技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提出了一種能夠在加工處理期間有效地保持工件的小尺寸電磁卡盤和配備有該電磁卡盤的多功能研磨機。電磁卡盤(61至64；161至164)包括電磁卡盤主體(170)和推壓構(gòu)件(180、280)，其中，電磁卡盤主體(170)設(shè)置有多個磁極部(172)以及形成在兩者均形成于面板的上表面上的相鄰磁極部(172)之間的槽部(173)，由此通過磁極部的磁性吸引力將工件(W)吸引并固定在磁極部(172)的上表面上，推壓構(gòu)件(180、280)設(shè)置在槽部(173)中，以使得當工件固定至磁極部(172)的上表面時推壓構(gòu)件(180、280)以比由磁極部(172)施加至工件的吸引力小的力沿與吸引方向相反的方向朝向工件(W)的下表面推壓所述工件(W)。

技術(shù)研發(fā)人員：賴經(jīng)昌史;小林和矢
受保護的技術(shù)使用者：株式會社捷太格特
文檔號碼：201610388363
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.02
技術(shù)公布日：2016.12.21