技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種真空濺鍍機防著板，包括防著板基板，所述防著板基板表面為凹凸不平結(jié)構(gòu)，所述防著板基板表面附著有導電層，所述導電層由導電涂料涂覆而成。本發(fā)明的另一方面還公開了一種真空濺鍍機防著板的制備方法，包括以下步驟：首先，取表面為凹凸不平結(jié)構(gòu)的防著板基板，然后將導電涂料涂覆在防著板基板的表面，形成導電層。本發(fā)明利用導電涂料對防著板表面進行處理，在保證導電性的同時，在防著板附滿靶材后可以使用簡單的方法除去膜層，達到免清洗防著板附表面靶材的目的，減少真空濺鍍機防著板清理的時間成本與人工成本。

技術(shù)研發(fā)人員：曾燚;胡韜
受保護的技術(shù)使用者：深圳市華星光電技術(shù)有限公司
文檔號碼：201611242850
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.29
技術(shù)公布日：2017.05.31