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LED照明用高反光基板的制作方法與流程

文檔序號(hào):12110008閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種LED照明用高反光基板的制作方法,其特征在于,該制作方法包括以下步驟:

步驟(1),選取陶瓷、金屬或非金屬材料或以上材料的復(fù)合材料作為基板的基材,采用納米壓印工藝,在所述基板的表面制取有序排列的、納米尺寸的幾何立體結(jié)構(gòu)層;

步驟(2),采用薄膜沉積法將光學(xué)材料沉積于所述幾何立體結(jié)構(gòu)層的表面,以形成高反光層,所述光學(xué)材料為至少一種金屬和/或金屬氧化物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED照明用高反光基板的制作方法,其特征在于,所述步驟(2)包括以下子步驟:

將制取有所述幾何立體結(jié)構(gòu)層的基板放置于真空室中,抽真空至第一真空壓,該第一真空壓小于4.0×10E-3Pa;

在所述真空室中通入氬氣、氮?dú)?、氧氣、SiH4、CH4、C2H2、CF4、三甲基鋁、三乙基鋁或以上氣體的混合氣體作為載氣,并抽真空至第二真空壓,該第二真空壓大于1.0×10E-1Pa;

在所述載氣的保護(hù)下,將所述光學(xué)材料沉積于所述幾何立體結(jié)構(gòu)層的表面,以形成高反光層,所述光學(xué)材料為至少一種金屬和/或金屬氧化物。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED照明用高反光基板的制作方法,其特征在于,在所述步驟(1)后、所述步驟(2)前還包括以下步驟:

將石墨烯粉體均勻分布于所述幾何立體結(jié)構(gòu)層的表面,以形成散熱層;

在所述步驟(2)中,采用薄膜沉積法將光學(xué)材料沉積于所述散熱層的表面,以形成高反光層,所述光學(xué)材料為至少一種金屬和/或金屬氧化物。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的LED照明用高反光基板的制作方法,其特征在于,所述石墨烯粉體包括單層片或多層片的石墨烯,所述單層片的石墨烯厚度為0.33nm、長(zhǎng)度為3μm~5μm,所述石墨烯粉體的分布密度為35%~96%。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的LED照明用高反光基板的制作方法,其特征在于,所選取的陶瓷材料為氧化鋁、氮化鋁、碳化硅或氧化鋯;

所選取的金屬材料為鐵、鋼、銅、鋁、鋁鈦合金或鋁鎂合金;

所選取的非金屬材料為聚苯乙烯、聚碳酸酯、有機(jī)玻璃、ABS塑料、石英玻璃或光學(xué)玻 璃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的LED照明用高反光基板的制作方法,其特征在于,所述基板的厚度為0.05mm~10mm,所述基板至少有一面是拋光面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的LED照明用高反光基板的制作方法,其特征在于,所述納米尺寸包括納米線寬,該納米線寬為50nm~500nm;

所述幾何立體結(jié)構(gòu)層的長(zhǎng)度為200nm~800μm、寬度為100nm~900μm、高度為100nm~600nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的LED照明用高反光基板的制作方法,其特征在于,所述薄膜沉積法為磁過(guò)濾多弧離子復(fù)合鍍膜法、化學(xué)氣相沉積法、高能離子束濺射沉積法、磁控濺射沉積法、單原子層沉積法、蒸發(fā)鍍膜中的一種或多種的組合。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的LED照明用高反光基板的制作方法,其特征在于,所述光學(xué)材料為類金剛石、三氧化二鋁、二氧化鈦、二氧化硅、五氧化二鉭、氧化鋯、銀、銅、金、鉑、硅、鈀、銠中的一種或多種的組成。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的LED照明用高反光基板的制作方法,其特征在于,所述高反光層的厚度為0.005μm~5μm,所述高反光層通過(guò)單層沉積或多層交替沉積形成。

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