技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種磁性復(fù)合流體集群式拋光頭，包括連接支架、磁鐵轉(zhuǎn)軸、載液盤(pán)轉(zhuǎn)軸、載液盤(pán)轉(zhuǎn)軸底部端蓋、帶輪機(jī)構(gòu)、V帶、載液盤(pán)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述連接支架內(nèi)裝有三個(gè)磁鐵轉(zhuǎn)軸，每個(gè)磁鐵轉(zhuǎn)軸設(shè)有可調(diào)磁鐵以及可調(diào)磁鐵自轉(zhuǎn)的偏心距機(jī)構(gòu)，并連接一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述連接支架下端通過(guò)載液盤(pán)轉(zhuǎn)軸底部端蓋連接用于攜帶磁性?huà)伖庖盒D(zhuǎn)的載液盤(pán)轉(zhuǎn)軸，載液盤(pán)轉(zhuǎn)軸通過(guò)V帶連接帶輪機(jī)構(gòu)，帶輪機(jī)構(gòu)連接驅(qū)動(dòng)電機(jī)。通過(guò)調(diào)整三個(gè)磁體轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速、調(diào)整磁鐵轉(zhuǎn)軸攜帶的磁鐵磁性大小、改變磁鐵自轉(zhuǎn)的偏心距可以對(duì)拋光過(guò)程材料的去除率實(shí)施有效控制。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小和質(zhì)量輕的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：姜晨;郝宇;劉云飛;吳濤;程金義
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海理工大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610534389
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.08
技術(shù)公布日：2016.12.07