專利名稱：彈性波分波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在基板上安裝有發(fā)送側(cè)濾波芯片和接收側(cè)濾波芯片
的分波器，更詳細地說涉及各濾波芯片由彈性表面波濾波芯片或彈性邊界波濾波芯片這樣的彈性波濾波芯片構(gòu)成的彈性波分波器。
背景技術(shù)：
—直以來在移動電話機等移動通信系統(tǒng)中，為了降低部件數(shù)，而強烈需求具有多個功能的復(fù)合部件。作為這樣的復(fù)合部件的一例已知有具備在接收側(cè)電路中使用的接收側(cè)濾波芯片和在發(fā)送側(cè)電路中使用的發(fā)送側(cè)濾波芯片的分波器。例如，在下述的專利文獻1中，作為這種分波器的一例公開了一種在圖17中用示意性電路圖表示的彈性表面波分波器。在彈性表面波分波器1001中，在基板1002上表面安裝有發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片1003和接收側(cè)彈性波濾波芯片1004。發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片1003以及接收側(cè)彈性波濾波芯片1004的一端連接于共用端子1005。此外，接收側(cè)彈性波濾波芯片1004經(jīng)由相位移動電路1006與共用端子1005連接。共用端子1005是與天線等連接的端子。發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片1003具有由1端口型彈性表面波諧振器構(gòu)成的多個串聯(lián)臂諧振器S1 S3和由1端口型彈性表面波諧振器構(gòu)成的并聯(lián)臂諧振器P1、 P2。發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片1003的與共用端子1005連接的一側(cè)的相反側(cè)的端部連接于發(fā)送端子1007。從發(fā)送端子1007輸入應(yīng)該發(fā)送的電信號，并經(jīng)由發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片1003賦予給共用端子1005。另一方面，接收側(cè)彈性波濾波芯片1004具有并聯(lián)連接第一、第二縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器1008、 1009的構(gòu)造?？v耦合諧振器型彈性表面波濾波器1008、 1009分別具有配置于中央的第一 IDT，使雙
6方的第一 IDT的一端共用連接，并經(jīng)由相位移動電路與共用端子1005連接。第一IDT的另一端與接地電位連接。另外，使縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器1008的第一 IDT的表面波傳播方向的兩側(cè)所配置的第二、第三IDT的各一端共用連接，并與第一接收端子1010連接。使縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器1009的第二、第三IDT的各一端也共用連接，并與上述接收端子1010連接?？v耦合諧振器型彈性表面波濾波器1008、 1009的第二、第三IDT分別被共用連接，然后與作為第二平衡端子的第二接收端子1011電連接。因此，上述接收側(cè)彈性波濾波芯片1004是具有第一、第二接收端子1010、 1011具備平衡-不平衡變換功能的彈性表面波濾波器。
專利文獻1:日本特開2003-249832號公報在專利文獻1所述的彈性表面波分波器1001中，在基板1002上表面安裝有構(gòu)成發(fā)送側(cè)濾波器的發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片1003以及構(gòu)成接收側(cè)濾波器的接收側(cè)彈性波濾波芯片1004,來實現(xiàn)復(fù)合化。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)部件數(shù)的降低。而且，接收側(cè)彈性波濾波芯片1004如上所述具有平衡-不平衡變換功能，所以還能夠省略平衡-不平衡轉(zhuǎn)換器(bahm)。但是，存在發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片1003和接收側(cè)彈性波濾波芯片1004之間的隔離(isolation)不充分這樣的問題。即，發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片1003具有梯(ladder)型的電路結(jié)構(gòu)，在發(fā)送時流過發(fā)送電流從而產(chǎn)生磁場。在平衡型的接收側(cè)彈性波濾波芯片1004中，接收電流從作為第一平衡端子的第一接收端子1010側(cè)向作為第二平衡端子的第二接收端子1011側(cè)傳播。但是，在發(fā)送頻帶中，基于上述磁場而產(chǎn)生的感應(yīng)電流與上述接收電流重合在一起流動。因此，存在接收側(cè)彈性波濾波芯片1004的隔離特性在發(fā)送側(cè)帶通濾波器的通帶中惡化這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
為了消除上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種在發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片以及接收側(cè)彈性波濾波芯片的至少一方是平衡型濾波芯片的結(jié)構(gòu)中接收側(cè)彈性波濾波芯片和發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片之間的隔離特性良好的彈性波分波器。根據(jù)本發(fā)明，提供一種彈性波分波器，其特征是具有基板和安裝在上述基板上的接收側(cè)彈性波濾波芯片以及發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片，上述基板具有第一、二平衡端子、共用端子和信號端子，上述發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片以及上述接收側(cè)彈性波濾波芯片分別具有至少一個彈性波激勵電極，并且上述發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片以及接收側(cè)彈性波濾波芯片中的至少一方是具有第一平衡信號端子以及第二平衡信號端子作為輸入端子或輸出端子的平衡型濾波器部，該彈性波分波器還具有連接上述平衡型濾波器部和上述第一平衡端子的第一布線；以及連接上述平衡型濾波器部和上述第二平衡端子的第二布線，上述平衡型濾波器部與第一布線的連接點為上述平衡型濾波器部的第一平衡信號端，上述平衡型濾波器部與上述第二布線的連接點為第二平衡信號端，上述第一、二布線以相互間絕緣的狀態(tài)進行交叉。在本發(fā)明的彈性波分波器中優(yōu)選上述第一、第二布線交叉的部
分設(shè)置在上述基板上，在此情況下，可容易地形成第一、第二布線以相互絕緣的狀態(tài)進行交叉的部分。此時，最好上述基板是由多個絕緣層層疊而
成的層疊基板，該基板還具有多個導(dǎo)體圖案，其經(jīng)由該層疊基板的絕緣層而被分隔；以及通孔導(dǎo)體，其被設(shè)置為將經(jīng)由絕緣層而分隔的至少兩個
導(dǎo)體圖案電連接。在此情況下，將多個導(dǎo)體圖案以經(jīng)由絕緣層而分隔的方式形成在層疊基板上，且利用通孔將經(jīng)由絕緣層而獲得的至少兩個導(dǎo)體圖案電連接，所以可通過上述導(dǎo)體圖案形成至少一方的布線，從而容易地形成第一、第二布線以相互間絕緣的狀態(tài)進行交叉的構(gòu)造。在本發(fā)明的彈性波分波器中，上述第一、第二布線交叉的部分可設(shè)置在平衡型濾波芯片上。在此情況下，第一、第二布線以相互絕緣的狀態(tài)交叉的構(gòu)造可不設(shè)置在基板上，因此可使基板小型化。在本發(fā)明的彈性波分波器中，優(yōu)選上述發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片以及接收側(cè)彈性波濾波芯片中的上述接收側(cè)彈性波濾波芯片是上述平衡型濾波器部。在此情況下，因為接收側(cè)彈性波濾波芯片為平衡型，所以不需要在接收側(cè)彈性波濾波芯片上連接平衡-不平衡轉(zhuǎn)換器，從而可實現(xiàn)彈性波分波器的小型化。
在本發(fā)明的彈性波分波器中，上述平衡型濾波器部雖然能以各種形式形成，但優(yōu)選上述平衡型濾波器部具有壓電基板；以及第一、第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器部，其被設(shè)置在上述壓電基板上，作為上
述彈性波激勵電極，具有第一 IDT和配置在第一 IDT的彈性波傳播方向兩側(cè)的第二、第三IDT，還具有在設(shè)置第一 第三IDT的區(qū)域的彈性波傳播方向兩側(cè)所配置的一對反射器，使上述第一、第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器部的上述第二IDT彼此間連接，使上述第一、第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器部的上述第三IDT彼此間連接，上述第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器的上述第一 IDT的一方的母線是第一平衡信號輸入輸出部，上述第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器的上述第一 IDT的另一方的母線是第二平衡信號輸入輸出部。以下，將該優(yōu)選的平衡型濾波器部記述為特定優(yōu)選的平衡型濾波器部。優(yōu)選，上述第一平衡信號輸入輸出部與上述第一平衡信號端連接，上述第二平衡信號輸入輸出部與上述第二平衡信號端連接。在本發(fā)明的彈性波分波器的某特定情況下，具有兩個上述特定優(yōu)選的平衡型濾波器部，該兩個平衡型濾波器部并聯(lián)連接，上述兩個平衡型濾波器部雙方的上述第一平衡信號輸入輸出部與上述第一平衡信號端連接，且上述兩個平衡型濾波器部雙方的上述第二平衡信號輸入輸出部與上述第二平衡信號端連接。另外，在本發(fā)明的彈性波分波器的其它特定情況下，在上述壓電基板上具有兩個上述特定優(yōu)選的平衡型濾波器部，該兩個平衡型濾波器部并聯(lián)連接，上述兩個平衡型濾波器部雙方的上述第一平衡信號輸入輸出部與上述第一平衡信號端連接，且上述兩個平衡型濾波器部中任意一方的上述第二平衡信號輸入輸出部與上述第二平衡信號端連接。在本發(fā)明的彈性波分波器的另一特定情況下，在上述壓電基板上具有兩個上述特定優(yōu)選的平衡型濾波器部，該兩個平衡型濾波器部并聯(lián)連接，上述兩個平衡型濾波器部中任意一方的上述第一平衡信號輸入輸出部與上述第一平衡信號端連接，且上述兩個平衡型濾波器部雙方的上述第二平衡信號輸入輸出部與上述第二平衡信號端連接。本發(fā)明的彈性波分波器可以是如下的構(gòu)造上述平衡型濾波器部具有壓電基板；以及第一、第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器，其被 設(shè)置在上述壓電基板上，作為上述彈性波激勵電極，具有第一IDT和配置 在第一IDT的彈性波傳播方向兩側(cè)的第二、第三IDT，還具有在設(shè)置第一 第三IDT的區(qū)域的彈性波傳播方向兩側(cè)所配置的一對反射器，上述第一縱 耦合諧振器型彈性波濾波器的第一 IDT或第二、第三IDT的與上述第一布 線連接的部分為第一平衡信號端，上述第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器 的與第一 IDT或第二、三IDT的上述第二布線連接的部分為第二平衡信號 端，第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器中的輸出信號相對于輸入信號的相 位與第一縱耦合諧振器型彈性波濾波器中的輸出信號相對于輸入信號的 相位相差180。。另外，本發(fā)明的彈性波分波器可以是如下的構(gòu)造上述平衡型 濾波器部具有壓電基板；以及第一 第四縱耦合諧振器型濾波器，被設(shè) 置在上述壓電基板上，作為上述彈性波激勵電極具有第一IDT和配置在第 一IDT的彈性波傳播方向兩側(cè)的第二、第三IDT，還具有在設(shè)置第一 第 三IDT的區(qū)域的彈性波傳播方向兩側(cè)所配置的一對反射器，第一與第三縱 耦合諧振器型彈性波濾波器級聯(lián)連接，第二與第四縱耦合諧振器型彈性波 濾波器級聯(lián)連接，上述第三縱耦合諧振器型彈性波濾波器的第一 IDT或第 二、第三IDT的與上述第一布線連接的部分為第一平衡信號端，上述第四 縱耦合諧振器型彈性波濾波器的第一 IDT或第二、第三IDT的與上述第二 布線連接的部分為第二平衡信號端，第一 第四縱耦合諧振器型彈性波濾 波器中的三個濾波器的輸出信號相對于輸入信號的相位為同相，且與剩下 的一個濾波器的輸出信號相對于輸入信號的相位相差180° 。在本發(fā)明的彈性波分波器中，可由梯型彈性波濾波器構(gòu)成上述 發(fā)送側(cè)帶通濾波器，在此情況下，可實現(xiàn)低損失。在本發(fā)明的彈性波分波器中，采用彈性表面波作為彈性波，由 此可構(gòu)成彈性表面波濾波器裝置，或可采用彈性邊界波，構(gòu)成彈性邊界波 濾波芯片。在本發(fā)明的彈性波分波器中，優(yōu)選上述平衡型濾波器部包含壓 電諧振器，該壓電諧振器具有基板；壓電膜，被上述基板支撐并從上述 基板聲學(xué)地隔離；和作為上述激勵電極的上方電極膜以及下方電極膜，其
10上下地夾著該壓電膜。 (發(fā)明效果)在本發(fā)明的彈性波分波器中，在基板上安裝有發(fā)送側(cè)彈性波濾 波芯片以及接收側(cè)彈性波濾波芯片，發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片以及接收側(cè)彈 性波濾波芯片中的至少一方是平衡型濾波器部，并且連接平衡型濾波器部 與第一平衡端子的第一布線和連接平衡型濾波器部與第二平衡端子的第 二布線以相互間絕緣的狀態(tài)進行交叉，所以能夠在接收側(cè)彈性波濾波芯片 中改善發(fā)送側(cè)帶通濾波器的通帶中的隔離特性，另外在發(fā)送側(cè)彈性波濾波 芯片中可改善接收側(cè)帶通濾波器的通帶中的隔離特性。因此，在基板上表面安裝有接收側(cè)彈性波濾波芯片以及發(fā)送側(cè)
彈性波濾波芯片、且至少一方的濾波芯片是平衡型濾波器部并能夠促進小 型化的分波器中，可有效地改善發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片以及接收側(cè)彈性波 濾波芯片間的隔離特性。因此，不僅能夠促進移動電話機等移動通信設(shè)備的小型化，還 能夠提高發(fā)送側(cè)與接收側(cè)的隔離，從而可提高在發(fā)送以及接收時的通信性



圖1是表示本發(fā)明第一實施方式的分波器的電路結(jié)構(gòu)的概括電路圖。
圖2是示意性表示本發(fā)明一實施方式的分波器的平面圖。
圖3是表示圖2的分波器中沿著C-C線部分的部分切掉放大側(cè)面圖。
圖4是為了比較而準備的分波器的現(xiàn)有分波器的示意平面圖。
圖5是表示圖4所示的為了比較而準備的分波器中沿著D-D線部分的
部分切掉放大側(cè)面圖。
圖6是表示實施方式以及比較例的分波器的隔離特性的圖。 圖7是表示實施方式以及比較例的分波器的接收側(cè)彈性表面波濾波芯
片的濾波器特性的圖。
圖8是表示為了比較而準備的分波器的隔離特性中的振幅特性的圖。 圖9是表示在圖1所示實施方式的隔離特性中的振幅特性的圖。圖10是表示為了比較而準備的現(xiàn)有例以及實施方式中的相位平衡特 性的圖。
圖11是表示本發(fā)明分波器的變形例的示意電路圖。
圖12是表示本發(fā)明分波器的其它變形例的示意電路圖。 圖13是表示本發(fā)明分波器的另一變形例的示意電路圖。 圖14是表示本發(fā)明分波器的其它變形例的示意電路圖。 圖15是表示本發(fā)明分波器的另一變形例的示意電路圖。 圖16是表示構(gòu)成本發(fā)明的平衡型濾波器部的壓電諧振器的一例的示 意正面圖。
圖17是表示現(xiàn)有分波器電路結(jié)構(gòu)的示意電路圖。
符號說明
1…分波器
2…基板
2a、 2b…絕緣層
3…發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片
4…接收側(cè)彈性表面波濾波芯片
5…共用端子
6…發(fā)送端子
7…第一平衡端子
8…第二平衡端子
9…l端口型彈性表面波諧振器
10…1端口型彈性表面波諧振器
11 14…第一 第四縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器 11a llc…第一 第三IDT 12a 12c…第一 第三IDT
13a 13c…第--第三IDT
14a 14c…第一 第三IDT
15…第一布線
16…第二布線
1217…第一平衡信號端 18…第二平衡信號端
19…壓電基板
20a 20h…凸點
21…壓電基板
22a 22f…凸點
24、 25、 26…通孔導(dǎo)體
31、 32…布線圖案
33…通孔導(dǎo)體
51…分波器
54…接收側(cè)彈性表面波濾波芯片 61…分波器
62、 63…3IDT型第一、第二縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器
62a 62c…IDT
63a 63c…IDT
64…接收側(cè)彈性表面波濾波芯片
71…分波器
81…分波器
91…分波器
101…壓電諧振器
102…基板
103…壓電薄膜
104…下部電極
105…上部電極
116…布線
P1 P3…并聯(lián)臂諧振器 S1 S3…串聯(lián)臂諧振器
具體實施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的具體實施方式
進行說明，由此使本發(fā)明變得更加清楚。圖1是表示本發(fā)明一實施方式的分波器電路結(jié)構(gòu)的概括電路 圖，圖2是表示本實施方式的分波器構(gòu)造的示意平面圖，圖3是表示其主 要部分的部分切掉側(cè)面剖視圖。本實施方式的分波器1具有基板2。在本實施方式中，基板2 由形成多個絕緣層且經(jīng)由絕緣層層疊而成的具有導(dǎo)體圖案的層疊基板構(gòu) 成。關(guān)于該層疊基板的構(gòu)造在下面進行說明。形成絕緣層的絕緣材料沒有被特別限定，可采用氧化鋁等適合 的絕緣性陶瓷及合成樹脂等。在基板2上安裝有于圖1中示意性示出電路結(jié)構(gòu)的發(fā)送側(cè)彈性 表面波濾波芯片3和接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4。在該基板2上具有與 天線連接的共用端子5。共用端子5與發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片3連接。 發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片3是具有3個串聯(lián)臂諧振器S1 S3和3個并 聯(lián)臂諧振器P1 P3的具備梯型電路結(jié)構(gòu)的彈性表面波濾波器。串聯(lián)臂諧振器S1 S3以及并聯(lián)臂諧振器P1 P3分別由1端口 型彈性表面波諧振器構(gòu)成。發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片3與發(fā)送端子6電連接。從發(fā)送端 子6輸入發(fā)送信號，并經(jīng)由發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片3輸出到與天線連 接的共用端子5。本實施方式的分波器1被用作PCS方式的移動電話機的分波 器，發(fā)送頻帶是1850 1910MHz，接收頻帶是1930 1990MHz。接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4 一端與共用端子5連接，另一端 與作為第一、第二接收端子的第一、第二平衡端子7、 8電連接。接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4具有圖1所示的電路結(jié)構(gòu)。艮口， 第一、第二縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器1K 12分別經(jīng)由1端口型 彈性表面波諧振器9、 10與共用端子5連接。縱耦合諧振器型彈性表面波 濾波器ll、 12在圖1中概括地示出，是3IDT型的縱耦合諧振器型彈性表 面波濾波器。即，第一縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器11具有配置 于中央的第一 IDTlla和配置于第一 IDTlla的表面波傳播方向兩側(cè)的第 二、第三IDTllb、 llc。同樣，縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器12具有
14第一 第三IDT12a 12c。第一、第二縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器 的各第一IDTlla、 12a的一端經(jīng)由l端口型彈性表面波諧振器9、 10與共 用端子5共用連接。IDTlla、 12a的另一端與接地電位連接。第一縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器11的第二、第三 IDTllb、 llc的各一端與接地電位連接，各另一端分別與3IDT型的縱耦 合諧振器型彈性表面波濾波器13的第二、第三IDT13b、 13c的一端連接。 IDT13b、 13c的另一端與接地電位連接。同樣，第二縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器12的后級與第四 3IDT型的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器14連接。即，IDT12b、 12c 的各一端與接地電位連接，EDT12b、 12c的另一端與IDT14b、 14c的一端 電連接，IDT14b、 14c的各另一端與接地電位連接。第一 IDT14a的一端 與第一 IDT13a的一端共用連接，并與作為第一平衡信號端子的第一平衡 端子7連接，各另一端也共用連接，并與作為第二接收端子的第二平衡端 子8連接。這里，第一、第二平衡端子7、 8形成在上述基板2側(cè)。然后， 接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4通過第一布線15與第一平衡端子7電連接， 另一方面，接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4通過第二布線16與第二平衡端 子8連接。這里，第一布線15與接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4的連接點 是第一平衡信號端17，第二布線16與接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4的連 接點是第二平衡信號端18。此外，為了能實現(xiàn)上述的電路結(jié)構(gòu)，而在壓電基板的單面?zhèn)刃?成由Al等適合的金屬或合金構(gòu)成的電極以及布線圖案，由此來構(gòu)成上述 發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片3以及接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4。此外在本實施方式中，在基板2上形成有共用端子5以及第一、 第二平衡端子7、 8。另一方面如圖2所示，在本實施方式中，第一、第二 布線15、 16形成為延伸到構(gòu)成上述接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4的基板2 上。本實施方式的特征在于，上述第一布線15與第二布線16如圖 1中箭頭A所示進行交叉，由此，能夠改善發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片3
15與接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4的各個通帶中的隔離特性。參照圖2以及圖3來說明圖1所示的電路結(jié)構(gòu)的具體構(gòu)造。圖2中用示意平面圖來表示在基板2上安裝有發(fā)送側(cè)彈性表面 波濾波芯片3以及接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4的構(gòu)造。這里，發(fā)送側(cè)彈 性表面波濾波芯片3具有壓電基板19。在壓電基板19的下表面形成有用 于實現(xiàn)圖1所示的發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片3的電路結(jié)構(gòu)的電極構(gòu)造以 及布線圖案。在圖2中指出為了便于圖示而透視壓電基板19且省略該電 極構(gòu)造以及布線圖案的情況。在壓電基板19的下表面形成有多個凸點 (bump)20a 20h，以使與基板2上的布線圖案連接。這些凸點20a 20h 在壓電基板19的下表面被設(shè)置為向下方突出。另外，凸點20a 20h與連 接在彈性表面波濾波器3的共用端子5、接地端子、發(fā)送端子6上的電極 電連接。這里，凸點20a是與共用端子5連接的凸點，凸點20d 20g是 與接地端子連接的凸點，20h是與圖1的發(fā)送端子6連接的凸點。凸點20b、 20c電氣地浮置，是為了將發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片3穩(wěn)定地安裝在基 板2上而設(shè)置的虛設(shè)(dummy)凸點。在發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片3中， 從與發(fā)送端子6連接的凸點20h側(cè)向與共用端子連接的凸點20a偵lj，例如， 如箭頭B所示，流動發(fā)送電流。通過該發(fā)送電流產(chǎn)生磁場。另一方面如圖2所示，在接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4中，也 在壓電基板21的下表面形成有多個凸點22a 22f。另外，在接收側(cè)彈性 表面波濾波芯片4中，概括性地如實線所示，在壓電基板21的下表面形 成有圖l所示的電極構(gòu)造。凸點22a 22f也從壓電基板21的下表面向下方突出。另外， 凸點22a 22f與連接在接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4的共用端子5、接地 端子、第一、第二平衡端子7、 8上的電極電連接。凸點22a 22f中的凸點22a是浮置凸點，凸點22b、 22e是與接 地電位連接的凸點，凸點22c是與第二平衡端子連接的凸點。另外，凸點 22d是與共用端子5連接的凸點，凸點22f是與第一平衡端子電連接的凸 點。這些凸點22b 22f與形成在壓電基板21下表面的接收側(cè)彈性表面波 濾波器電連接。另外，連接在上述接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4上設(shè)置的第一 第四縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器11 14的布線圖案中，用實 線示出的布線圖案和用虛線示出的布線圖案，在壓電基板21內(nèi)形成于不
同的高度位置上。并且，通過通孔(via hole)導(dǎo)體24、 25、 26，使設(shè)置 在不同高度位置的布線圖案彼此間電連接。另一方面，在本實施方式中，第一平衡端子7和第一平衡信號 端17由第一布線15連接，第二平衡端子8和第二平衡信號端18由第二 布線16連接(參照圖1)。這在本實施方式中是在圖2所示的基板2上進 行的。即，在圖2中，用單點劃線示出的布線圖案31構(gòu)成第一布線15， 用單點劃線示出的布線圖案32構(gòu)成第二布線16。由圖3中表示沿著圖2 的箭頭C-C線部分的部分切掉側(cè)面剖視圖可知，該布線圖案31、 32在基 板2中形成于不同的高度位置上，因此，以相互絕緣的狀態(tài)進行交叉。更 具體地說，基板2如圖3所示具有層疊了第一、第二絕緣層2a、 2b的構(gòu) 造。在基板2上形成有布線圖案32，該布線圖案32構(gòu)成與形成在接收側(cè) 彈性表面波濾波芯片4下表面的上述凸點22c接合的第二布線。該布線圖 案32經(jīng)由通孔導(dǎo)體33與形成在基板2下表面的第二平衡端子8電連接。另一方面，構(gòu)成第一布線15的第一布線圖案31形成在絕緣層 2a、 2b之間的邊界。該布線圖案31在絕緣層2a、 2b間的高度位置上如圖 2中單點劃線所示具有L字形狀。并且，在基板2的下表面形成有第一平 衡端子7。第一平衡端子7和上述布線圖案31通過未圖示的通孔電極來電 連接。如上所述，構(gòu)成第一、第二布線15、 16的布線圖案31、 32在 相互絕緣的狀態(tài)下交叉。通過此構(gòu)造，可抑制由在前述箭頭B所示的方向 上流動的發(fā)送電流而產(chǎn)生的磁場的影響，由此，能改善彈性表面波濾波芯 片3、 4間的隔離特性。參照圖6 圖IO對此進行說明。首先，為了比較，參照圖4以 及圖5的示意平面剖視圖、以及沿著圖4中D-D線的部分切掉側(cè)面剖視圖 即圖5來說明現(xiàn)有例的分波器。在該比較例的分波器1101中，發(fā)送側(cè)彈 性表面波濾波芯片以及接收側(cè)彈性表面波濾波芯片與上述實施方式相同。 但不同點是，連接接收側(cè)彈性表面波濾波芯片的第一、第二平衡信號端和 第一、第二平衡端子的第一、第二布線沒有交叉。更具體地說如圖4所示，作為連接第一平衡信號端與第一平衡端子1102的第一布線的布線圖案 1104、和構(gòu)成連接第二平衡信號端與第二平衡端子1103的第二布線的布
線圖案1105，如圖所示進行分離以不交叉。關(guān)于其它點，上述比較例的分 波器1101與上述實施方式的分波器1同樣地構(gòu)成。因此，通過對相同部
分標注相同的參照編號來省略其說明。圖6表示上述實施方式以及比較例的分波器中的隔離特性，圖 7表示接收側(cè)彈性表面波濾波器中的濾波器特性。在圖6以及圖7中實線 表示上述實施方式的結(jié)果，虛線表示上述比較例的結(jié)果。圖6以及圖7的 縱軸表示衰減量(dB)。圖6表示從發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片3向接收側(cè) 彈性表面波濾波芯片4側(cè)的信號泄漏程度。由圖6可知，在發(fā)送側(cè)頻帶即 1850 1910MHz頻帶中，根據(jù)上述實施方式可獲得大于比較例的衰減量， 由此可知能夠有效地提高隔離特性。另外，圖7表示接收側(cè)彈性表面波濾 波器的濾波器特性，可知，根據(jù)上述實施方式，與比較例相比能夠充分地 提高發(fā)送側(cè)通帶中的衰減量。即可知，通過使第一、第二布線交叉，能夠充分地改善隔離特 性。這是因為，在作為平衡型濾波芯片的接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4中 通過提高平衡性可改善特性。g卩，為了在平衡輸出間獲得大的隔離，而優(yōu)選在向發(fā)送端子輸 入信號時，第一、第二平衡端子各自的輸出信號是同振幅且同相位。第一、 第二平衡端子的輸出信號越接近同振幅且同相位，差動振幅越接近于0， 從而能夠獲得大的衰減量。因此可認為，平衡性越良好，越可獲得比不平 衡時的輸出良好的特性。圖8以及圖9分別表示實施方式以及比較例的隔離中的振幅特 性。在圖8以及圖9中，實線表示共用端子-第一平衡端子7中的振幅特性， 虛線表示共用端子-第二平衡端子8中的振幅特性。圖8以及圖9的橫軸是 頻率，縱軸是衰減量。圖10表示隔離中的相位平衡特性。即，在向發(fā)送端子輸入信號 時，表示輸出到第一平衡端子的信號和輸出到第二平衡端子的信號的相位 差。另外在圖10中，縱軸是相位差，細線表示比較例的結(jié)果，粗線表示 上述實施方式的結(jié)果。
通過比較圖8和圖9、以及由圖10可知，通過使第一、第二布 線交叉，可改善振幅特性的平衡以及相位特性平衡。這是因為，針對發(fā)送 電流流動而產(chǎn)生的磁場，通過上述第一、第二布線15、 16交叉，使向第 一、第二平衡端子流動的電磁感應(yīng)電流減少。因此，根據(jù)本實施方式的分波器，可有效地提高發(fā)送側(cè)彈性表 面波濾波芯片3與接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4中的隔離。此外，本發(fā)明分波器的接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4中的電路 結(jié)構(gòu)不限于圖1所示的內(nèi)容。在圖11 圖17中利用概括平面圖來分別示 出使這樣的平衡型濾波器部的電路結(jié)構(gòu)變形的變形例的分波器的電路結(jié) 構(gòu)。在圖11所示的變形例的分波器51中，接收側(cè)彈性表面波濾波 芯片54是平衡型的彈性表面波濾波芯片。這里與第一實施方式同樣，采 用第一 第四3IDT型的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器11 14，且與 第一、第二平衡端子7、 8連接的第一、第二平衡信號端17、 18分別與第 三、第四縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器的第一IDT13a、 14a的一端連 接，IDT13a、 14a的另一端與接地電位連接。這樣，可采用帶中性點的二 級級聯(lián)結(jié)構(gòu)的接收側(cè)彈性表面波濾波芯片54。這里，第一、第二布線15、 16如圖所示以相互絕緣的狀態(tài)進行交叉，所以與第一實施方式同樣，可通 過提高平衡性來改善隔離特性。圖2是表示本發(fā)明分波器的另一變形例的示意平面圖。在圖 12所示的變形例的分波器61中，與第一實施方式的接收側(cè)彈性表面波濾 波芯片4同樣，通過浮置類型的平衡型的彈性表面波濾波芯片來構(gòu)成接收 側(cè)彈性表面波濾波芯片64。不過，在此，接收側(cè)彈性表面波濾波芯片64 具有3IDT型的第一、第二縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器62、 63?？v 耦合諧振器型彈性表面波濾波器62、 63中央的第一IDT62a、 63a的一端 經(jīng)由l端口型彈性表面波諧振器9、 10與共用端子5連接。另一端與接地 電位連接。第二、第三IDT62b、 62c、 63b、 63c的各一端被共用連接，并 與第一平衡信號端17連接，各另一端被共用連接并與第二平衡信號端18 連接。其它的結(jié)構(gòu)與第一實施方式的情況相同。在此情況下，在作為平衡 型濾波芯片的接收側(cè)彈性表面波濾波芯片64中，第一、第二布線15、 16也以相互絕緣的狀態(tài)進行交叉，所以與第一實施方式相同，可通過平衡特性的提高來實現(xiàn)隔離特性的提高。圖13是表示本發(fā)明另一變形例的分波器電路結(jié)構(gòu)的概括平面圖。在圖13所示的分波器71中，與圖12所示的變形例同樣，第一、第二縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器62、 63分別經(jīng)由1端口型彈性表面波諧振器9、 10與共用端子5連接。不過這里是一級結(jié)構(gòu)，為帶中性點的類型，因此，第二、第三IDT62b、 62c的各一端被共用連接且與第一平衡信號端連接，第二、第三IDT63b、 63c的各一端被共用連接，且與第二平衡信號端連接。IDT62a-62c、 63a-63c的各另一端與接地電位連接。這樣，可以是具有兩個縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器62、 63的中性點類型，在此情況下第一、第二布線15、 16也交叉，因此可通過提高平衡性來實現(xiàn)隔離特性的改善。圖14是表示本發(fā)明分波器的另一變形例的示意電路圖。在圖M所示的分波器81中，第一、第二布線15、 16交叉的部分被設(shè)置在接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4側(cè)。其它點與第一實施方式相同。這樣，第一、第二布線15、 16交叉的部分可設(shè)置在接收側(cè)彈性表面波濾波芯片4、即平衡型的彈性表面波濾波芯片內(nèi)，而不是基板2上。另外，圖15是表示本發(fā)明的另一變形例的電路圖。在該變形例的分波器91中，與圖14所示的變形例的分波器81的情況相同，第一、第二布線15、 16交叉的部分被設(shè)置在平衡型濾波芯片即接收側(cè)彈性表面波濾波芯片內(nèi)。在本變形例的分波器91中，第三、第四縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器13、 14中央的IDT13a、 14a的母線(bus bar)為平衡信號輸入輸出部。與圖14所示變形例的分波器81的情況不同，僅中央的IDT14a的另一方的母線(平衡信號輸入輸出部)與第二平衡信號端18連接。中央的IDT13a的另一方的母線(平衡信號輸入輸出部)經(jīng)由其它布線116與第二平衡端子8連接。與圖14所示變形例的分波器81的情況相同，中央的IDT13a的一方的母線(平衡信號輸入輸出部)和中央的IDT14a的一方的母線(平衡信號輸入輸出部)雙方都與第一平衡信號端17連接。第一、第二平衡信號端17、 18與第一、第二布線15、 16的一端連接。這樣，在本發(fā)明的分波器中，平衡型濾波芯片中的第一、第二布線交叉的部分可以是與兩個一方的母線連接的第一布線15和與兩個另一方的母線的任意一個母線連接的第二布線交叉的部分。另外，在上述第一實施方式以及各變形例中，發(fā)送側(cè)濾波器具有梯型電路結(jié)構(gòu)，但不僅限于具有梯型電路結(jié)構(gòu)。另外，發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片以及接收側(cè)彈性表面波濾波芯片的至少一方是平衡型濾波芯片既可，并非接收側(cè)彈性表面波濾波芯片必需是平衡型。此外，還可以采用利用了彈性邊界波的彈性邊界波濾波芯片來
取代彈性表面波濾波芯片。另外在本發(fā)明中，上述平衡型濾波器部可采用圖16所示的壓電諧振器來構(gòu)成。圖16所示的壓電諧振器101具有基板102?；?02可由適合的絕緣陶瓷或合成樹脂等來形成。在基板102上形成有壓電薄膜103。形成下部電極104和上部電極105，使其夾著該壓電薄膜103表里對置。下部電極104以及上部電極105構(gòu)成本發(fā)明的激勵電極，其由Ag、 Al等適合的金屬或合金構(gòu)成。另外，壓電薄膜103由PZTK陶瓷等適合的壓電陶瓷構(gòu)成。采用使用了這樣的壓電薄膜103的壓電諧振器101可構(gòu)成平衡型濾波器部。優(yōu)選第一、第二布線15、 16交叉的角度為90° ,但即使在與90°不同的情況下也同樣能夠取得改善隔離的效果。
權(quán)利要求
1.一種彈性波分波器，其特征在于，具有基板和安裝在上述基板上的接收側(cè)彈性波濾波芯片以及發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片，上述基板具有第一、二平衡端子、共用端子和信號端子，上述發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片以及上述接收側(cè)彈性波濾波芯片分別至少具有一個彈性波激勵電極，并且上述發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片以及接收側(cè)彈性波濾波芯片中的至少一方是具有第一平衡信號端子以及第二平衡信號端子作為輸入端子或輸出端子的平衡型濾波器部，該彈性波分波器還具有連接上述平衡型濾波器部和上述第一平衡端子的第一布線；以及連接上述平衡型濾波器部和上述第二平衡端子的第二布線，上述平衡型濾波器部與第一布線的連接點為上述平衡型濾波器部的第一平衡信號端，上述平衡型濾波器部與上述第二布線的連接點為第二平衡信號端，上述第一、第二布線以相互間絕緣的狀態(tài)進行交叉。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波分波器，其中， 上述第一、第二布線交叉的部分設(shè)置在上述基板上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的彈性波分波器，其中，上述基板是層疊多個絕緣層而成的層疊基板，上述基板還具有多個 導(dǎo)體圖案，其經(jīng)由該層疊基板的絕緣層而被分隔；以及通孔導(dǎo)體，其被設(shè) 置為將經(jīng)由絕緣層而分隔的至少兩個導(dǎo)體圖案電連接。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項所述的彈性波分波器，其中， 上述第一、第二布線交叉的部分被設(shè)置在上述平衡型濾波器部。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1 4中任意一項所述的彈性波分波器，其中， 在上述發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片以及接收側(cè)彈性波濾波芯片內(nèi)，上述接收側(cè)彈性波濾波芯片是上述平衡型濾波器部。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項所述的彈性波分波器，其中，上述平衡型濾波器部具有壓電基板；以及第一、第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器部，被設(shè)置在上述壓電基板上，作為上述彈性波激勵電極，具有第一IDT和配置在第一IDT的彈性波 傳播方向兩側(cè)的第二、第三IDT，還具有在設(shè)置有第一 第三IDT的區(qū)域 的.彈性波傳播方向兩側(cè)所配置的一對反射器，上述第一、第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器部的上述第二 IDT彼此 互相連接，上述第一、第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器部的上述第三IDT彼此 互相連接，上述第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器的上述第一 IDT的一方的母 線是第一平衡信號輸入輸出部，上述第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器的上述第一 IDT的另一方的 母線是第二平衡信號輸入輸出部。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的彈性波分波器，其中， 上述第一平衡信號輸入輸出部與上述第一平衡信號端連接，上述第二平衡信號輸入輸出部與上述第二平衡信號端連接。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項所述的彈性波分波器，其中， 在上述壓電基板上具有兩個權(quán)利要求6所述的平衡型濾波器部，該兩個平衡型濾波器部并聯(lián)連接，上述兩個平衡型濾波器部雙方的上述第一平衡信號輸入輸出部與上 述第一平衡信號端連接，且，上述兩個平衡型濾波器部雙方的上述第二平衡信號輸入輸出部與 上述第二平衡信號端連接。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項所述的彈性波分波器，其中， 在上述壓電基板上具有兩個權(quán)利要求6所述的平衡型濾波器部，該兩個平衡型濾波器部并聯(lián)連接，上述兩個平衡型濾波器部雙方的上述第一平衡信號輸入輸出部與上 述第一平衡信號端連接，且，上述兩個平衡型濾波器部中任意一方的上述第二平衡信號輸入輸 出部與上述第二平衡信號端連接。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項所述的彈性波分波器，其中，在上述壓電基板上具有兩個權(quán)利要求6所述的平衡型濾波器部，該兩個平衡型濾波器部并聯(lián)連接，上述兩個平衡型濾波器部中任意一方的上述第一平衡信號輸入輸出部與上述第一平衡信號端連接，且，上述兩個平衡型濾波器部雙方的上述第二平衡信號輸入輸出部與 上述第二平衡信號端連接。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項所述的彈性波分波器，其中，上述平衡型濾波器部具有 壓電基板；以及第一、第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器，被設(shè)置在上述壓電基板上，作為上述彈性波激勵電極，具有第一 IDT和配置在第一 IDT的彈性波傳播 方向兩側(cè)的第二、第三IDT，還具有在設(shè)置有第一 第三IDT的區(qū)域的彈 性波傳播方向兩側(cè)所配置的一對反射器，上述第一縱耦合諧振器型彈性波濾波器的第一 IDT或第二、第三IDT 的與上述第一布線連接的部分為第一平衡信號端，上述第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器的第一 IDT或第二、三IDT 的與上述第二布線連接的部分為第二平衡信號端，第二縱耦合諧振器型彈性波濾波器中的輸出信號相對于輸入信號的 相位與第一縱耦合諧振器型彈性波濾波器中的輸出信號相對于輸入信號 的相位相差180° 。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項所述的彈性波分波器，其中， 上述平衡型濾波器部具有壓電基板；以及第一 第四縱耦合諧振器型濾波器，被設(shè)置在上述壓電基板上，作為 上述彈性波激勵電極，具有第一 IDT和配置在第一 IDT的彈性波傳播方向 兩側(cè)的第二、第三IDT，還具有在設(shè)置有第一 第三IDT的區(qū)域的彈性波傳播方向兩側(cè)所配置的一對反射器，第一與第三縱耦合諧振器型彈性波濾波器級聯(lián)連接，第二與第四縱耦合諧振器型彈性波濾波器級聯(lián)連接，上述第三縱耦合諧振器型彈性波濾波器的第一 IDT或第二、第三IDT 的與上述第一布線連接的部分為第一平衡信號端，上述第四縱耦合諧振器型彈性波濾波器的第一 IDT或第二、第三IDT 與的上述第二布線連接的部分為第二平衡信號端，第一 第四縱耦合諧振器型彈性波濾波器中的三個濾波器的輸出信 號相對于輸入信號的相位為同相，且與剩下的一個濾波器的輸出信號相對 于輸入信號的相位相差180° 。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1 12中任意一項所述的彈性波分波器，其中， 采用梯型彈性波濾波器作為上述發(fā)送帶通濾波器。
14. 根據(jù)權(quán)利要求1 13中任意一項所述的彈性波分波器，其中， 采用彈性表面波作為上述彈性波，構(gòu)成彈性表面波裝置。
15. 根據(jù)權(quán)利要求1 13中任意一項所述的彈性波分波器，其中， 采用彈性邊界波作為上述彈性波，構(gòu)成彈性邊界波裝置。
16. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項所述的彈性波分波器，其中， 上述平衡型濾波器部包含壓電諧振器，該壓電諧振器具有基板；壓電膜，被上述基板支撐并從上述基板聲學(xué)地隔離；和作為上述激勵電極的 上方電極膜以及下方電極膜，被設(shè)置成夾著該壓電膜。
全文摘要
本發(fā)明提供接收側(cè)彈性波濾波芯片與發(fā)送側(cè)彈性波濾波芯片之間的隔離特性良好的彈性波分波器。該彈性波分波器(1)的特征是具有安裝在基板(2)上的接收側(cè)彈性表面波濾波芯片(4)以及發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片(3)，基板(2)具有第一、二平衡端子(7、8)和共用端子(5)，發(fā)送側(cè)彈性表面波濾波芯片(3)以及接收側(cè)彈性表面波濾波芯片(4)中的至少一方是具有第一平衡信號端子以及第二平衡信號端子作為輸入端子或輸出端子的平衡型濾波器部，該彈性波分波器還具有連接上述平衡型濾波器部與上述第一平衡端子(7)的第一布線(15)、和連接上述平衡型濾波器部與上述第二平衡端子(8)的第二布線(16)，上述第一、二布線(15、16)以相互間絕緣的狀態(tài)交叉。
文檔編號H03H9/17GK101682312SQ20088001663
公開日2010年3月24日 申請日期2008年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月29日
發(fā)明者松田一郎, 船橋健太郎 申請人:株式會社村田制作所