技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種頂針托架及工藝腔室，該頂針托架配裝在工藝腔中的基座處，用于所加工晶元在基座上的取放；所述頂針托架包括支座和頂針座，頂針座配合安裝在支座上，并能夠與支座產(chǎn)生相對滑動；支座上設(shè)置有連接臂，并通過連接臂安裝在頂針托架升降機構(gòu)上；頂針座上安裝有若干個頂針；安裝調(diào)節(jié)時，頂針座相對支座滑動，使得頂針對準基座上的相應(yīng)孔后，將頂針座與支座固定。本發(fā)明頂針托架加大了頂針位置的調(diào)節(jié)范圍，通過調(diào)節(jié)頂針座與支座的相對位置關(guān)系，即可比較好地使頂針與基座的對應(yīng)孔相配，從而降低了基座安裝的難度。

技術(shù)研發(fā)人員：鄧玉春
受保護的技術(shù)使用者：北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責任公司
文檔號碼：201510330005
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.15
技術(shù)公布日：2017.01.11