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半導(dǎo)體用銅合金接合線的制作方法

文檔序號:11839622閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體用銅合金接合線,其特征在于,是將銅合金拉絲加工而成的,所述銅合金含有0.13~1.15質(zhì)量%的Pd,其余量為銅和不可避免的雜質(zhì)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體用銅合金接合線,其特征在于,含有0.2~1.1質(zhì)量%的Pd。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體用銅合金接合線,其特征在于,線表面的氧化銅的平均膜厚為0.0005~0.02μm的范圍。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體用銅合金接合線,其特征在于,在與線縱向平行的線截面中的晶粒的平均尺寸為2μm以上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體用銅合金接合線,其特征在于,在與線縱向平行的線截面中的晶粒的平均尺寸為3μm以上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體用銅合金接合線,其特征在于,在與線縱向平行的線截面中的晶粒的平均尺寸為75μm以下。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體用銅合金接合線,其特征在于,在與線縱向平行的線截面中的晶粒的平均尺寸為線直徑的1.5倍以下。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體用銅合金接合線,其特征在于,所述銅合金還含有總計為0.0005~0.07質(zhì)量%的Ag、Au的至少一種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1~8中任一項所述的半導(dǎo)體用銅合金接合線,其特征在于,所述銅合金還含有總計為0.0005~0.025質(zhì)量%的Ti:0.0005~0.01質(zhì)量%、B:0.0005~0.007質(zhì)量%以及P:0.0005~0.02質(zhì)量%的至少一種。

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