本發(fā)明涉及鍍?cè)〗M合物和一種用于在印刷電路板、IC基材的制造中的鈀的無電鍍覆的方法和用于半導(dǎo)體晶片的金屬化的方法。
發(fā)明背景
在印刷電路板、IC基材等的制造中以及在半導(dǎo)體晶片的金屬化中鈀的無電沉積是一種已確立的技術(shù)。鈀層例如用作阻擋層和/或可線結(jié)合的和可焊接的面漆。
包含鈀離子源、氮化絡(luò)合劑和選自甲酸及其衍生物的還原劑的無電鈀鍍?cè)〗M合物在US 5,882,736中公開。與包含次磷酸鹽作為還原劑產(chǎn)生鈀-磷合金層的鍍?cè)〗M合物相比，這種無電鈀鍍?cè)〗M合物適用于沉積純鈀。
由于鈀的高價(jià)格和對(duì)具有可預(yù)測的性質(zhì)例如內(nèi)應(yīng)力和對(duì)其上沉積鈀層的下面基材的高粘附力的沉積的鈀層的需要，包含鈀離子的鍍?cè)〗M合物的穩(wěn)定性為這種鍍?cè)〗M合物的重要特點(diǎn)。
這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性意味著所述鍍?cè)榈挚狗纸猓唇饘兮Z在鍍?cè)”旧碇胁黄谕某恋恚┓€(wěn)定的。因此，穩(wěn)定的鍍?cè)【哂斜炔环€(wěn)定的鍍?cè)「L的壽命。同時(shí)，來自這種鍍?cè)〉拟Z的沉積速率應(yīng)該足夠高，例如高于10nm/min，以便滿足用于工業(yè)鈀鍍覆方法的需要。
發(fā)明目的
本發(fā)明的目的在于提供一種鍍?cè)〗M合物和用于鈀的無電鍍覆的方法，其中抵抗不期望的分解的鍍?cè)》€(wěn)定性提高，同時(shí)保持沉積到基材上的鈀層的性質(zhì)。
發(fā)明概述
所述目的用用于鈀的無電沉積的含水酸性鍍?cè)〗M合物解決，所述含水酸性鍍?cè)〗M合物包含：
(i) 鈀離子源，
(ii) 鈀離子的氮化絡(luò)合劑，
(iii) 選自甲酸、其衍生物和鹽的還原劑，
(iv) 選自包含至少兩個(gè)殘基的芳族化合物的水溶性穩(wěn)定劑，其中至少一個(gè)殘基為親水的殘基且至少一個(gè)殘基具有負(fù)的中介效應(yīng)，且
其中所述至少一個(gè)親水的殘基選自羥基、羧基、磺酸根及其鹽；且
其中所述至少一個(gè)具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基選自硝基、腈、乙?；?、羧基和磺酸根。
所述目的進(jìn)一步通過用于無電鈀鍍覆的方法解決，所述方法包括如下順序的步驟：
a) 提供具有金屬表面的基材，
b) 提供含水酸性鍍?cè)〗M合物，包含
(i) 鈀離子源，
(ii) 至少一種鈀離子的氮化絡(luò)合劑，
(iii) 選自甲酸、其衍生物和鹽的還原劑，
(iv) 選自包含至少兩個(gè)殘基的芳族化合物的水溶性穩(wěn)定劑，其中至少一個(gè)殘基為親水的殘基且至少一個(gè)殘基具有負(fù)的中介效應(yīng)，且
其中所述至少一個(gè)親水的殘基選自羥基、羧基、磺酸根及其鹽；且
其中所述至少一個(gè)具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基選自硝基、腈、乙酰基、羧基和磺酸根；和
c) 使所述基材與所述含水酸性鍍?cè)〗M合物接觸且由此沉積一層鈀到所述基材的金屬表面上。
由于水溶性穩(wěn)定劑，根據(jù)本發(fā)明的鍍?cè)【哂械挚共黄谕姆纸獾奶岣叩姆€(wěn)定性，同時(shí)保持鈀沉積到基材上的足夠高的速率。而且，在用于根據(jù)本發(fā)明的無電鈀鍍覆方法中的含水酸性鍍?cè)〉姆€(wěn)定性能允許具有期望性質(zhì)的鈀層的沉積，例如內(nèi)應(yīng)力和在長時(shí)間段中對(duì)下面基材的粘附力。
發(fā)明詳述
根據(jù)本發(fā)明的含水無電鈀鍍?cè)“Z離子源，其為水溶性的鈀化合物，例如氯化鈀、硝酸鈀、乙酸鈀、硫酸鈀和過氯酸鈀。任選地，可以將包含鈀離子和鈀離子的氮化絡(luò)合劑的絡(luò)合化合物加到鍍?cè)≈?，而不是通過將鈀鹽和所述鈀離子的氮化絡(luò)合劑作為分開的成分加到鍍?cè)≈卸阱冊(cè)≈行纬蛇@種絡(luò)合化合物。作為鈀離子源的合適的絡(luò)合化合物為例如二氯二乙二胺鈀、二硝基二乙二胺鈀和二乙酸二乙二胺鈀。
在鍍?cè)≈械拟Z離子的濃度范圍為0.5-500mmol/l，優(yōu)選1-100mmol/l。
所述無電鈀鍍?cè)∵€包含鈀離子的氮化絡(luò)合劑。所述氮化絡(luò)合劑選自伯胺、仲胺和叔胺。合適的胺為例如乙二胺、1,3-二氨基-丙烷、1,2-雙(3-氨基-丙基-氨基)-乙烷、2-二乙基-氨基-乙基-胺、二亞乙基-三胺、二亞乙基-三胺-五-乙酸、硝基-乙酸、N-(2-羥基-乙基)-乙二胺、乙二胺-N,N-二乙酸、2-(二甲基-氨基)-乙基-胺、1,2-二氨基-丙基-胺、1,3-二氨基-丙基-胺、3-(甲基-氨基)-丙基-胺、3-(二甲基-氨基)-丙基-胺、3-(二乙基-氨基)-丙基-胺、雙-(3-氨基-丙基)-胺、1,2-雙-(3-氨基-丙基)-烷基-胺、二亞乙基-三胺、三亞乙基-四胺、四-亞乙基-五胺、五-亞乙基-六胺及其混合物。
鈀離子的氮化絡(luò)合劑與鈀離子在根據(jù)本發(fā)明的無電鍍?cè)≈械哪柋确秶鸀?:1-50:1。
根據(jù)本發(fā)明的無電鍍?cè)∵€包含還原劑，其使鍍?cè)∽詣?dòng)催化，即無電鍍?cè)?。鈀離子在所述還原劑的存在下還原成金屬鈀。這種鍍覆機(jī)理將根據(jù)本發(fā)明的鍍?cè)》譃椋?) 不包含鈀離子的還原劑的浸入型鈀鍍?cè)?，?) 需要外部電流以便沉積鈀層的用于鈀的電鍍的鍍?cè) ?/p>
根據(jù)本發(fā)明的無電鍍?cè)√貏e適用于在作為還原劑的甲酸、其衍生物和鹽的存在下沉積鈀層。合適的甲酸衍生物為例如甲酸的酯，例如甲酸甲酯、甲酸乙酯和甲酸丙酯。其它合適的甲酸衍生物為例如被取代和未被取代的酰胺，例如甲酰胺。甲酸的鹽的合適反荷離子例如選自氫、鋰、鈉、鉀和銨。
將所述還原劑以10-1000mmol/l的濃度加到無電鍍?cè)≈小?/p>
次磷酸鹽離子和/或胺硼烷化合物和/或硼氫化鈉不適合作為還原劑，因?yàn)殁Z合金層從這種鍍?cè)〗M合物沉積。優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的無電鈀鍍?cè)∵€不包含還原劑甲醛，由于這種化合物的毒性。
根據(jù)本發(fā)明的含水酸性鍍?cè)∵€包含選自包含至少兩個(gè)殘基的芳族化合物的水溶性穩(wěn)定劑，其中至少一個(gè)殘基為親水的殘基且至少一個(gè)殘基具有負(fù)的中介效應(yīng)。
關(guān)于穩(wěn)定劑的術(shù)語“水溶性”在本文中定義為在加到根據(jù)本發(fā)明的含水酸性鍍?cè)〗M合物中的所述水溶性穩(wěn)定劑所需濃度中的水溶性。
術(shù)語“芳族化合物”在本文中定義為苯和多芳族烴例如萘的衍生物。
所述苯、萘等的衍生物包含至少兩個(gè)殘基，其中至少一個(gè)為親水的殘基且至少另一個(gè)殘基為具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基。所述至少一個(gè)親水的殘基提高根據(jù)本發(fā)明的水溶性穩(wěn)定劑的溶解度。
親水的殘基選自羥基、羧基、磺酸根及其鹽。優(yōu)選地，所述親水的殘基選自羥基、羧基及其鹽。
具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基選自硝基、腈、乙?；?、羧基和磺酸根。優(yōu)選地，所述具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基選自硝基、腈、乙?；汪然?。
在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方案中，具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基優(yōu)選選自腈、乙酰基和羧基。選自包含至少一個(gè)親水的殘基和作為至少一個(gè)具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基的硝基的芳族化合物的水溶性穩(wěn)定劑可能引起用于鈀的無電沉積的含水酸性鍍?cè)〗M合物的不合乎需要的黃化變色。
所述水溶性穩(wěn)定劑可以包含超過一個(gè)的前述親水的殘基和/或超過一個(gè)的前述具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基。
前述親水的殘基和前述具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基可以任何組合存在于所述穩(wěn)定劑中，當(dāng)將所述分子加到所述含水酸性溶液（可以為根據(jù)本發(fā)明的鍍?cè)。┲袝r(shí)，其導(dǎo)致在含水酸性溶液中的分子穩(wěn)定。因此，前述親水的殘基所列出的所有成員可以與前述具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基所列出的所有成員組合。
根據(jù)本發(fā)明，水溶性穩(wěn)定劑還為包含例如至少兩個(gè)磺酸根殘基或至少兩個(gè)羧基殘基的那些芳族化合物，因?yàn)檫@些殘基為親水的殘基和具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基兩者。
親水的殘基例如羥基、羧基、磺酸根可以通過使水溶性穩(wěn)定劑與堿性水溶液（例如NaOH、KOH或NH4OH的水溶液）接觸來轉(zhuǎn)化成相應(yīng)的鹽例如堿金屬鹽。與相應(yīng)的質(zhì)子化化合物相比，所述相應(yīng)的鹽具有在酸性水溶液中更高的溶解度。
更優(yōu)選地，所述水溶性穩(wěn)定劑選自2-硝基苯酚、3-硝基苯酚、4-硝基苯酚、3,5-二硝基苯酚、2,4-二硝基苯酚、2,4,6-三硝基苯酚、2-硝基苯甲酸、3-硝基苯甲酸、4-硝基苯甲酸、3,5-二硝基苯甲酸、2,4-二硝基苯甲酸、2,4,6-三硝基苯甲酸、2-羥基-3,5-二硝基苯甲酸、2-硝基苯磺酸、3-硝基苯磺酸、4-硝基苯磺酸、3,5-二硝基苯磺酸、2,4-二硝基苯磺酸、2,4,6-三硝基苯磺酸、2-乙?；郊姿?、3-乙?；郊姿?、4-乙?；郊姿帷?,5-二乙?；郊姿帷?,4-二乙?；郊姿帷?,4,6-三乙?；郊姿?、2-乙酰基苯酚、3-乙酰基苯酚、4-乙酰基苯酚、3,5-二乙?；椒?、2,4-二乙酰基苯酚、2,4,6-三乙酰基苯酚、2-乙?；交撬帷?-乙酰基苯磺酸、4-乙酰基苯磺酸、3,5-二乙?；交撬?、2,4-二乙?；交撬?、2,4,6-三乙酰基苯磺酸、2-氰基苯甲酸、3-氰基苯甲酸、4-氰基苯甲酸、2-羥基苯甲腈、3-羥基苯甲腈、4-羥基苯甲腈及其相應(yīng)的銨、鈉和鉀鹽。
甚至更優(yōu)選地，所述水溶性穩(wěn)定劑選自2-硝基苯酚、3-硝基苯酚、4-硝基苯酚、3,5-二硝基苯酚、2,4-二硝基苯酚、2,4,6-三硝基苯酚、2-硝基苯甲酸、3-硝基苯甲酸、4-硝基苯甲酸、3,5-二硝基苯甲酸、2,4-二硝基苯甲酸、2,4,6-三硝基苯甲酸、2-羥基-3,5-二硝基苯甲酸、2-硝基苯磺酸、3-硝基苯磺酸、4-硝基苯磺酸、3,5-二硝基苯磺酸、2,4-二硝基苯磺酸、2,4,6-三硝基苯磺酸、2-乙?；郊姿帷?-乙酰基苯甲酸、4-乙?；郊姿?、3,5-二乙酰基苯甲酸、2,4-二乙酰基苯甲酸、2,4,6-三乙?；郊姿?、2-乙?；椒?、3-乙?；椒?、4-乙?；椒?、3,5-二乙酰基苯酚、2,4-二乙酰基苯酚、2,4,6-三乙?；椒?、2-乙?；交撬帷?-乙?；交撬?、4-乙酰基苯磺酸、3,5-二乙?；交撬帷?,4-二乙?；交撬?、2,4,6-三乙?；交撬峒捌湎鄳?yīng)的銨、鈉和鉀鹽。
仍然更優(yōu)選地，所述水溶性穩(wěn)定劑選自2-硝基苯酚、3-硝基苯酚、4-硝基苯酚、3,5-二硝基苯酚、2,4-二硝基苯酚、2,4,6-三硝基苯酚、2-硝基苯甲酸、3-硝基苯甲酸、4-硝基苯甲酸、3,5-二硝基苯甲酸、2,4-二硝基苯甲酸、2,4,6-三硝基苯甲酸、2-羥基-3,5-二硝基苯甲酸、2-乙?；郊姿?、3-乙?；郊姿?、4-乙?；郊姿?、3,5-二乙酰基苯甲酸、2,4-二乙?；郊姿?、2,4,6-三乙酰基苯甲酸、2-乙酰基苯酚、3-乙酰基苯酚、4-乙?；椒?、3,5-二乙?；椒?、2,4-二乙?；椒?、2,4,6-三乙酰基苯酚、2-氰基苯甲酸、3-氰基苯甲酸、4-氰基苯甲酸、2-羥基苯甲腈、3-羥基苯甲腈、4-羥基苯甲腈及其相應(yīng)的銨、鈉和鉀鹽。
仍然更優(yōu)選地，所述水溶性穩(wěn)定劑選自2-硝基苯酚、3-硝基苯酚、4-硝基苯酚、3,5-二硝基苯酚、2,4-二硝基苯酚、2,4,6-三硝基苯酚、2-硝基苯甲酸、3-硝基苯甲酸、4-硝基苯甲酸、3,5-二硝基苯甲酸、2,4-二硝基苯甲酸、2,4,6-三硝基苯甲酸、2-羥基-3,5-二硝基苯甲酸、2-乙酰基苯甲酸、3-乙酰基苯甲酸、4-乙?；郊姿?、3,5-二乙酰基苯甲酸、2,4-二乙酰基苯甲酸、2,4,6-三乙?；郊姿?、2-乙?；椒?、3-乙?；椒?、4-乙?；椒?、3,5-二乙?；椒?、2,4-二乙?；椒?、2,4,6-三乙酰基苯酚及其相應(yīng)的銨、鈉和鉀鹽。
最優(yōu)選地，所述水溶性穩(wěn)定劑選自2-硝基苯甲酸、3-硝基苯甲酸、4-硝基苯甲酸、3,5-二硝基苯甲酸、2,4-二硝基苯甲酸、2,4,6-三硝基苯甲酸、2-羥基-3,5-二硝基苯甲酸及其相應(yīng)的銨、鈉和鉀鹽。
在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方案中，所述水溶性穩(wěn)定劑優(yōu)選選自2-乙?；郊姿?、3-乙?；郊姿?、4-乙?；郊姿?、3,5-二乙?；郊姿?、2,4-二乙?；郊姿?、2,4,6-三乙?；郊姿帷?-乙?；椒?、3-乙?；椒?、4-乙酰基苯酚、3,5-二乙?；椒?、2,4-二乙?；椒?、2,4,6-三乙酰基苯酚、2-氰基苯甲酸、3-氰基苯甲酸，4-氰基苯甲酸、2-羥基苯甲腈、3-羥基苯甲腈、4-羥基苯甲腈及其相應(yīng)的銨、鈉和鉀鹽；更優(yōu)選地2-乙酰基苯甲酸、3-乙酰基苯甲酸、4-乙?；郊姿?、3,5-二乙酰基苯甲酸、2,4-二乙?；郊姿?、2,4,6-三乙?；郊姿?、2-乙?；椒印?-乙?；椒?、4-乙?；椒?、3,5-二乙?；椒?、2,4-二乙?；椒?、2,4,6-三乙?；椒蛹捌湎鄳?yīng)的銨、鈉和鉀鹽。
所述水溶性穩(wěn)定劑在根據(jù)本發(fā)明的鍍?cè)≈械臐舛确秶鸀?-200mg/l，更優(yōu)選5-150mg/l且最優(yōu)選10-100mg/l。
超過一種選自包含至少兩個(gè)殘基的芳族化合物的水溶性穩(wěn)定劑可以用于根據(jù)本發(fā)明的鍍?cè)?，其中至少一個(gè)殘基為親水的殘基且至少一個(gè)殘基具有負(fù)的中介效應(yīng)。
任選地，選自包含至少兩個(gè)殘基的芳族化合物的水溶性穩(wěn)定劑與至少另一種選自元素硒、碲、銅、鎳、鐵和鉻的化合物和/或巰基-苯并噻唑、硒代-氰酸鹽、硫脲和亞鐵代-氰酸鹽的穩(wěn)定劑一起存在于根據(jù)本發(fā)明的鍍?cè)≈?，其中至少一個(gè)殘基為親水的殘基且至少一個(gè)殘基具有負(fù)的中介效應(yīng)。在根據(jù)本發(fā)明的鍍?cè)≈羞@種任選其他穩(wěn)定劑的濃度范圍為0.1-200mg/l。
優(yōu)選地，然而，根據(jù)本發(fā)明的含水酸性鍍?cè)』旧喜缓笆銎渌€(wěn)定劑，選自元素硒、碲、銅、鎳、鐵和鉻的化合物和/或巰基-苯并噻唑、硒代-氰酸鹽、硫脲和亞鐵代-氰酸鹽，因?yàn)檫@種其他穩(wěn)定劑不與鈀共沉積（例如銅離子）且由此形成不被優(yōu)選的鈀合金，就是為有毒物質(zhì)（例如硫脲）。
根據(jù)本發(fā)明的含水鍍?cè)樗嵝藻冊(cè)?。無電鍍?cè)〉膒H值優(yōu)選范圍為4-7，因?yàn)樵撳冊(cè)≡诘陀?的pH值下不穩(wěn)定。更優(yōu)選地，鍍?cè)〉膒H值范圍為5-6。在大于7的pH值下，該鍍?cè)∫子谕ㄟ^浸入型鍍覆在下面基材上沉積鈀，導(dǎo)致鈀層和下面基材之間的弱粘附力。而且，具有大于7的pH值的鍍?cè)〗M合物將攻擊有機(jī)抗蝕材料，例如還可能為基材的一部分的阻焊劑材料。
鈀的沉積優(yōu)選通過在根據(jù)本發(fā)明的無電鍍?cè)≈薪佑|具有金屬表面的基材來進(jìn)行。待用鈀鍍覆的金屬表面選自銅、銅合金、鎳、鎳合金、鈷和鈷合金。該待鍍覆的金屬表面例如為印刷電路板、IC基材或半導(dǎo)體晶片的一部分。
用于使所述基材與所述無電鍍?cè)〗佑|的合適的方法例如為將所述基材浸入到所述含水鍍?cè)〗M合物中或?qū)⑺龊冊(cè)〗M合物噴涂到所述基材上。
所述鈀鍍覆工藝在35-95℃的溫度下進(jìn)行1-60min以使鈀鍍覆層厚度范圍為0.01-5.0μm，更優(yōu)選0.02-1.0μm且甚至更優(yōu)選0.05-0.5μm。
在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案中，鈀的薄活化層首先通過浸入型鍍覆方法（交換反應(yīng)）沉積到具有金屬表面的基材上，接著鈀從根據(jù)本發(fā)明的無電鍍?cè)〕练e。
在無電鈀沉積之前所述金屬表面的活化方法在本領(lǐng)域中已知且可以用來實(shí)施本發(fā)明。合適的含水活化浴可以包含鈀鹽例如乙酸鈀、硫酸鈀和硝酸鈀；鈀離子的絡(luò)合劑例如伯胺、仲胺、叔胺和乙醇胺；和酸例如硝酸、硫酸和甲磺酸。任選地，這種活化浴還包含氧化劑，例如硝酸根離子、過氯酸根離子、氯酸根離子、過硼酸根離子、過碘酸根離子、過氧-二硫酸根離子和過氧化物離子。
在含水活化浴中的鈀鹽的濃度范圍為0.005-20g/l，優(yōu)選0.05-2.0g/l。鈀離子的絡(luò)合劑的濃度范圍為0.01-80g/l，優(yōu)選0.1-8g/l。
所述含水活化浴的pH值范圍優(yōu)選為0-5，優(yōu)選1-4。
通常，將所述基材浸入在25-30℃的含水活化浴中1-4分鐘。在將基材浸入含水活化浴中之前，清潔所述基材的金屬表面。出于這個(gè)目的，蝕刻清潔通常在氧化的酸性溶液（例如硫酸和過氧化氫的溶液）中進(jìn)行。優(yōu)選地，接著在酸溶液例如硫酸溶液中進(jìn)行另一次清潔。
在根據(jù)本發(fā)明的鍍?cè)≈械姆€(wěn)定劑提高這種鍍?cè)〉膲勖驗(yàn)橐种屏嗽撳冊(cè)〉牟黄谕姆纸?。根?jù)本發(fā)明的無電鈀鍍覆的方法使鈀層的鍍覆具有期望的物理性質(zhì)，例如與本領(lǐng)域已知的無電鈀鍍覆的方法相比，內(nèi)應(yīng)力和在延長時(shí)間段內(nèi)對(duì)下面基材的足夠粘附力。
實(shí)施例
本發(fā)明通過如下的非限制性實(shí)施例進(jìn)一步解釋。
一般程序
鍍?cè)』|(zhì)：
具有5-6范圍的pH值且包含水、鈀離子、甲酸鈉和乙二胺作為鈀離子的氮化絡(luò)合劑的鍍?cè)』|(zhì)在所有實(shí)施例中使用。在實(shí)施例1中試驗(yàn)不具有任何穩(wěn)定劑的鍍?cè)』|(zhì)的抵抗不期望的浴分解的穩(wěn)定性。將不同量的穩(wěn)定劑加到所有實(shí)施例2-9中的所述鍍?cè)』|(zhì)中且相應(yīng)試驗(yàn)抵抗不期望的分解的穩(wěn)定性。
確定抵抗不期望的分解的穩(wěn)定性的試驗(yàn)：
在攪拌鍍?cè)〉耐瑫r(shí)，將250ml的含水酸性鈀鍍?cè)〖訜岬?0℃的期望試驗(yàn)溫度。接下來，每60s將1ml的鈀膠體溶液（60mg/l鈀）加到該含水酸性鍍?cè)≈?，直到在該含水酸性鍍?cè)≈行纬苫疑恋?，指示給定的鍍?cè)〉牟黄谕姆纸?。穩(wěn)定性值相應(yīng)于直到灰色沉淀形成（即該鍍?cè)〉牟黄谕姆纸猓┧尤氲脑囼?yàn)溶液的量（以鈀膠體溶液的ml計(jì)算）。因此，加到給定的鍍?cè)≈兄钡交疑恋硇纬傻?ml鈀膠體溶液的量相應(yīng)于穩(wěn)定性值6。
鈀鍍?cè)〉牡挚共黄谕姆纸獾姆€(wěn)定性以穩(wěn)定性值表示。
實(shí)施例1（對(duì)比）
試驗(yàn)不加入穩(wěn)定劑的鍍?cè)』|(zhì)的抵抗不期望的分解的穩(wěn)定性。這種鍍?cè)』|(zhì)的穩(wěn)定性值為10。
實(shí)施例2（對(duì)比）
將30mg/l的1,3,5-三羥基苯（具有三個(gè)親水的殘基但沒有具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基的芳族分子）加到該鍍?cè)』|(zhì)中。這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為10。
實(shí)施例3（對(duì)比）
將30mg/l的硝基苯（具有一個(gè)具有負(fù)的中介效應(yīng)的殘基但不具有親水的殘基的芳族分子）加到該鍍?cè)』|(zhì)中，但在鍍?cè)”砻娴捻敳勘３譃楣腆w顆粒。因此，需要量的硝基苯在該鍍?cè)』|(zhì)中不能水溶。
實(shí)施例4
將30mg/l的4-硝基苯酚加到該鍍?cè)』|(zhì)中。這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為13。因此，所述鍍?cè)〉挚乖撳冊(cè)〉牟黄谕姆纸獾姆€(wěn)定性被認(rèn)為是足夠的。
實(shí)施例5
將40mg/l的4-硝基苯甲酸加到該鍍?cè)』|(zhì)中。這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為14。因此，所述鍍?cè)〉挚乖撳冊(cè)〉牟黄谕姆纸獾姆€(wěn)定性被認(rèn)為是足夠的。
實(shí)施例6
將50mg/l的3,5-二硝基苯甲酸加到該鍍?cè)』|(zhì)中。這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為17。因此，所述鍍?cè)〉挚乖撳冊(cè)〉牟黄谕姆纸獾姆€(wěn)定性被認(rèn)為是足夠的。
實(shí)施例7
將50mg/l的2,4-二硝基苯甲酸加到該鍍?cè)』|(zhì)中。這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為15。因此，所述鍍?cè)〉挚乖撳冊(cè)〉牟黄谕姆纸獾姆€(wěn)定性被認(rèn)為是足夠的。
實(shí)施例8
將54mg/l的2-羥基-3,5-二硝基苯甲酸加到該鍍?cè)』|(zhì)中。這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為15。因此，所述鍍?cè)〉挚乖撳冊(cè)〉牟黄谕姆纸獾姆€(wěn)定性被認(rèn)為是足夠的。
實(shí)施例9
將42.5mg/l的2-乙?；郊姿峒拥皆撳?cè)』|(zhì)中。這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為12。因此，所述鍍?cè)〉挚乖撳冊(cè)〉牟黄谕姆纸獾姆€(wěn)定性被認(rèn)為是足夠的。
實(shí)施例10（對(duì)比）
為了模擬現(xiàn)實(shí)生活的鍍覆情形，已經(jīng)用過的鍍?cè)≡谒械膶?shí)施例10-14中使用。已經(jīng)用過的鍍?cè)「鶕?jù)在一般程序中概述的鍍?cè)』|(zhì)的組合物制備。在所有的實(shí)施例10-14中，抵抗不期望的分解的穩(wěn)定性根據(jù)在一般程序中概述的試驗(yàn)確定。
在實(shí)施例10中試驗(yàn)不具有任何穩(wěn)定劑的已經(jīng)用過的鍍?cè)〉挚共黄谕脑》纸獾姆€(wěn)定性。這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為6。
實(shí)施例11
將40mg/l的4-硝基苯甲酸加到根據(jù)實(shí)施例10的已經(jīng)用過的鍍?cè)≈?。這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為11。因此，所述鍍?cè)〉挚乖撳冊(cè)〉牟黄谕姆纸獾姆€(wěn)定性被認(rèn)為是足夠的。
實(shí)施例12
將40mg/l的4-硝基苯酚加到根據(jù)實(shí)施例10的已經(jīng)用過的鍍?cè)≈?。這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為10。因此，所述鍍?cè)〉挚乖撳冊(cè)〉牟黄谕姆纸獾姆€(wěn)定性被認(rèn)為是足夠的。
實(shí)施例13（對(duì)比）
將40mg/l的糖精鈉二水合物加到根據(jù)實(shí)施例10的已經(jīng)用過的鍍?cè)≈?。這種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為9。
實(shí)施例14
將40mg/l的3-硝基苯磺酸加到根據(jù)實(shí)施例10的已經(jīng)用過的鍍?cè)≈小＿@種鍍?cè)〉姆€(wěn)定性值為8。