)側(cè)的頂部，固定屏蔽3豎直的開(kāi)口朝向真空室1內(nèi)側(cè)待鍍膜工件的方向設(shè)置，以便于固定屏蔽3內(nèi)設(shè)置的圓柱靶2在工作時(shí)，靶材能夠從固定屏蔽3內(nèi)濺射到被鍍物體的表面上。套接有從動(dòng)鏈輪4的連接座6設(shè)置在固定屏蔽3以及圓柱靶2的外側(cè)，連接座6的上部與真空室1內(nèi)側(cè)的頂部相連?；⌒无D(zhuǎn)動(dòng)屏蔽7沿豎直方向設(shè)置在從動(dòng)鏈輪4的下端面外側(cè)圓周上，并位于固定屏蔽3的外部。通過(guò)傳動(dòng)鏈條8與從動(dòng)鏈輪4相連的主動(dòng)鏈輪9設(shè)置在真空室1內(nèi)側(cè)的頂部，主動(dòng)鏈輪9和從動(dòng)鏈輪4處于同一水平面上，以確保傳動(dòng)的平穩(wěn)性；與主動(dòng)鏈輪9的回轉(zhuǎn)中心相連的旋轉(zhuǎn)軸13穿過(guò)真空室1頂部開(kāi)設(shè)的通孔，豎直向上伸出到真空室1的外側(cè)；旋轉(zhuǎn)軸13的中部通過(guò)偏心軸承座10與真空室1外側(cè)的頂部相連，法蘭壓蓋14壓設(shè)在偏心軸承座10的下部法蘭上，法蘭壓蓋14通過(guò)螺栓15固定在真空室1外側(cè)的頂部。設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸13上部的旋轉(zhuǎn)氣缸12與氣泵相連。

真空室1內(nèi)裝有若干個(gè)不同靶材的圓柱靶2（或柱狀弧源），鍍膜過(guò)程中，根據(jù)工藝需要啟動(dòng)各靶，有的靶工作，有的靶不工作，為了防止它們之間相互污染，每個(gè)圓柱靶2都加裝屏蔽機(jī)構(gòu)。當(dāng)圓柱靶2不工作時(shí)（即不需要鍍制該圓柱靶上的靶材時(shí)），為了防止被其他靶濺射導(dǎo)致表面污染，此時(shí)屏蔽將靶圍起來(lái)，即轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽7處于遮擋住固定屏蔽3側(cè)邊開(kāi)口的位置。當(dāng)該圓柱靶2需要工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸13上部設(shè)置的旋轉(zhuǎn)氣缸12的轉(zhuǎn)動(dòng)輸出端旋轉(zhuǎn)，從而使旋轉(zhuǎn)軸13以及旋轉(zhuǎn)軸13下部連接的主動(dòng)鏈輪9一起轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過(guò)傳動(dòng)鏈條8帶動(dòng)從動(dòng)鏈輪4以及從動(dòng)鏈輪4下端面連接的轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽7，繞圓柱靶2的豎直中心線轉(zhuǎn)動(dòng)180°，以敞開(kāi)固定屏蔽3側(cè)邊的開(kāi)口，讓圓柱靶2開(kāi)始濺射，為待加工工件表面進(jìn)行鍍膜。當(dāng)根據(jù)工藝要求，欲向待加工工件表面鍍制其他材料之前，需將不使用的靶材屏蔽起來(lái)，驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸13上部設(shè)置的旋轉(zhuǎn)氣缸12的轉(zhuǎn)動(dòng)輸出端反向旋轉(zhuǎn)，使主動(dòng)鏈輪9一起反向轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)傳動(dòng)鏈條8帶動(dòng)從動(dòng)鏈輪4和轉(zhuǎn)動(dòng)屏蔽7反向轉(zhuǎn)動(dòng)180°，以遮擋住固定屏蔽3側(cè)邊的開(kāi)口，保護(hù)靶材表面不受污染。

當(dāng)旋轉(zhuǎn)屏蔽機(jī)構(gòu)經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的工作后，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)鏈條8由于頻繁的反復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，整體長(zhǎng)度拉長(zhǎng)，影響屏蔽效果時(shí)，需要對(duì)傳動(dòng)鏈條8進(jìn)行張緊調(diào)整。首先，擰松壓在偏心軸承座10底部法蘭上的法蘭壓蓋14的螺栓15，松開(kāi)偏心軸承座10；然后，轉(zhuǎn)動(dòng)偏心軸承座10，以調(diào)整主動(dòng)鏈輪9和從動(dòng)鏈輪4之間的距離；當(dāng)傳動(dòng)鏈條8的張緊力度達(dá)到傳動(dòng)要求時(shí)，將法蘭壓蓋14的螺栓15擰緊，從而緊固偏心軸承座10，快速、便捷地完成傳動(dòng)鏈條8的張緊調(diào)整。