技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于制備燃料電池金屬雙極板非晶碳膜磁控濺射連續(xù)線，包括：多腔室系統(tǒng)：包括依次串聯(lián)并組成整體的四個腔室：清洗加熱腔室、第一鍍膜腔室、第二鍍膜腔室和后續(xù)處理腔室，各個腔室之間相互貫通；工件架：包括至少一個用于固定安置待處理金屬雙極板的金屬雙極板掛具；傳送系統(tǒng)：包括用于將所述工件架依次送入/送出所述腔室的傳送機(jī)構(gòu)；抽氣系統(tǒng)：包括獨立設(shè)置在各個腔室的抽氣機(jī)構(gòu)，用于控制各個腔室的真空度；可開閉的隔離閥系統(tǒng)：設(shè)置在每相鄰的兩個腔室之間的過渡部分，并與所述腔室密封配合。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明制備金屬雙極板非晶碳膜生產(chǎn)效率高、薄膜質(zhì)量好、成本低，對加快燃料電池產(chǎn)業(yè)化發(fā)展具有重要意義。

技術(shù)研發(fā)人員：彭林法;李驍博;邱殿凱;易培云;來新民
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海交通大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.09
技術(shù)公布日：2017.08.18