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一種子掩膜版的張網(wǎng)方法及掩膜版、基板、顯示裝置與流程

文檔序號:11811007閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種子掩膜版的張網(wǎng)方法,其特征在于,所述方法包括:

張網(wǎng)機(jī)夾持位于待張網(wǎng)的子掩膜版四個邊角處的夾持區(qū)域,并在所述子掩膜版所在平面以預(yù)設(shè)拉力沿與所述子掩膜版的長邊延伸方向具有預(yù)設(shè)夾角的方向拉伸所述子掩膜版;

在所述子掩膜版的平坦度達(dá)到預(yù)設(shè)準(zhǔn)值時,將所述子掩膜版固定到所述掩膜版框架上,所述張網(wǎng)機(jī)停止拉伸。

2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在所述子掩膜版所在平面以預(yù)設(shè)拉力沿與所述子掩膜版的長邊延伸方向具有預(yù)設(shè)夾角的方向拉伸所述子掩膜版,具體包括:

在所述子掩膜版所在平面以預(yù)設(shè)拉力沿與所述子掩膜版的長邊延伸方向具有預(yù)設(shè)夾角的方向以所述子掩膜版的中心對稱拉伸所述子掩膜版。

3.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在所述子掩膜版所在平面以預(yù)設(shè)拉力沿與所述子掩膜版的長邊延伸方向具有預(yù)設(shè)夾角的方向拉伸所述子掩膜版,具體包括:

針對至少兩個夾持區(qū)域,在所述子掩膜版所在平面以預(yù)設(shè)拉力沿與所述子掩膜版的長邊延伸方向具有預(yù)設(shè)夾角的方向以所述子掩膜版的中心所在軸線對稱拉伸所述子掩膜版。

4.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述預(yù)設(shè)拉力在所述子掩膜版的短邊延伸方向的分力隨著所述子掩膜版的尺寸之比值的減小而減??;

其中,所述子掩膜版的尺寸之比值為所述子掩膜版的短邊與長邊之比值。

5.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在拉伸過程中,所述預(yù)設(shè)拉力在所述子掩膜版的短邊延伸方向的分力恒定。

6.如權(quán)利要求5所述的方法,其特征在于,所述張網(wǎng)機(jī)以預(yù)設(shè)拉力沿與所述子掩膜版的長邊延伸方向具有預(yù)設(shè)夾角的方向拉伸所述子掩膜版,具體包括:

所述張網(wǎng)機(jī)以變化的預(yù)設(shè)拉力沿著變化的預(yù)設(shè)夾角的方向拉伸所述子掩膜版;或者,

所述張網(wǎng)機(jī)以固定的預(yù)設(shè)拉力沿著固定的預(yù)設(shè)夾角的方向拉伸所述子掩膜版。

7.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在拉伸過程中,所述預(yù)設(shè)拉力在所述子掩膜版的短邊延伸方向的分力逐漸減小。

8.如權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,所述張網(wǎng)機(jī)以預(yù)設(shè)拉力沿與所述子掩膜版的長邊延伸方向具有預(yù)設(shè)夾角的方向拉伸所述子掩膜版,具體包括:

所述張網(wǎng)機(jī)以固定的預(yù)設(shè)拉力沿著逐漸減小的預(yù)設(shè)夾角的方向拉伸所述子掩膜版,或者,

所述張網(wǎng)機(jī)以逐漸減小的預(yù)設(shè)拉力沿著固定的預(yù)設(shè)夾角的方向拉伸所述子掩膜版。

9.如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,所述預(yù)設(shè)夾角的取值范圍為大于0°小于90°。

10.一種掩膜版,其特征在于,包括:掩膜版框架,以及固定在所述掩膜版框架上的多個子掩膜版,其中,所述子掩膜版利用權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的張網(wǎng)方法得到。

11.如權(quán)利要求10所述的掩膜版,其特征在于,所述子掩膜版的材質(zhì)為金屬。

12.一種基板,其特征在于,利用權(quán)利要求10或11所述的掩膜版制作而成。

13.一種顯示裝置,其特征在于,包括權(quán)利要求12所述的基板。

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