相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

本申請(qǐng)要求2014年9月23日提交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)序列號(hào)62/054,198的權(quán)益，出于所有的目的將所述申請(qǐng)通過(guò)引用以其全文結(jié)合在此。

披露了包含碳硅烷取代的胺前體的含si膜形成組合物。該碳硅烷取代的胺前體具有式(r¹)an(-sihr²-ch2-sih2r³)3-a，其中a＝0或1；r¹是h、c1至c6烷基、或鹵素；r²和r³各自獨(dú)立地是h；鹵素；具有式or'的烷氧基，其中r’是烷基(c1至c6)；或具有式nr”2的烷基氨基，其中每個(gè)r”獨(dú)立地是h、c1-c6烷基、c1-c6烯基、或c3-c10芳基或雜環(huán)基。還披露了合成該碳硅烷取代的胺前體的方法及它們用于沉積工藝的用途。

背景

含si薄膜廣泛用于半導(dǎo)體、光伏、lcd-tft、平板型器件、耐火材料或航空工業(yè)中。含si薄膜可以例如被用作可以是絕緣的具有電特性的介電材料(sio2、sin、sic、sicn、sicoh、msiox，其中m是hf、zr、ti、nb、ta、或ge并且x是0-4)。含si薄膜還可以被用作導(dǎo)電膜，如金屬硅化物或金屬硅氮化物。由于由電器件構(gòu)造朝向納米尺度(尤其低于28nm節(jié)點(diǎn))的縮小規(guī)模施加的嚴(yán)格要求，要求越來(lái)越微調(diào)的分子前體，這些前體滿足揮發(fā)性(對(duì)于蒸氣工藝)、較低的工藝溫度、與各種氧化劑的反應(yīng)性和低膜污染，還有所產(chǎn)生的膜的高沉積速率、保形性和一致性的要求。

三甲硅烷基胺[n(sih3)3]已經(jīng)被用于氮化硅和氮氧化硅膜的氣相沉積(參見(jiàn)例如，dussarrat等人的wo2004/030071)。

hizawa和nojimoto(kogyokagakuzasshi，1956，59，1359-63)描述了從me3sich2sime2cl和nh3的反應(yīng)合成(me3sich2sime2)2nh。

topchiev等人(dokladyakademiinauksssr，1956，109，787-90和issled.vobl.kremniiorgan.soedin.，sintezifiz.-khim.svoistva，akad.nauksssr，inst.neftekhim.sinteza，sb.statei，1962，130-45)披露了在5℃-10℃下、并且最終在60℃-80℃下將br添加至r3sich2sir2h中，產(chǎn)生了r3sich2sir2br，其中r＝me、et、pr、或bu。將et2o或meph中的這些用nh3處理、在回流meph中制備二級(jí)衍生物，產(chǎn)生了胺衍生物(r3sich2sir2)2nh、以及r3sich2sir2nh2。二級(jí)衍生物最好由伯胺衍生物和單-br衍生物通過(guò)在meph中回流接著是nh3的通過(guò)10小時(shí)制備的。

o'neill等人(美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)號(hào)2015/0087139)披露了五類(lèi)有機(jī)氨基硅烷前體，包括h3si-r³-sih2-nr¹-sih2-r³-sih3，其中r¹是直鏈或支鏈的c1至c10烷基、直鏈或支鏈的c3至c10烯基、直鏈或支鏈的c3至c10炔基、c3至c10環(huán)烷基、或c5至c10芳基，并且r³是直鏈或支鏈的c1至c10亞烷基、直鏈或支鏈的c3至c6亞炔基、c3至c10環(huán)亞烷基、c3至c10雜環(huán)亞烷基、c5至c10亞芳基、或c5至c10雜亞芳基。

盡管可用于含si膜的沉積的寬范圍選擇，但是連續(xù)不斷地尋求附加的前體以向設(shè)備工程師提供調(diào)整制造工藝要求并且實(shí)現(xiàn)具有令人希望的電特性和物理特性的膜的能力。

標(biāo)記和命名

特定縮寫(xiě)、符號(hào)以及術(shù)語(yǔ)貫穿以下說(shuō)明書(shū)和權(quán)利要求書(shū)使用，并且包括：

如在此所使用，不定冠詞“一個(gè)/一種(a或an)”意指一個(gè)/一種或多個(gè)/多種。

如在此所使用，術(shù)語(yǔ)“大約(approximately)”或“約(about)”意指所陳述的值的±10％。

如在此所使用，當(dāng)被用于描述r基團(tuán)的上下文中時(shí)，術(shù)語(yǔ)“獨(dú)立地”應(yīng)理解為表示對(duì)象r基團(tuán)不僅相對(duì)于帶有相同或不同下標(biāo)或上標(biāo)的其他r基團(tuán)獨(dú)立地選擇，而且相對(duì)于前述那個(gè)r基團(tuán)的任何附加物種獨(dú)立地選擇。例如，在式mr¹x(nr²r³)(4-x)中，其中x是2或3，兩個(gè)或三個(gè)r¹基團(tuán)可以但是不必是彼此或與r²或與r²相同的。進(jìn)一步地，應(yīng)理解，除非另外確切地指明，當(dāng)用于不同式中時(shí)，r基團(tuán)的值彼此獨(dú)立。

如在此所使用，術(shù)語(yǔ)“烷基”是指僅僅含有碳和氫原子的飽和官能團(tuán)。進(jìn)一步地，術(shù)語(yǔ)“烷基”是指直鏈、支鏈、或環(huán)狀烷基。直鏈烷基的實(shí)例包括但不限于，甲基、乙基、丙基、丁基等。支鏈烷基的實(shí)例包括但不限于叔丁基。環(huán)烷基的實(shí)例包括但不限于，環(huán)丙基、環(huán)戊基、環(huán)己基等。

如在此所使用，術(shù)語(yǔ)“芳基”是指其中一個(gè)氫原子已經(jīng)從環(huán)上去除的芳環(huán)化合物。如在此所使用，術(shù)語(yǔ)“雜環(huán)”是指具有至少兩種不同元素(不包括h)如c和s和/或n的原子作為其環(huán)的成員的環(huán)狀化合物。

如在此所使用，術(shù)語(yǔ)“碳硅烷”是指具有骨架的直鏈或支鏈分子，該骨架具有交替的si和c原子和至少一個(gè)si-c-si單元；首字母縮略詞“dsp”代表二硅丙烷(disilapropane)，并且更具體地說(shuō)h3si-ch2-sih3或其配體類(lèi)似物-h2si-ch2-sih3；術(shù)語(yǔ)“碳硅烷取代的胺前體”是指nr3分子，其中至少一個(gè)r并且優(yōu)選地2或3個(gè)r是碳硅烷配體。

如在此所使用，縮寫(xiě)“me”是指甲基；縮寫(xiě)“et”是指乙基；縮寫(xiě)“pr”是指任何丙基(即，正丙基或異丙基)；縮寫(xiě)“ipr”是指異丙基；縮寫(xiě)“bu”是指任何丁基(正丁基、異丁基、叔丁基、仲丁基)；縮寫(xiě)“tbu”是指叔丁基；縮寫(xiě)“sbu”是指仲丁基；縮寫(xiě)“ibu”是指異丁基；縮寫(xiě)“ph”是指苯基；縮寫(xiě)“am”是指任何戊基(異戊基、仲戊基、叔戊基)；縮寫(xiě)“cy”是指環(huán)烷基(環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基等)。

如在此所使用，首字母縮略詞“sro”代表鍶釕氧化物膜；首字母縮略詞“hcds”代表六氯二硅烷(si2cl6)；并且首字母縮略詞“pcds”代表五氯二硅烷(si2hcl5)。

在此使用來(lái)自元素周期表的元素的標(biāo)準(zhǔn)縮寫(xiě)。應(yīng)理解，可通過(guò)這些縮寫(xiě)提及元素(例如，si是指硅，n是指氮，o是指氧，c是指碳等)。

附圖簡(jiǎn)要說(shuō)明

為了進(jìn)一步理解本發(fā)明的本質(zhì)和目的，應(yīng)結(jié)合附圖來(lái)參考以下詳細(xì)說(shuō)明，在所述附圖中相似元件給予相同或類(lèi)似的參考號(hào)，并且其中：

圖1是展示了對(duì)于iprn(-sih2-ch2-sih3)2隨著溫度變化重量損失的百分比的熱重量分析(tga)曲線圖；并且

圖2是展示了對(duì)于n(-sih2-ch2-sih3)3隨著溫度變化重量損失的百分比的tga曲線圖。

概述

披露的是含si膜形成組合物，這些組合物包含具有式(r¹)an(-sihr²-ch2-sih2r³)3-a的碳硅烷取代的胺前體，其中a＝0或1；r¹是h、c1至c6烷基、或鹵素；r²和r³各自獨(dú)立地是h，鹵素，具有式or’的烷氧基，其中r’是烷基(c1至c6)，或具有式nr”2的烷基氨基，其中每個(gè)r”獨(dú)立地是h、c1-c6烷基、c1-c6烯基、或c3-c10芳基或雜環(huán)基。所披露的前體可以包括以下方面中的一項(xiàng)或多項(xiàng)：

●a＝0：

●該式是n(-sihr²-ch2-sih2r³)3；

●r²＝h：

●該式是n(-sih2-ch2-sih2r3)3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih3)3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(cl))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(br))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(i))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nh2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nme2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nmeet))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(net2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nnpr2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nipr2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nbu2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nibu2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ntbu2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nam2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ncy戊基2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(n己基2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ncyhex2))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nmeh))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(neth))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nnprh))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(niprh))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nbuh))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nibuh))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ntbuh))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(namh))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oh))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ome))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oet))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(onpr))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oipr))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(obu))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oibu))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(otbu))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oam))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(o己基))3；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(cl))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(br))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(i))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nh2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nme2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(net2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nnpr2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nipr2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nbu2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nibu2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ntbu2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nhtbu))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nam2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nham))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ncy戊基2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(n己基2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ncyhex2))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(neth))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nnprh))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(niprh))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oh))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ome))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oet))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(onpr))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oipr))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(obu))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oibu))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(otbu))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oam))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(o己基))2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nmeet))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(net2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nnpr2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nipr2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nbu2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nibu2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ntbu2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nhtbu))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nam2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nham))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ncy戊基2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(n己基2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ncyhex2))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nmeh))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(neth))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(nnprh))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(niprh))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oh))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(onpr))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oipr))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(obu))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oibu))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(otbu))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(oam))(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(sih2-ch2-sih2(o己基))(sih2-ch2sih3)2；

●r³＝h；

●該式是n(-sihr²-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(cl)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(br)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(i)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(netme)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(net2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nnpr2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nipr2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nbu2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nibu2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(ntbu2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nhtbu)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nam2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nham)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(ncy戊基2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(n己基2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(ncyhex2)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(neth)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nnprh)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(nbuh)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(oh)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(ome)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(oet)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(onpr)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(oipr)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(obu)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(oibu)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(otbu)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(oam)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(o己基)-ch2-sih3)3；

●該前體是n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(br)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(i)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(net2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nnpr2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nipr2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nbu2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nibu2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(ntbu2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nhtbu)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nam2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nham)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(ncy戊基2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(n己基2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(ncyhex2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(nnprh)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(oh)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(ome)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(onpr)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(oipr)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(obu)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(oibu)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(otbu)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(oam)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(o己基)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)；

●該前體是n(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(net2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nnpr2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nipr2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nbu2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nibu2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(ntbu2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nhtbu)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nam2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nham)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(ncy戊基2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(n己基2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(ncyhex2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(neth)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(nnprh)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(oh)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(onpr)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(oipr)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(obu)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(si(h)(oibu)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(otbu)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(oam)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是n(si(h)(o己基)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2；

●a＝1；

●該式是r¹n(-sihr²-ch2-sih2r³)2；

●該式是r¹n(-sih2-ch2-sih2r3)2；

●r¹是h；

●該前體是hn(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(cl))2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(br))2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(i))2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(nh2))2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(nme2))2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(nmeh))2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(neth))2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(nmeet、))2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(niprh))2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(ome))2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(oet))2；

●該前體是(cl)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(br)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(i)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2sih3)2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2-sih2(cl))2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2-sih2(cl))2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2-sih2(cl))2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2-sih2(cl))2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2-sih2(cl))2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2-sih2(cl))2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2-sih2(cl))2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2-sih2(cl))2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2-sih2(cl))2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2-sih2(br))2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2-sih2(br))2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2-sih2(br))2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2-sih2(br))2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2-sih2(br))2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2-sih2(br))2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2-sih2(br))2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2-sih2(br))2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2-sih2(br))2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2-sih2(i))2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2-sih2(i))2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2-sih2(i))2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2-sih2(i))2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2-sih2(i))2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2-sih2(i))2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2-sih2(i))2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2-sih2(i))2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2-sih2(i))2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2-ih2(nme2))2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2-sih2(nmeft))2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2-sih2(neth))2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2-sih2(neth))2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2-sih2(neth))2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2-sih2(neth))2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2-sih2(neth))2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2-sih2(neth))2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2-sih2(neth))2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2-sih2(neth))2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2-sih2(neth))2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2-sih2(ome))2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2-sih2(ome))2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2-sih2(ome))2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2-sih2(ome))2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2-sih2(ome))2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2-sih2(ome))2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2-sih2(ome))2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2-sih2(ome))2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2-sih2(ome))2；

●該前體是(me)n(sih2-ch2-sih2(oet))2；

●該前體是(et)n(sih2-ch2-sih2(oet))2；

●該前體是(npr)n(sih2-ch2-sih2(oet))2；

●該前體是(ipr)n(sih2-ch2-sih2(oet))2；

●該前體是(bu)n(sih2-ch2-sih2(oet))2；

●該前體是(ibu)n(sih2-ch2-sih2(oet))2；

●該前體是(tbu)n(sih2-ch2-sih2(oet))2；

●該前體是(戊基)n(sih2-ch2-sih2(oet))2；

●該前體是(己基)n(sih2-ch2-sih2(oet))2；

●該式是r¹n(-sihr²-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(si(h)(cl)-ch2-sih3)2；

●該前體是(me)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2；

●該前體是(et)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2；

●該前體是(npr)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ipr)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2；

●該前體是(bu)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ibu)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2；

●該前體是(tbu)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2；

●該前體是(戊基)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2；

●該前體是(己基)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(si(h)(br)-ch2-sih3)2；

●該前體是(me)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2；

●該前體是(et)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2；

●該前體是(npr)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ipr)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2；

●該前體是(bu)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ibu)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2；

●該前體是(tbu)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2；

●該前體是(戊基)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2；

●該前體是(己基)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(si(h)(i)-ch2-sih3)2；

●該前體是(me)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2；

●該前體是(et)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2；

●該前體是(npr)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ipr)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2；

●該前體是(bu)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ibu)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2；

●該前體是(tbu)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2；

●該前體是(戊基)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2；

●該前體是(己基)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(me)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(et)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(npr)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ipr)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(bu)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ibu)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(tbu)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(戊基)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(己基)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(me)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(et)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(npr)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ipr)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(bu)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ibu)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(tbu)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(戊基)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2；

●該前體是(己基)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(me)n(si(h)(nmeft)-ch2-sih3)2；

●該前體是(et)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(npr)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ipr)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(bu)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ibu)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(tbu)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(戊基)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(己基)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(me)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(et)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(npr)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ipr)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(bu)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ibu)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(tbu)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(戊基)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(己基)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(si(h)(neth)-ch2-sih3)2；

●該前體是(me)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2；

●該前體是(et)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2；

●該前體是(npr)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ipr)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2；

●該前體是(bu)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ibu)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2；

●該前體是(tbu)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2；

●該前體是(戊基)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2；

●該前體是(己基)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(me)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(et)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(npr)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ipr)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(bu)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ibu)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(tbu)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(戊基)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(己基)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(me)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(et)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(npr)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ipr)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(bu)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ibu)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(tbu)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(戊基)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2；

●該前體是(己基)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(si(h)(oet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(me)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(et)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(npr)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ipr)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(bu)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(ibu)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(tbu)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(戊基)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2；

●該前體是(己基)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(si(h)(ne2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是hn(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是men(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是etn(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是iprn(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(cl)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(br)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該前體是(i)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)；

●該含si膜形成組合物包含在大約0.1摩爾％與大約50摩爾％之間的該碳硅烷取代的胺前體；

●該含si膜形成組合物包含在大約93％w/w至大約100％w/w之間的該碳硅烷取代的胺前體；

●該含si膜形成組合物包含在大約99％w/w至大約100％w/w之間的該碳硅烷取代的胺前體；

●該含si膜形成組合物包含在大約0％w/w與5％w/w之間的己烷、取代的己烷、戊烷、取代的戊烷、二甲醚、或苯甲醚；

●該含si膜形成組合物包含在大約0ppmw與200ppm之間的c1；

●進(jìn)一步包含溶劑；

●該溶劑選自下組，該組由以下各項(xiàng)組成：c1-c16烴、thf、dmo、醚、吡啶及其組合；

●該溶劑是c1-c16烴；

●該溶劑是四氫呋喃(thf)；

●該溶劑是草酸二甲酯(dmo)；

●該溶劑是醚；

●該溶劑是吡啶；

●該溶劑是乙醇；或

●該溶劑是異丙醇。

還披露的是將含si層沉積在基板上的方法。將以上披露的任何含si膜形成組合物的蒸氣引入至具有基板安置在其中的反應(yīng)器內(nèi)。使用沉積方法將該碳硅烷取代的胺前體的至少一部分沉積到該基板上以形成含si層。所披露的方法可以包括以下方面中的一項(xiàng)或多項(xiàng)：

●將包含第二前體的蒸氣引入至該反應(yīng)器內(nèi)；

●該第二前體包含選自下組的元素，該組由以下各項(xiàng)組成：第2族、第13族、第14族、過(guò)渡金屬、鑭系元素及其組合；

●該第二前體的元素選自mg、ca、sr、ba、zr、hf、ti、nb、ta、al、si、ge、y、或鑭系元素；

●將共反應(yīng)物引入至該反應(yīng)器內(nèi)；

●該共反應(yīng)物選自下組，該組由以下各項(xiàng)組成：o2、o3、h2o、h2o2、no、no2、羧酸、其自由基、以及其組合；

●該共反應(yīng)物是等離子體處理的氧；

●該共反應(yīng)物是臭氧；

●該含si層是氧化硅層；

●該共反應(yīng)物選自下組，該組由以下各項(xiàng)組成：h2、nh3、(sih3)3n、氫化硅烷(如sih4、si2h6、si3h8、si4h10、si5h10、si6h12)、氯硅烷和氯聚硅烷(如sihcl3、sih2cl2、sih3cl、si2cl6、si2hcl5、si3cl8)、烷基硅烷(如me2sih2、et2sih2、mesih3、etsih3)、肼(如n2h4、mehnnh2、mehnnhme)、有機(jī)胺(如nmeh2、neth2、nme2h、net2h、nme3、net3、(sime3)2nh)、吡唑啉、吡啶、含b分子(如b2h6、9-硼二環(huán)[3，3，1]壬烷(9-borabicylo[3，3，1]none)、三甲基硼、三乙基硼、硼吖嗪)、烷基金屬(如三甲基鋁、三乙基鋁、二甲基鋅、二乙基鋅)、其自由基物種、以及其混合物。

●該共反應(yīng)物選自下組，該組由以下各項(xiàng)組成：h2、nh3、sih4、si2h6、si3h8、sih2me2、sih2et2、n(sih3)3、其氫自由基、以及其混合物；

●該共反應(yīng)物是hcds或pcds；

●該氣相沉積工藝是化學(xué)氣相沉積工藝；

●該氣相沉積工藝是原子層沉積(ald)工藝；

●該氣相沉積工藝是空間ald工藝；

●該氣相沉積工藝是化學(xué)氣相沉積工藝；

●該含硅層為si；

●該含硅層為sio2；

●該含硅層為sic；

●該含硅層為sin；

●該含硅層為sion；

●該含硅層為sicn；并且

●該含硅層為sicoh。

還披露了在基板上形成含si膜的方法。將包含以上披露的任何含si膜形成組合物的溶液與該基板接觸并且經(jīng)由形成該含si膜的旋涂、噴涂、浸涂、或縫隙涂覆技術(shù)形成該含si膜。所披露的方法可以包括以下方面：

●該含si膜形成組合物包含乙醇；

●該含si膜形成組合物包含異丙醇；

●經(jīng)由旋涂技術(shù)形成該含si膜；

●經(jīng)由噴涂技術(shù)形成該含si膜；

●經(jīng)由浸涂技術(shù)形成該含si膜；

●經(jīng)由縫隙涂覆技術(shù)形成該含si膜；

●使該含si膜退火；或

●激光處理該含si膜。

優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)說(shuō)明

披露了包含碳硅烷取代的胺前體的含si膜形成組合物。還披露了合成這些碳硅烷取代的胺前體的方法以及使用它們來(lái)沉積用于制造半導(dǎo)體的含硅膜的方法。

所披露的碳硅烷取代的胺前體具有式(r¹)an(-sihr²-ch2-sih2r³)3-a，其中a＝0或1；r¹是h、烷基(cl至c6)或鹵素(cl、br或i)；r²和/或r³獨(dú)立地是h，鹵素(cl、br或i)，具有式or’的烷氧基，其中r’是烷基(cl至c6)，或具有式nr”2的烷基氨基，其中每個(gè)r”獨(dú)立地是h、cl-c6烷基、c1-c6烯基、或c3-c10芳基或雜環(huán)基。

當(dāng)a＝0時(shí)，所披露的碳硅烷取代的胺前體具有下式：

其中r²和r³各自獨(dú)立地是h，鹵素(cl、br或i)，烷氧基(or’)，其中r’是烷基(c1至c6)，或具有式nr”2的烷基氨基，其中每個(gè)r”獨(dú)立地是h、c1-c6烷基、c1-c6烯基、或c3-c10芳基或雜環(huán)基。烷基氨基的r”可以接合以在n原子上形成環(huán)狀鏈。例如，nr”2可以形成吡啶、吡咯、吡咯烷或咪唑環(huán)結(jié)構(gòu)。在每個(gè)(-sihr²-ch2-sih2r³)基團(tuán)上的最小5個(gè)h可以提供改進(jìn)的揮發(fā)性。

當(dāng)a＝0并且r²和r³＝h時(shí)，該碳硅烷取代的胺前體是n(sih2-ch2-sih3)3。

其中a＝0并且r²＝h的示例性前體包括：n(sih2-ch2-sih2(cl))3、n(sih2-ch2-sih2(br))3、n(sih2-ch2-sih2(i))3、n(sih2-ch2-sih2(nh2))3、n(sih2-ch2-sih2(nme2))3、n(sih2-ch2-sih2(nmeet))3、n(sih2-ch2-sih2(net2))3、n(sih2-ch2-sih2(nnpr2))3、n(sih2-ch2-sih2(nipr2))3、n(sih2-ch2-sih2(nbu2))3、n(sih2-ch2-sih2(nibu2))3、n(sih2-ch2-sih2(ntbu2))3、n(sih2-ch2-sih2(nam2))3、n(sih2-ch2-sih2(ncy戊基2))3、n(sih2-ch2-sih2(n己基2))3、n(sih2-ch2-sih2(ncyhex2))3、n(sih2-ch2-sih2(nmeh))3、n(sih2-ch2-sih2(neth))3、n(sih2-ch2-sih2(nnprh))3、n(sih2-ch2-sih2(niprh))3、n(sih2-ch2-sih2(nbuh))3、n(sih2-ch2-sih2(nibuh))3、n(sih2-ch2-sih2(ntbuh))3、n(sih2-ch2-sih2(namh))3、n(sih2-ch2-sih2(吡啶))3、n(sih2-ch2-sih2(吡咯))3、n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))3、n(sih2-ch2-sih2(咪唑))3、n(sih2-ch2-sih2(oh))3、n(sih2-ch2-sih2(ome))3、n(sih2-ch2-sih2(oet))3、n(sih2-ch2-sih2(onpr))3、n(sih2-ch2-sih2(oipr))3、n(sih2-ch2-sih2(obu))3、n(sih2-ch2-sih2(oibu))3、n(sih2-ch2-sih2(otbu))3、n(sih2-ch2-sih2(oam))3、以及n(sih2-ch2-sih2(o己基))3。

其中a＝0并且r3＝h的示例性前體包括：n(si(h)(cl)-ch2-sih3)3、n(si(h)(br)-ch2-sih3)3、n(si(h)(i)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(netme)-ch2-sih3)3、n(si(h)(net2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nnpr2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nipr2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nbu2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nibu2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(ntbu2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nhtbu)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nam2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nham)-ch2-sih3)3、n(si(h)(ncy戊基2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(n己基2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(ncyhex2)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)3、n(si(h)(neth)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nnprh)-ch2-sih3)3、n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)3、n(si(h)(nbuh)-ch2-sih3)3、n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)3、n(si(h)(吡啶)-ch2-sih3)3、n(si(h)(吡咯)-ch2-sih3)3、n(si(h)(吡咯烷)-ch2-sih3)3、n(si(h)(咪唑)-ch2-sih3)3、n(si(h)(oh)-ch2-sih3)3、n(si(h)(ome)-ch2-sih3)3、n(si(h)(oet)-ch2-sih3)3、n(si(h)(onpr)-ch2-sih3)3、n(si(h)(oipr)-ch2-sih3)3、n(si(h)(obu)-ch2-sih3)3、n(si(h)(oibu)-ch2-sih3)3、n(si(h)(otbu)-ch2-sih3)3、n(si(h)(oam)-ch2-sih3)3、以及n(si(h)(o己基)-ch2-sih3)3。

所披露的碳硅烷取代的胺前體還可以包括：混合的碳硅烷配體，如，n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(br)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(i)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(net2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nnpr2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nipr2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nbu2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nibu2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(ntbu2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nhtbu)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nam2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nham)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(ncy戊基2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(n己基2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(ncyhex2)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(nnprh)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(oh)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(ome)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(onpr)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(oipr)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(obu)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(oibu)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(otbu)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(oam)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(o己基)-ch2-sih3)2(sih2-ch2sih3)、n(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(net2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nnpr2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nipr2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nbu2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nibu2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(ntbu2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nhtbu)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nam2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nham)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(ncy戊基2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(n己基2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(ncyhex2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(neth)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(nnprh)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(oh)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(onpr)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(oipr)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(obu)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(oibu)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(otbu)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(oam)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(si(h)(o己基)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(cl))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(br))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(i))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nh2))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nme2))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(net2))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nnpr2))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nipr2))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nbu2))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nibu2))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(ntbu2))2(sih2ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nhtbu))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nam2))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nham))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(ncy戊基2))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(n己基2))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(ncyhex2))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(neth))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(nnprh))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(niprh))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(oh))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(ome))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(oet))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(onpr))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(oipr))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(obu))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(oibu))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(otbu))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(oam))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(o己基))2(sih2-ch2sih3)、n(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nmeet))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(net2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nnpr2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nipr2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nbu2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nibu2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(ntbu2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nhtbu))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nam2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nham))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(ncy戊基2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(n己基2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(ncyhex2))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nmeh))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(neth))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(nnprh))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(niprh))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(oh))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(onpr))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(oipr))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(obu))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(oibu))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(otbu))(sih2-ch2sih3)2、n(sih2-ch2-sih2(oam))(sih2-ch2sih3)2、以及n(sih2-ch2-sih2(o己基))(sih2-ch2sih3)2。所披露的混合配體三(1，3-二硅丙烷)胺前體可以提供所希望的反應(yīng)性和最小膜污染的組合。

這些三(1，3-二硅丙烷)胺前體[n(-sihr²-ch2-sih2r³)3]可以在從-78℃至20℃的溫度下通過(guò)將1-鹵代-1，3-二硅丙烷、1，1-二鹵代-1，3-二硅丙烷或1，3-二鹵代-1，3-二硅丙烷于非極性溶劑中混合或溶解進(jìn)行合成。1-鹵代-1，3-二硅丙烷可以如在有機(jī)金屬化學(xué)雜志(j.organomet.chem)92，1975163-168中描述的進(jìn)行合成。可以根據(jù)相同的方法通過(guò)改變?cè)噭┑幕瘜W(xué)計(jì)量學(xué)來(lái)合成1，1-二鹵代-1，3-二硅丙烷或1，3-二鹵代-1，3-二硅丙烷。將氨緩慢添加至該混合物中或者鼓泡至該溶液內(nèi)以形成該n(-sihr²-ch2-sih2r³)3化合物，其中r²和r³各自獨(dú)立地是h或鹵素(cl、br或i)。

在另一種替代方案中，這些n(-sihr²-ch2-sih2r³)3前體，其中r²和r³各自獨(dú)立地是h或鹵素(cl、br或i)，可以從n(sih2-ch2-sih3)3；歧化催化劑，如nbu4pcl、nbu4ncl、或含有二烷基氨基的弱堿性陰離子交換樹(shù)脂；以及適當(dāng)?shù)膔nsix4-n源(其中n＝0-3，r＝h或烷基，并且x＝cl，br或i)來(lái)形成。n(sih2-ch2-sih3)3可以通過(guò)使nh3與1-cl-sih2-ch2-sih3反應(yīng)來(lái)合成，其可以根據(jù)在有機(jī)金屬化學(xué)雜志(j.organomet.chem)92，1975163-168中披露的方法來(lái)合成。

必要時(shí)然后可以取代該二硅丙烷鏈上的鹵化物基團(tuán)(cl、br或i)。例如，該鹵化物基團(tuán)可以通過(guò)在非極性溶劑中在溫度(大約-78℃至20℃)下與過(guò)量的伯胺或仲胺(nh2r或nhr2)反應(yīng)被酰胺基團(tuán)取代，由此產(chǎn)生所希望的化合物。

可替代地，該鹵化物基團(tuán)可以通過(guò)在堿(如吡啶)存在下在非極性溶劑中在低溫(大約-78℃至20℃)下與適當(dāng)?shù)拇挤磻?yīng)被烷氧基取代，由此產(chǎn)生所希望的化合物。

在另一個(gè)替代方案中，使用適當(dāng)?shù)陌被嚳梢匀〈谠摱璞殒溕系柠u化物基團(tuán)(cl、br或i)。該氨基鋰可以通過(guò)以下方式形成：在溶劑如醚或任何其他極性溶劑中在低溫(大約-78℃至20℃)下將烷基鋰與伯胺或仲胺(nh2r或nhr2)組合以形成氨基鋰?？梢詫⒃摪被嚪蛛x并且與n(-sihr²-ch2-sih2r³)反應(yīng)以形成所希望的化合物，其中r²和r³獨(dú)立地是h或鹵素(cl、br、i)?？商娲兀梢詫⒃摪被嚾芤禾砑又羘(-sihr²-ch2-sih2r³)中以形成所希望的化合物，其中r²和r³獨(dú)立地是h或鹵素(cl、br或i)。

這些反應(yīng)物是可商購(gòu)的或可以根據(jù)有機(jī)金屬化學(xué)雜志(j.organomet.chem)92，1975163-168合成的。

當(dāng)a＝1時(shí)，所披露的碳硅烷取代的胺前體具有下式：

其中r¹可以是h、烷基或鹵素(cl、br或i)；r²和r³各自獨(dú)立地是h，鹵素(cl、br或i)，烷氧基(or’)，其中r’是烷基(c1至c6)，或具有式nr”2的烷基氨基，其中每個(gè)r”獨(dú)立地是h、c1-c6烷基、c1-c6烯基、或c3-c10芳基或雜環(huán)基。烷基氨基的r”可以接合以在n原子上形成環(huán)狀鏈。例如，nr”2可以形成吡啶、吡咯、吡咯烷或咪唑環(huán)結(jié)構(gòu)。

其中a＝1并且r¹＝h的示例性前體包括：(h)n(sih2-ch2sih3)2、hn(sih2-ch2-sih2(cl))2、hn(sih2-ch2-sih2(br))2、hn(sih2-ch2-sih2(i))2、hn(sih2-ch2-sih2(nh2))2、hn(sih2-ch2-sih2(nme2))2、hn(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、hn(sih2-ch2-sih2(neth))2、hn(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、hn(sih2-ch2-sih2(niprh))2、hn(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、hn(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、hn(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、hn(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、hn(sih2-ch2-sih2(ome))2、以及hn(sih2-ch2-sih2(oet))2。n-h鍵比n-烷基鍵更具反應(yīng)性，這可提供與該基板或共反應(yīng)物的改進(jìn)的反應(yīng)性。

其中a＝1并且r¹＝鹵化物的示例性前體包括：(cl)n(sih2-ch2sih3)2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(cl)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、(cl)n(sih2-ch2sih2(oet))2、(br)n(sih2-ch2sih3)2、(br)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、(br)n(sih2-ch2-sih2(oet))2、(i)n(sih2-ch2sih3)2、(i)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(i)n(sih2-ch2sih2(nmeet))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(i)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、以及(i)n(sih2-ch2-sih2(oet))2。n-x鍵(其中x是cl、br或i)比n-h或n-烷基鍵更具反應(yīng)性，這可提供與該基板或共反應(yīng)物的改進(jìn)的反應(yīng)性。然而，可能不令人希望的是在所得含si膜上具有任何鹵化物污染。

其中a＝1、r¹＝烷基并且r³＝h的示例性前體包括：(me)n(sih2-ch2sih3)2、(et)n(sih2-ch2sih3)2、(npr)n(sih2-ch2sih3)2、(ipr)n(sih2-ch2sih3)2、(bu)n(sih2-ch2sih3)2、(ibu)n(sih2-ch2sih3)2、(tbu)n(sih2-ch2sih3)2、(戊基)n(sih2-ch2sih3)2、(己基)n(sih2-ch2sih3)2、(me)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2、(et)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2、(npr)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2、(ipr)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2、(bu)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2、(ibu)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2、(tbu)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2、(戊基)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2、(己基)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)2、(me)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2、(et)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2、(npr)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2、(ipr)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2、(bu)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2、(ibu)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2、(tbu)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2、(戊基)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2、(己基)n(si(h)(br)-ch2-sih3)2、(me)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2、(et)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2、(npr)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2、(ipr)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2、(bu)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2、(ibu)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2、(tbu)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2、(戊基)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2、(己基)n(si(h)(i)-ch2-sih3)2、(me)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2、(et)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2、(npr)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2、(ipr)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2、(bu)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2、(ibu)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2、(tbu)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2、(戊基)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2、(己基)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)2、(me)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2、(et)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2、(npr)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2、(ipr)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2、(bu)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2、(ibu)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2、(tbu)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2、(戊基)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2、(己基)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)2、(me)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2、(et)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2、(npr)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2、(ipr)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2、(bu)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2、(ibu)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2、(tbu)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2、(戊基)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2、(己基)n(si(h)(nmeet)-ch2-sih3)2、(me)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2、(et)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2、(npr)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2、(ipr)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2、(bu)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2、(ibu)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2、(tbu)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2、(戊基)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2、(己基)n(si(h)(nmeh)-ch2-sih3)2、(me)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2、(et)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2、(npr)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2、(ipr)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2、(bu)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2、(ibu)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2、(tbu)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2、(戊基)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2、(己基)n(si(h)(neth)-ch2-sih3)2、(me)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2、(et)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2、(npr)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2、(ipr)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2、(bu)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2、(ibu)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2、(tbu)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2、(戊基)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2、(己基)n(si(h)(niprh)-ch2-sih3)2、(me)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2、(et)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2、(npr)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2、(ipr)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2、(bu)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2、(ibu)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2、(tbu)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2、(戊基)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2、(己基)n(si(h)(ntbuh)-ch2-sih3)2、(me)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2、(et)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2、(npr)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2、(ipr)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2、(bu)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2、(ibu)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2、(tbu)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2、(戊基)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2、以及(己基)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)2?？赡芩Ｍ淖鳛橥榛膔¹基團(tuán)將一些碳結(jié)合在所得含si膜中。

其中a＝1、r¹＝烷基并且r²＝h的示例性前體包括：(me)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(cl))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(br))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(i))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(nh2))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(nme2))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(nmeh))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(nmeet))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(neth))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(niprh))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(吡啶))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(吡咯))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(吡咯烷))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(咪唑))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、(己基)n(sih2-ch2-sih2(ome))2、(me)n(sih2-ch2-sih2(oet))2、(et)n(sih2-ch2-sih2(oet))2、(npr)n(sih2-ch2-sih2(oet))2、(ipr)n(sih2-ch2-sih2(oet))2、(bu)n(sih2-ch2-sih2(oet))2、(ibu)n(sih2-ch2-sih2(oet))2、(tbu)n(sih2-ch2-sih2(oet))2、(戊基)n(sih2-ch2-sih2(oet))2、以及(己基)n(sih2-ch2-sih2(oet))2。

所披露的碳硅烷取代的胺前體還可以包括混合的碳硅烷配體，如，hn(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、men(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、etn(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、iprn(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(cl)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(br)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(i)n(si(h)(cl)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、hn(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、men(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、etn(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、iprn(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(cl)n(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(br)n(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(i)n(si(h)(br)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、hn(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、men(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、etn(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、iprn(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(cl)n(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(br)n(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(i)n(si(h)(i)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、hn(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、men(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、etn(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、iprn(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(cl)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(br)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(i)n(si(h)(nh2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、hn(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、men(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、etn(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、iprn(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(cl)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(br)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(i)n(si(h)(nme2)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、hn(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、men(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、etn(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、iprn(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(cl)n(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(br)n(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(i)n(si(h)(ome)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、hn(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、men(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、etn(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2ch2sih3)、iprn(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(cl)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、(br)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、或(i)n(si(h)(oet)-ch2-sih3)(sih2-ch2sih3)、hn(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)、men(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)、etn(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)、iprn(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)、(cl)n(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)、(br)n(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)、(i)n(sih2-ch2-sih2(cl))(sih2-ch2sih3)、hn(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)、men(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)、etn(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)、iprn(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)、(cl)n(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)、(br)n(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)、(i)n(sih2-ch2-sih2(br))(sih2-ch2sih3)、hn(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)、men(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)、etn(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)、iprn(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)、(cl)n(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)、(br)n(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)、(i)n(sih2-ch2-sih2(i))(sih2-ch2sih3)、hn(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)、men(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)、etn(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)、iprn(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)、(cl)n(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)、(br)n(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)、(i)n(sih2-ch2-sih2(nh2))(sih2-ch2sih3)、hn(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)、men(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)、etn(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)、iprn(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)、(cl)n(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)、(br)n(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)、(i)n(sih2-ch2-sih2(nme2))(sih2-ch2sih3)、hn(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)、men(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)、etn(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)、iprn(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)、(cl)n(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)、(br)n(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)、(i)n(sih2-ch2-sih2(ome))(sih2-ch2sih3)、hn(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)、men(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)、etn(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)、iprn(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)、(cl)n(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)、(br)n(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)、以及(i)n(sih2-ch2-sih2(oet))(sih2-ch2sih3)。所披露的混合配體雙(1，3-二硅丙烷)胺前體可以提供所希望的反應(yīng)性和最小膜污染的組合。

這些雙(1，3-二硅丙烷)胺前體(r¹n(-sihr²-ch2-sih2r³)2)可以在溫度(-78℃至20℃)下通過(guò)將1-鹵代-1，3-二硅丙烷、1，1-二鹵代-1，3-二硅丙烷或1，3-二鹵代-1，3-二硅丙烷于非極性溶劑中混合或溶解進(jìn)行合成。1-鹵代-1，3-二硅丙烷可以如在有機(jī)金屬化學(xué)雜志(j.organomet.chem)92，1975163-168中描述的進(jìn)行合成?？梢愿鶕?jù)相同的方法通過(guò)改變?cè)噭┑幕瘜W(xué)計(jì)量學(xué)來(lái)合成1，1-二鹵代-1，3-二硅丙烷或1，3-二鹵代-1，3-二硅丙烷。將伯胺(r¹nh2)緩慢添加至該混合物中以形成該r¹n(-sihr²-ch2-sih2r³)2化合物，其中r^２和r³各自獨(dú)立地是h或鹵素(cl、br或i)。

可替代地，這些r¹n(-sihr²-ch2-sih2r³)2前體，其中r²和r³獨(dú)立地是h或鹵素(cl、br或i)，可以從r¹n(sih2-ch2-sih3)2；歧化催化劑，如nbu4pcl、nbu4ncl、或含有二烷基氨基的弱堿性陰離子交換樹(shù)脂；以及適當(dāng)?shù)膔nsix4-n源(其中n＝0-3，r＝h或烷基，并且x＝cl，br或i)來(lái)形成。n(sih2-ch2-sih3)3可以通過(guò)使nh3與1-cl-sih2-ch2-sih3反應(yīng)來(lái)合成，其可以根據(jù)在有機(jī)金屬化學(xué)雜志(j.organomet.chem)92，1975163-168中披露的方法來(lái)合成。

必要時(shí)然后可以取代該二硅丙烷鏈上的鹵化物基團(tuán)(cl、br或i)。

例如，該鹵化物基團(tuán)可以通過(guò)在非極性溶劑中在溫度(大約-78℃至20℃)下與過(guò)量的伯胺或仲胺(nh2r或nhr2)反應(yīng)被酰胺基團(tuán)取代，由此產(chǎn)生所希望的化合物。

可替代地，該鹵化物基團(tuán)可以通過(guò)在堿(如吡啶)存在下在非極性溶劑中在低溫(大約-78℃至20℃)下與適當(dāng)?shù)拇挤磻?yīng)被烷氧基取代，由此產(chǎn)生所希望的化合物。

在另一個(gè)替代方案中，使用適當(dāng)?shù)陌被嚳梢匀〈u化物基團(tuán)(cl、br或i)。該氨基鋰可以通過(guò)以下方式形成：在溶劑如醚或任何其他極性溶劑中在溫度(從大約-78℃至20℃)下將烷基鋰與伯胺或仲胺(nh2r或nhr2)組合以形成氨基鋰?？梢詫⒃摪被嚪蛛x并且與r¹n(-sihr²-ch2-sih2r³)2反應(yīng)以形成所希望的化合物，其中r²和r³獨(dú)立地是h或鹵素(cl、br、i)?？商娲?，可以將該氨基鋰溶液添加至r¹n(-sihr²-ch2-sih2r³)2中以形成所希望的化合物，其中r²和r³獨(dú)立地是h或鹵素(cl、br或i)。

使用來(lái)自文獻(xiàn)的已知氯化方法可以從這些hn(-sihr²-ch2-sih2r³)2化合物形成xn(-sihr²-ch2-sih2r³)2前體，其中x＝cl、br或i。例如，但不限于，使hn(-sihr²-ch2-sih2r³)2與鹵化劑n-氯-、溴-、或碘-丁二酰亞胺在甲苯中在范圍是從0℃至回流的溫度下反應(yīng)持續(xù)1至12小時(shí)；根據(jù)warren等人，自然(nature)，508,2014,402-405，以及在此的參考文件。

這些反應(yīng)物是可商購(gòu)的或可以根據(jù)有機(jī)金屬化學(xué)雜志(j.organomet.chem)92,1975163-168合成的。

為了確保工藝可靠性，在使用范圍是從大約90％w/w至大約100％w/w、優(yōu)選地范圍是從大約99％w/w至大約100％w/w的純度之前，所得含si膜形成組合物可以通過(guò)連續(xù)或部分分批蒸餾或升華進(jìn)行純化。該含si膜形成組合物可以含有以下雜質(zhì)中的任何：所不希望的同族物種；溶劑；氯化的金屬化合物；或其他反應(yīng)產(chǎn)物。優(yōu)選地，這些雜質(zhì)的總量是低于0.1％w/w。

己烷、取代的己烷、戊烷、取代的戊烷、二甲氧基醚、或苯甲醚在純化的材料中的各自濃度范圍可以是從大約0％w/w至大約5％w/w、優(yōu)選地從大約0％w/w至大約0.1％w/w。溶劑可以用于該組合物的合成中。如果這些溶劑和這些組合物具有相似的沸點(diǎn)，則從這些組合物中分離這些溶劑可能是困難的。冷卻該混合物可以在液體溶劑中產(chǎn)生固體前體，其可以通過(guò)過(guò)濾分離。還可以使用真空蒸餾，只要該前體產(chǎn)物不在大約其分解點(diǎn)以上加熱。

在一個(gè)實(shí)施例中，所披露的含si膜形成組合物含有小于5％v/v、優(yōu)選小于1％v/v、更優(yōu)選小于0.1％v/v、并且甚至更優(yōu)選小于0.01％v/v的其所不希望的同族物種、反應(yīng)物、或其他反應(yīng)產(chǎn)物中的任一種。此實(shí)施例可提供更好的工藝可重復(fù)性。此實(shí)施例可通過(guò)該含si膜形成組合物的蒸餾產(chǎn)生。在替代性實(shí)施例中，所披露的含si膜形成組合物可以含有在5％v/v與50％v/v之間的該碳硅烷取代的胺前體，特別地當(dāng)該混合物提供了改進(jìn)的工藝參數(shù)或目標(biāo)前體的分離過(guò)于困難或昂貴時(shí)。例如，反應(yīng)產(chǎn)物的混合物可以產(chǎn)生適合于旋壓或氣相沉積的穩(wěn)定的液體混合物。

痕量金屬和類(lèi)金屬在該含si膜形成組合物中的濃度范圍各自可以是從大約0ppb至大約100ppb，并且更優(yōu)選地從大約0ppb至大約10ppb。x(其中x＝cl、br、i、或f)在該純化的含si膜形成組合物中的濃度范圍可以是從大約0ppm至大約100ppm并且更優(yōu)選地從大約0ppm至大約10ppm。

還披露了使用所披露的碳硅烷取代的胺前體用于氣相沉積方法的方法。所披露的方法提供了該含si膜形成組合物用于沉積含硅膜的用途。所披露的方法可以在制造半導(dǎo)體、光伏、lcd-tft、或平板型器件中是有用的。該方法包括：將所披露的含si膜形成組合物的蒸氣引入至具有基板安置在其中的反應(yīng)器內(nèi)；并且經(jīng)由沉積工藝將所披露的碳硅烷取代的胺前體的至少一部分沉積到該基板上以形成含si層。

所披露的方法還提供了使用氣相沉積工藝在基板上形成含雙金屬的層，并且更具體地說(shuō)，用于沉積simox膜，其中x可以是0-4并且m是ta、hf、nb、mg、al、sr、y、ba、ca、as、sb、bi、sn、pb、co、鑭系元素(如er)、或其組合。

所披露的在基板上形成含硅層的方法可以在制造半導(dǎo)體、光伏、lcd-tft、或平板型器件中是有用的?？梢詫⑺兜暮瑂i膜形成組合物使用本領(lǐng)域中已知的任何氣相沉積方法沉積含si膜。適合的氣相沉積方法的實(shí)例包括化學(xué)氣相沉積(cvd)或原子層沉積(ald)。示例性cvd方法包括熱cvd、等離子體增強(qiáng)的cvd(pecvd)、脈沖的cvd(pcvd)、低壓cvd(lpcvd)、低于大氣壓的cvd(sacvd)或大氣壓的cvd(apcvd)、可流動(dòng)的cvd(f-cvd)、熱絲cvd(hwcvd，還被稱(chēng)為cat-cvd，其中熱絲充當(dāng)用于沉積工藝的能源)，自由基結(jié)合的cvd、以及其組合。示例性ald方法包括熱ald、等離子體增強(qiáng)ald(peald)、空間隔離ald、熱絲ald(hwald)、自由基結(jié)合的ald、以及其組合。還可以使用超臨界流體沉積。沉積方法優(yōu)選地是ald、空間ald、或pe-ald，以便提供適合的階梯覆蓋和膜厚度控制。

將該含si膜形成組合物的蒸氣引入至含有基板的反應(yīng)室中。該反應(yīng)室內(nèi)的溫度和壓力以及該基板的溫度保持在適合于將該碳硅烷取代的胺前體的至少一部分氣相沉積到該基板上的條件下。換言之，在將該蒸發(fā)的組合物引入至該室內(nèi)之后，該室內(nèi)的條件是使得將該蒸發(fā)的前體的至少一部分沉積到該基板上以形成該含硅膜。還可以使用共反應(yīng)物以幫助形成該含si層。

該反應(yīng)室可以是其中進(jìn)行沉積方法的器件的任何封閉空間或室，如但不限于：平行板型反應(yīng)器、冷壁型反應(yīng)器、熱壁型反應(yīng)器、單晶圓反應(yīng)器、多晶圓反應(yīng)器、或其他此類(lèi)類(lèi)型的沉積系統(tǒng)。所有這些示例性反應(yīng)室能夠充當(dāng)ald反應(yīng)室?？梢詫⒃摲磻?yīng)室維持在范圍是從約0.5毫托至約20托的壓力下。此外，該反應(yīng)室內(nèi)的溫度范圍可以是從約20℃至約600℃。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，可通過(guò)純粹的實(shí)驗(yàn)優(yōu)化溫度以實(shí)現(xiàn)所希望的結(jié)果。

該反應(yīng)器的溫度可通過(guò)或者控制該基板固定器的溫度或控制該反應(yīng)器壁的溫度來(lái)進(jìn)行控制?，F(xiàn)有技術(shù)中已知用于加熱該基板的器件。該反應(yīng)器壁被加熱至足夠溫度以在足夠增長(zhǎng)率下獲得所希望的膜且具有所希望的物理狀態(tài)和組成。非限制性示例性溫度范圍(可以將該反應(yīng)器壁加熱到該溫度范圍)包括從大約20℃至大約600℃。當(dāng)利用等離子體沉積工藝時(shí)，該沉積溫度范圍可以是從大約20℃至大約550℃?？商娲?，當(dāng)進(jìn)行熱工藝時(shí)，該沉積溫度范圍可以是從大約300℃至大約600℃。

可替代地，該基板可以被加熱至足夠溫度以在足夠增長(zhǎng)率下獲得所希望的含硅膜且具有所希望的物理狀態(tài)和組成。非限制性示例性溫度范圍(可以將該基板加熱到該溫度范圍)包括從150℃至600℃。優(yōu)選地，該基板的溫度保持小于或等于500℃。

在其上將沉積該含硅膜的基板的類(lèi)型將取決于預(yù)期最終用途而改變。基板一般定義為在其上進(jìn)行工藝的材料?；蹇蔀橛糜诎雽?dǎo)體、光伏、平板或lcd-tft器件制造中的任何合適的基板。適合的基板的實(shí)例包括晶圓，如硅、二氧化硅、玻璃、ge、或gaas晶圓。從先前的制造步驟，該晶圓可具有在其上沉積的一或多個(gè)不同材料層。例如，這些晶圓可包括硅層(結(jié)晶、非晶形、多孔等)、氧化硅層、氮化硅層、氮氧化硅層、碳摻雜的氧化硅(sicoh)層或其組合。附加地，這些晶圓可以包括銅層、鎢層或金屬層(例如鉑、鈀、鎳、銠、或金)。這些晶圓可以包括阻擋層，如錳、氧化錳、鉭、氮化鉭等。也可使用塑料層諸如聚(3，4-亞乙基二氧噻吩)聚(苯乙烯磺酸酯)[pedot：pss]。這些層可以是平面的或圖案化的。在一些實(shí)施例中，該基板可以是由氫化碳例如chx制成的圖案化的光致抗蝕劑膜，其中x大于零(例如，x≤4)。在一些實(shí)施例中，該基板可以包括被用作mim、dram、或feram技術(shù)中的介電材料(例如，zro2基材料、hfo2基材料、tio2基材料、稀土氧化物基材料、三元氧化物基材料等)或者來(lái)自被用作在銅與低k層之間的氧阻擋的氮化物基膜(例如，tan)的氧化物層。所披露的工藝可直接在晶圓上或直接在晶圓頂部的一個(gè)或多于一個(gè)(當(dāng)圖案化層形成該基板時(shí))層上沉積該含硅層。此外，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，在此所使用的術(shù)語(yǔ)“膜”或“層”指的是放置或鋪展在表面上的一些材料的厚度且該表面可為溝槽或線條。貫穿本說(shuō)明書(shū)和權(quán)利要求書(shū)，晶圓和其上的任何結(jié)合層稱(chēng)為基板。所利用的實(shí)際基板還可取決于所利用的特定前體實(shí)施例。盡管在許多情況下，所利用的優(yōu)選的基板將選自氫化碳、tin、sro、ru和si型基板，如多晶硅或晶體硅基板。

該基板可以被圖案化以包括具有高縱橫比的通孔或溝槽。例如，可以使用任何ald技術(shù)將保形的含si膜如sio2沉積在具有范圍是從大約20∶1至大約100∶1縱橫比的硅通孔(tsv)上。

該含si膜形成組合物可以或者以純凈的的形式或以與適合于氣相沉積的溶劑(如甲苯、乙苯、二甲苯、均三甲苯、癸烷、十二烷、辛烷、己烷、戊烷、叔胺、丙酮、四氫呋喃、乙醇、乙基甲基酮、1，4-二噁烷、或其他)的共混物進(jìn)行供應(yīng)。可替代地，該含si膜形成組合物可包含適合于流延沉積的溶劑，如水、乙醇、異丙醇、石腦油、甲基異丁基酮(mibk)、正甲基異丁基酮(nmibk)或其組合。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，流延沉積溶液可以進(jìn)一步包含ph調(diào)節(jié)劑或表面活性劑。所披露的前體可以是以變化濃度存在于該溶劑中。例如，該氣相沉積溶液的所得濃度范圍可以是從大約0.05m至大約2m。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，該流延沉積溶液的摩爾濃度與所希望的膜厚度成正比例并且因此可以調(diào)節(jié)摩爾濃度。

對(duì)于氣相沉積，通過(guò)常規(guī)手段如裝管和/或流量計(jì)將純凈的或共混的含si膜形成組合物以蒸氣形式引入至反應(yīng)器內(nèi)。以蒸氣形式的該組合物可以通過(guò)以下方式產(chǎn)生：通過(guò)常規(guī)蒸發(fā)步驟(如直接蒸發(fā)、蒸餾)、通過(guò)鼓泡、或通過(guò)使用升華器(如xu等人的pct公開(kāi)wo2009/087609中披露的那種)蒸發(fā)該純凈的或共混的組合物。該純凈的或共混的組合物可在引入反應(yīng)器中之前以液態(tài)進(jìn)料到汽化器中，在該汽化器中使其汽化?？商娲兀赏ㄟ^(guò)將載氣傳送至含有該前體的容器內(nèi)或通過(guò)將載氣鼓泡進(jìn)該前體內(nèi)使該純凈的或共混的組合物汽化。該載氣可包括但不限于ar、he、或n2、及其混合物。用載氣鼓泡還可移除該純凈的或共混的組合物中存在的任何溶解氧。該載氣和前體然后作為蒸氣被引入反應(yīng)器內(nèi)。

必要時(shí)，可將該容器加熱至允許該含si膜形成組合物處于其液相并且具有足夠蒸氣壓的溫度?？梢詫⒃撊萜骶S持在例如0℃-150℃的范圍內(nèi)的溫度下。本領(lǐng)域技術(shù)人員認(rèn)識(shí)到可以按已知方式調(diào)節(jié)該容器的溫度以控制氣化的含si膜形成組合物的量。

除了所披露的組合物之外，還可以將反應(yīng)氣體引入至該反應(yīng)器內(nèi)。該反應(yīng)氣體可以是氧化劑，如以下項(xiàng)中的一項(xiàng)：o2；o3；h2o；h2o2；含氧自由基如o·或oh·；no；no2；羧酸，如甲酸、乙酸、丙酸；no、no2、或羧酸的自由基物種；對(duì)甲醛；以及其混合物。優(yōu)選地，該氧化劑選自下組，該組由以下各項(xiàng)組成：o2、o3、h2o、h2o2、其含氧自由基(如o·或oh·)、以及其混合物。優(yōu)選地，當(dāng)進(jìn)行ald工藝時(shí)，該共反應(yīng)物是等離子體處理的氧氣、臭氧、或其組合。當(dāng)使用氧化氣體時(shí)，所得含硅膜還將含有氧。

可替代地，該反應(yīng)氣體可以是還原劑，如以下項(xiàng)中的一項(xiàng)：h2、nh3、(sih3)3n、氫化硅烷(如sih4、si2h6、si3h8、si4h10、si5h10、si6h12)、氯硅烷和氯聚硅烷(如sihcl3、sih2cl2、sih3cl、si2cl6、si2hcl5、si3cl8)、烷基硅烷(如(ch3)2sih2、(c2h5)2sih2、(ch3)sih3、(c2h5)sih3)、肼(如n2h4、mehnnh2、mehnnhme)、有機(jī)胺(如n(ch3)h2、n(c2h5)h2、n(ch3)2h、n(c2h5)2h、n(ch3)3、n(c2h5)3、(sime3)2nh)、吡唑啉、吡啶、含b分子(如b2h6、9-硼二環(huán)[3，3，1]壬烷、三甲基硼、三乙基硼、硼吖嗪)、烷基金屬(如三甲基鋁、三乙基鋁、二甲基鋅、二乙基鋅)、其自由基物種、以及其混合物。優(yōu)選地，該還原劑是h2、nh3、sih4、si2h6、si3h8、sih2me2、sih2et2、n(sih3)3、其氫自由基、或其混合物。當(dāng)使用還原劑時(shí)，所得含硅膜可以是純si。

該反應(yīng)氣體可以通過(guò)等離子體處理，以便將該反應(yīng)氣體分解成其自由基形式。當(dāng)用等離子體處理時(shí)，n2還可以被用作還原劑。例如，可以用范圍是從約50w至約500w、優(yōu)選地從約100w至約200w的功率產(chǎn)生等離子體。等離子體可產(chǎn)生或存在于反應(yīng)器本身內(nèi)?？商娲?，例如在遠(yuǎn)程定位的等離子體系統(tǒng)中，等離子體總體上可處于遠(yuǎn)離該反應(yīng)器的位置處。本領(lǐng)域技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到適用于此種等離子體處理的方法及裝置。

當(dāng)所希望的含硅膜還含有另一種元素，例如像并且不限于，ta、hf、nb、mg、al、sr、y、ba、ca、as、sb、bi、sn、pb、co、鑭系元素(如er)、或其組合時(shí)，這些共反應(yīng)物可包括前體，該前體選自但不限于，烷基化合物(如ln(rcp)3或co(rcp)2)、胺(如nb(cp)(ntbu)(nme2)3)以及其組合。

所披露的含si膜形成組合物還可以與鹵代硅烷或多鹵代二硅烷或多鹵代三硅烷(如六氟二硅烷、五氯二硅烷或四氯二硅烷、或八氯三硅烷)和一種或多種共反應(yīng)物氣體一起使用以形成sin或sicn膜，如在pct公開(kāi)號(hào)wo2011/123792中披露的，其全部?jī)?nèi)容以其全文結(jié)合在此。

可以將該含si膜形成組合物和一種或多種共反應(yīng)物同時(shí)地(化學(xué)氣相沉積)、順序地(原子層沉積)或以其他組合引入至該反應(yīng)室內(nèi)。例如，可以在一個(gè)脈沖中引入該含si膜形成組合物，并且可以在單獨(dú)的脈沖中一起引入兩種附加的金屬源[修改的原子層沉積]?？商娲兀谝朐摵瑂i膜形成組合物之前，該反應(yīng)室可能已經(jīng)含有該共反應(yīng)物?？墒乖摴卜磻?yīng)物通過(guò)定位或遠(yuǎn)程遠(yuǎn)離該反應(yīng)室的等離子系統(tǒng)，且使其分解成自由基?？商娲?，可以將該含si膜形成組合物連續(xù)地引入該反應(yīng)室中，同時(shí)通過(guò)脈沖(脈沖的化學(xué)氣相沉積)引入其他金屬源。在各實(shí)例中，在脈沖之后可以后跟隨吹掃或排空步驟，以去除引入的過(guò)量組分。在各實(shí)例中，脈沖可持續(xù)范圍是從約0.01s至約10s、可替代地從約0.3s至約3s、可替代地從約0.5s至約2s的時(shí)間周期。在另一個(gè)替代方案中，可以同時(shí)地從噴頭噴射該含si膜形成組合物和一種或多種共反應(yīng)物，在該噴頭下旋轉(zhuǎn)基座保持的若干晶圓(空間ald)。

在一個(gè)非限制性示例性原子層沉積型工藝中，將該含si膜形成組合物的氣相引入至該反應(yīng)室內(nèi)，其中使其與適合的基板接觸。然后可通過(guò)吹掃和/或排空該反應(yīng)室從該反應(yīng)室中去除過(guò)量的組合物。將氧源引入至該反應(yīng)室內(nèi)，在該反應(yīng)室中使其與吸收的碳硅烷取代的胺前體以自限的方式反應(yīng)。通過(guò)吹掃和/或排空該反應(yīng)室從該反應(yīng)室中去除任何過(guò)量的氧源。如果所希望的膜是氧化硅膜，則此兩步工藝可提供所希望的膜厚度或可被重復(fù)直至獲得了具有必要厚度的膜。

可替代地，如果所希望的膜是硅金屬/類(lèi)金屬氧化物膜(即simox，其中x可以是0-4并且m是ta、hf、nb、mg、al、sr、y、ba、ca、as、sb、bi、sn、pb、co、鑭系元素(如er)或其組合)，在以上兩步工藝之后可以后跟隨將含金屬或類(lèi)金屬的前體的第二蒸氣引入至該反應(yīng)室內(nèi)?；诔练e的硅金屬/類(lèi)金屬氧化物膜的性質(zhì)，將選擇該含金屬或類(lèi)金屬的前體。在引入至該反應(yīng)室內(nèi)后，使該含金屬或類(lèi)金屬的前體與該基板接觸。通過(guò)吹掃和/或排空該反應(yīng)室從該反應(yīng)室中去除任何過(guò)量的含金屬或類(lèi)金屬的前體。再一次，可將氧源引入至該反應(yīng)室內(nèi)以與該含金屬或類(lèi)金屬的前體反應(yīng)。通過(guò)吹掃和/或排空該反應(yīng)室從該反應(yīng)室中去除過(guò)量的氧源。如果已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了所希望的膜厚度，則可終止該工藝。然而，如果較厚的膜是所希望的，則可重復(fù)整個(gè)四步驟工藝。通過(guò)交替提供該含si膜形成組合物、含金屬或類(lèi)金屬的前體、以及氧源，可以沉積所希望的組成和厚度的膜。

附加地，通過(guò)變化脈沖的數(shù)目，可獲得具有所希望的化學(xué)計(jì)量的m∶si比的膜。例如，可以通過(guò)以下方式獲得simo2膜：具有一個(gè)脈沖的該含si膜形成組合物和一個(gè)脈沖的該含金屬或類(lèi)金屬的前體，其中每個(gè)脈沖后接著是該氧源的脈沖。然而，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，獲得所希望的膜要求的脈沖的數(shù)目可以不與所得膜的化學(xué)計(jì)量比相同。

在另一個(gè)替代方案中，si或致密的sicn膜可以經(jīng)由ald或修改的ald工藝使用以下物質(zhì)沉積：所披露的組合物以及具有式siah2a+2-bxb的鹵代硅烷化合物，其中x是f、cl、br、或i；a＝1至6；并且b＝1至(2a+2)；或具有式-sich2c-dxd-的環(huán)狀鹵代硅烷化合物，其中x是f、cl、br、或i；c＝3-8；并且d＝1至2c。優(yōu)選地，該鹵代硅烷化合物是三氯硅烷、六氯二硅烷(hcds)、五氯二硅烷(pcds)、四氯二硅烷、或六氯環(huán)己硅烷。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，當(dāng)較低的沉積溫度是必要的時(shí)，由于在si-x鍵中的較低的鍵能(即，si-cl＝456kj/mol；si-br＝343kj/mol；si-i＝339kj/mol)，這些化合物中的cl可以被br或i取代。必要時(shí)，該沉積可進(jìn)一步利用含n共反應(yīng)物，如nh3。取決于最終膜的所希望的濃度，可以將所披露的含si膜形成組合物和該鹵代硅烷化合物的蒸氣順序地或同時(shí)地引入至該反應(yīng)器內(nèi)?；谒Ｍ哪繕?biāo)膜組成，將確定前體注入的選擇的順序?？梢灾貜?fù)前體引入步驟直到沉積層實(shí)現(xiàn)了適合的厚度。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，當(dāng)使用空間ald器件時(shí)，引導(dǎo)脈沖可以是同時(shí)的。如在pct公布號(hào)wo2011/123792中描述的，這些前體的引入順序可以是變化的，并且可以有或沒(méi)有該nh3共反應(yīng)物下進(jìn)行該沉積，以便調(diào)整該sicn膜中的碳和氮的量。

在又另一個(gè)替代方案中，含硅膜可以通過(guò)美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)號(hào)2014/0051264披露的可流動(dòng)pecvd方法使用所披露的含si膜形成組合物和自由基含氮或含氧共反應(yīng)物進(jìn)行沉積。在遠(yuǎn)程等離子體系統(tǒng)中分別產(chǎn)生了自由基含氮或含氧共反應(yīng)物，如nh3或h2o。將該自由基共反應(yīng)物和所披露的組合物的氣相引入至該反應(yīng)室內(nèi)，其中它們反應(yīng)并將最初可流動(dòng)的膜沉積在該基板上。申請(qǐng)人相信，所披露的化合物的氮原子幫助進(jìn)一步改進(jìn)該沉積膜的流動(dòng)性，從而導(dǎo)致具有較少空隙的膜。

還披露了在流延沉積方法(如旋涂、噴涂、浸涂或縫隙涂覆技術(shù))中使用所披露的碳硅烷取代的胺前體的方法。所披露的方法提供了該含si膜形成組合物用于沉積含硅膜的用途。所披露的方法可以在制造半導(dǎo)體、光伏、lcd-tft、或平板型器件中是有用的。該方法包括：在反應(yīng)器中將液體形式的所披露的含si膜形成組合物施加在基板上；并且在該基板上形成該含si層。如先前討論的，所披露的含si薄膜的液體形式可以是該碳硅烷取代的胺前體的純凈溶液或者該前體與溶劑和任選的ph調(diào)節(jié)劑或表面活性劑的混合物?？梢詫⒁后w形式的所披露的含si膜形成組合物直接施加在該基板的中心上或者可以將其通過(guò)噴霧施加在整個(gè)基板上。當(dāng)直接施加在該基板的中心上時(shí)，可以旋轉(zhuǎn)該基板以利用離心力將該組合物均勻地分布該基板上?？商娲?，可以將該基板浸在該含si膜形成組合物中?？梢栽谑覝叵赂稍锼媚こ掷m(xù)一段時(shí)間以蒸發(fā)該膜的任何溶劑或揮發(fā)性組分。在干燥工藝過(guò)程中，可將水薄霧噴霧到該基板上以促進(jìn)該膜的水解反應(yīng)。

所披露的在這些含si膜形成組合物中的碳硅烷取代的胺前體可證明作為用于合成含碳硅烷的聚合物的單體是有用的。這些含si膜形成組合物可用于形成用于可圖案化的膜或用于抗反射膜的旋壓介電膜配制品。例如，所披露的含si膜形成組合物可以被包括在溶劑中并被施加在基板上以形成膜。必要時(shí)，可旋轉(zhuǎn)該基板以將該含si膜形成組合物均勻分布遍及該基板。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，這些含si膜形成組合物的粘度將貢獻(xiàn)，關(guān)于該基板的旋轉(zhuǎn)是否是必要的。可在惰性氣體(如氬氣、氦氣或氮?dú)?下和/或在減壓下加熱所得膜。可替代地，可以將電子束或紫外線輻射施加到所得膜上。所披露的碳硅烷取代的胺前體的11-18個(gè)可水解基團(tuán)(即，直接si-n或si-h或si-x鍵)可證明增加所得聚合物的連通性是有用的。

由以上討論的工藝得到的含硅膜可以包括si、sic、sio2、sin、sion、sicn、sicoh、psicoh、或msiox，其中m是元素如hf、zr、ti、nb、ta、或ge，并且x可以是0-4，當(dāng)然取決于m的氧化態(tài)。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，通過(guò)適當(dāng)?shù)暮瑂i膜形成組合物和共反應(yīng)物的明斷選擇，可以獲得所希望的膜組成。

一經(jīng)獲得所希望的膜厚度，可以使該膜經(jīng)受另外的加工，如熱退火、爐退火、快速熱退火、uv或電子束固化、和/或等離子體氣體暴露。本領(lǐng)域技術(shù)人員認(rèn)識(shí)到用于進(jìn)行這些附加的加工步驟的系統(tǒng)和方法。例如，可以使該含硅膜暴露于在惰性氣氛、含h氣氛、含n氣氛、含o氣氛、或其組合下范圍是從大約200℃與大約1000℃的溫度持續(xù)范圍是從大約0.1秒至大約7200秒的時(shí)間。最優(yōu)選地，在含h氣氛下，該溫度為600℃持續(xù)小于3600秒。所得膜可含有較少的雜質(zhì)，并且因此可具有改進(jìn)的性能特征。退火步驟可以在進(jìn)行該沉積工藝的同一反應(yīng)室中進(jìn)行。可替代地，可以從該反應(yīng)室中移除該基板，其中在單獨(dú)的裝置中進(jìn)行退火/快速退火工藝。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)任何以上后處理方法但尤其熱退火有效地減少該含硅膜的碳和氮污染。

實(shí)例

提供以下非限制性實(shí)例以進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。然而，這些實(shí)例并不旨在包括所有情況并且并不旨在限制在此所描述的發(fā)明的范圍。

實(shí)例1：合成iprn(-sih2-ch2-sih3)2

clsih2-ch2-sih3+iprnh2+ipr2etn→iprn(-sih2-ch2-sih3)2

兩升的3頸燒瓶配備有-78℃(干冰/丙酮)冷凝器，將戊烷(250ml)裝入該燒瓶中并且將該燒瓶冷卻至-78℃。將iprnh2(14.7g，0.248mol)和ipr2etn(64g，0.497mol)添加至該燒瓶中。在大約1小時(shí)內(nèi)緩慢滴加1-氯-1，3-二硅丙烷(53.3g，0.48mol)。觀察到在透明液體中形成白色固體。在完成該添加后，將懸浮液在劇烈攪拌下緩慢升至室溫。繼續(xù)攪拌過(guò)夜。將反應(yīng)混合物在介質(zhì)燒結(jié)玻璃過(guò)濾器上進(jìn)行過(guò)濾，并且將固體用附加的戊烷進(jìn)行洗滌。在減壓下去除溶劑，產(chǎn)生了渾濁液體。

然后使用短程柱蒸餾所得濾液。將最終產(chǎn)物在22℃/170毫托下蒸餾，為無(wú)色液體。產(chǎn)量：7g(14％)。

在400mhz儀器上收集的最終產(chǎn)物nmr的nmr。c6d6中的iprn(-sih2ch2sih3)2：¹hnmr：δ-0.15(sext.4h，-ch2-)，1.07(d，6h，3.69，jhh＝6.5hz，-chme2)，3.07(mult.，1h，-chme2)，3.70(t，6h，jhh＝4.5hz，-sih3)，4.57(t，4h，jhh＝4hz，-sih2-)；²⁹sinmr：δ-27.1，-65.24。在開(kāi)杯(oc)條件下的熱重量分析(tga)產(chǎn)生了小于1％w/w的殘余物。閉杯(cc)tga產(chǎn)生了小于2％w/w的殘余物。參見(jiàn)圖1。

實(shí)例2：合成hn(-sih2-ch2-sih3)2

clsih2-ch2-sih3+nh3→hn(-sih2-ch2-sih3)2

在甲苯中在-15℃下制備1.21m的clsih2-ch2-sih3(53.6g)溶液。將混合物升溫至+5℃，并且在約1.5h內(nèi)將nh3(11.5g)緩慢鼓泡至該混合物內(nèi)。允許該反應(yīng)混合物其自身升溫。在添加之后，允許該混合在室溫(大約23℃)下攪拌持續(xù)0.5h，接著是gc取樣。gc僅僅示出了單一產(chǎn)物nhdsp2。gc示出了在9.032分鐘保留時(shí)間下的產(chǎn)物，以及溶劑和反應(yīng)物峰。

實(shí)例3：合成n(-sih2-ch2-sih3)3

clsih2-ch2-sih3+nh3→n(-sih2-ch2-sih3)3

向配備有-78℃(干冰/丙酮)冷凝器的500ml的3頸燒瓶中裝入干戊烷(100ml)和1-氯-1，3-二硅丙烷(15g，0.135mol)并且冷卻至0℃。將氣態(tài)氨冷凝至該燒瓶?jī)?nèi)(2.5g，0.147mol)。最初觀察到一些發(fā)煙，接著是在清澈液體中形成大量的白色固體。將懸浮液在劇烈攪拌下緩慢升至室溫。在室溫下繼續(xù)攪拌持續(xù)大約60小時(shí)。將反應(yīng)混合物在介質(zhì)燒結(jié)玻璃過(guò)濾器上進(jìn)行過(guò)濾，并且將固體用附加的100ml干戊烷進(jìn)行洗滌以提供清澈無(wú)色液體。在32℃-37℃下在大氣壓下使用短程柱去除溶劑和高揮發(fā)物。使用短程柱將最終產(chǎn)物在26℃-36℃/40-45毫托下蒸餾，為無(wú)色液體。產(chǎn)量：4.3g(50％)。

在400mhz儀器上收集的最終產(chǎn)物nmr的nmr。c6d6中的n(-sih2-ch2-sih3)3：¹hnmr：δ-0.16(sext.6h，-ch2-)，3.69(t，9h，jhh＝4.5hz，-sih3)，4.60(t，6h，jhh＝4hz，-sih2-)；²⁹sinmr：δ-21.6，-65.23。在開(kāi)杯(oc)閉杯(cc)條件下的熱重量分析(tga)產(chǎn)生了小于1％w/w的殘余物。參見(jiàn)圖2。

應(yīng)當(dāng)理解，由本領(lǐng)域技術(shù)人員可在如所附權(quán)利要求中所表述的本發(fā)明原則和范圍內(nèi)做出在此已經(jīng)描述且闡明以解釋本發(fā)明的性質(zhì)的細(xì)節(jié)、材料、步驟和零件安排上的許多附加的改變。因此，本發(fā)明不旨在限于以上給出的實(shí)例和/或附圖中的特定實(shí)施例。