磁性退火裝置制造方法
【專利摘要】在本發(fā)明的磁性退火裝置中，隔著開閉門形成有用于輸送收納有一組被處理體的收納容器的收納容器輸送區(qū)域和用于輸送被處理體的被處理體輸送區(qū)域，磁性退火裝置具有控制部，在收納容器輸送區(qū)域內(nèi)配置有：第1載置臺；多個第2載置臺；保存部；以及收納容器輸送機(jī)構(gòu)，其用于在第1載置臺、第2載置臺以及保存部之間輸入、輸出收納容器；在被處理體輸送區(qū)域內(nèi)配置有：對準(zhǔn)器；被處理體保持部件；被處理體輸送機(jī)構(gòu)，其用于在載置于第2載置臺的收納容器、對準(zhǔn)器以及被處理體保持部件之間輸送被處理體；加熱部件；磁場產(chǎn)生部件；以及移載機(jī)構(gòu)，其用于將保持于被處理體保持部件的被處理體移載到磁場產(chǎn)生部件內(nèi)。
【專利說明】磁性退火裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明要求以2013年3月21日提出申請的日本出愿特愿第2013 - 058325號和 2013年3月21日提出申請的日本出愿特愿第2013 - 058326號為基礎(chǔ)的優(yōu)先權(quán)，并將其公 開內(nèi)容全部引入此。
[0002] 本發(fā)明涉及一種磁性退火裝置。

【背景技術(shù)】
[0003] 近年來，作為下一代半導(dǎo)體存儲器設(shè)備，作為非易失性存儲器之一的MRAM (Magnetic Random Access Memory :磁性隨機(jī)存取存儲器）備受關(guān)注。MRAM是通過在強(qiáng)磁 場中對形成在例如作為半導(dǎo)體晶圓（以后，稱作晶圓）的被處理體上的磁性體膜進(jìn)行熱處理 (磁性退火)、而表現(xiàn)其磁特性而制造的。
[0004] 例如在日本特開2004 - 263206號中，公開了一種使用了螺線管型的超導(dǎo)磁體作 為用于磁性退火的磁場產(chǎn)生部件的、設(shè)置面積比較小的磁性退火裝置。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 根據(jù)本發(fā)明的第1技術(shù)方案，提供一種磁性退火裝置，在該磁性退火裝置中，隔著 開閉門而形成有用于輸送收納了一組被處理體的收納容器的收納容器輸送區(qū)域和用于輸 送上述被處理體的被處理體輸送區(qū)域，并具有控制部，在上述收納容器輸送區(qū)域內(nèi)配置有： 第1載置臺，其用于載置被輸入到該磁性退火裝置的收納容器；多個第2載置臺，其用于載 置上述收納容器，以使得經(jīng)由上述開閉門從上述收納容器輸送區(qū)域向上述被處理體輸送區(qū) 域氣密地輸送上述被處理體；保存部，其用于保存多個上述收納容器；以及收納容器輸送 機(jī)構(gòu)，其用于在上述第1載置臺、上述第2載置臺以及上述保存部之間輸入、輸出上述收納 容器；在上述被處理體輸送區(qū)域內(nèi)配置有：對準(zhǔn)器，其用于進(jìn)行多個上述被處理體的對位； 被處理體保持部件，其能夠保持多組上述被處理體；被處理體輸送機(jī)構(gòu)，其用于在載置于 上述第2載置臺的收納容器、上述對準(zhǔn)器以及上述被處理體保持部件之間輸送上述被處理 體；加熱部件，其用于對上述被處理體進(jìn)行加熱；磁場產(chǎn)生部件，其用于對上述被處理體施 加磁場，并具有臥式超導(dǎo)磁體；以及移載機(jī)構(gòu)，其用于將保持于上述被處理體保持部件的上 述被處理體移載到上述磁場產(chǎn)生部件內(nèi)。
[0006] 上述
【發(fā)明內(nèi)容】
只是單純用于說明，在任意方式中意圖均不是進(jìn)行限制。除了上述 說明的方式、實(shí)施例以及特征以外，追加的方式、實(shí)施例以及特征通過參照附圖和以下詳細(xì) 的說明也能夠變明確。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007] 圖1是晶圓的載體的一例的概略立體圖。
[0008] 圖2是磁性退火裝置的一例的概略俯視圖。
[0009] 圖3是磁性退火裝置的載體輸送區(qū)域附近的概略縱剖視圖。
[0010] 圖4是磁性退火裝置的晶圓輸送區(qū)域附近的概略俯視圖。
[0011] 圖5是用于說明保持在晶圓舟皿內(nèi)的晶圓的配置例的概略圖。
[0012] 圖6是用于說明晶圓舟皿的相對于磁場產(chǎn)生部件的輸入或輸出的概略圖。

【具體實(shí)施方式】
[0013] 在以下詳細(xì)說明中，參照形成了說明書的一部分的添加的附圖。詳細(xì)的說明、附圖 以及權(quán)利要求書所記載的說明的實(shí)施例的意圖并不在于進(jìn)行限制。在不脫離在此所示的本 發(fā)明的思想或范圍的前提下能夠使用其他實(shí)施例，而且能夠進(jìn)行其他變形。
[0014] 日本特開2004 - 263206號等的磁性退火裝置是一種面向HDD (硬盤驅(qū)動器）或 MRAM的研發(fā)的小規(guī)模的裝置。若鑒于今后預(yù)測的MRAM的市場規(guī)模，則要求開發(fā)一種能夠 (半）連續(xù)地對許多張、例如100張晶圓進(jìn)行處理的磁性退火裝置。
[0015] 為了提高每單位時(shí)間的晶圓的處理張數(shù)，需要一種不僅能夠成批處理許多張晶 圓、而且能夠在短時(shí)間內(nèi)將下一批次的晶圓裝入磁性退火裝置內(nèi)的裝置結(jié)構(gòu)。
[0016] 針對上述問題，目的在于提供一種能夠連續(xù)地對許多張晶圓進(jìn)行磁性退火處理的 磁性退火裝置。
[0017] 一般來說，半導(dǎo)體設(shè)備用的磁性退火裝置所使用的超導(dǎo)磁體配設(shè)有用于抑制泄漏 磁場的構(gòu)件，因此存在重量和占有面積變大的傾向。另外，從磁性退火處理的處理效率的觀 點(diǎn)看，為了提高每單位時(shí)間的晶圓的處理張數(shù)，可考慮使用于實(shí)施磁性退火處理的超導(dǎo)磁 體大型化。
[0018] 在使超導(dǎo)磁體大型化的情況下，由于設(shè)置上的限制，因此優(yōu)選的是將超導(dǎo)磁體配 置為大致臥式。但是，在將大型的磁性退火裝置設(shè)置為臥式的情況下，有時(shí)超導(dǎo)磁體的軸線 未成為水平。特別是在磁性退火處理時(shí)，對晶圓面與磁力線之間的對位精度的要求非常高。 因此，在設(shè)置時(shí)的螺線管型磁體的軸線方向自水平偏移的情況下，需要與該偏移相應(yīng)地使 用于將保持晶圓的晶圓保持部件輸送到超導(dǎo)磁體的移載機(jī)構(gòu)傾斜。
[0019] 但是，在使移載機(jī)構(gòu)傾斜的情況下，與此相對應(yīng)，晶圓保持部件也傾斜，因此在以 往的晶圓輸送機(jī)構(gòu)中存在有時(shí)無法進(jìn)行輸送這樣的問題。
[0020] 針對上述問題，目的在于提供一種能夠高效地將晶圓輸入磁性退火裝置的磁性退 火裝置。
[0021] 根據(jù)本發(fā)明的第1技術(shù)方案，提供一種磁性退火裝置，在磁性退火裝置中，隔著開 閉門形成有用于輸送收納了一組被處理體的收納容器的收納容器輸送區(qū)域和用于輸送上 述被處理體的被處理體輸送區(qū)域，并具有控制部，在上述收納容器輸送區(qū)域內(nèi)配置有：第1 載置臺，其用于載置被輸入到該磁性退火裝置的收納容器；多個第2載置臺，其用于載置 上述收納容器，以使得經(jīng)由上述開閉門從上述收納容器輸送區(qū)域向上述被處理體輸送區(qū)域 氣密地輸送上述被處理體；保存部，其用于保存多個上述收納容器；以及收納容器輸送機(jī) 構(gòu)，其用于在上述第1載置臺、上述第2載置臺以及上述保存部之間輸入、輸出上述收納容 器；在上述被處理體輸送區(qū)域內(nèi)配置有：對準(zhǔn)器，其用于進(jìn)行多個上述被處理體的對位；被 處理體保持部件，其能夠保持多組上述被處理體；被處理體輸送機(jī)構(gòu)，其用于在載置于上述 第2載置臺的收納容器、上述對準(zhǔn)器以及上述被處理體保持部件之間輸送上述被處理體； 加熱部件，其用于對上述被處理體進(jìn)行加熱；磁場產(chǎn)生部件，其用于對上述被處理體施加磁 場，并具有臥式超導(dǎo)磁體；以及移載機(jī)構(gòu)，其用于將保持于上述被處理體保持部件的上述被 處理體移載到上述磁場產(chǎn)生部件內(nèi)。
[0022] 在上述磁性退火裝置中，上述控制部進(jìn)行控制，以使得在將載置于上述多個第2 載置臺中的一個載置臺上的上述收納容器內(nèi)的上述被處理體向上述被處理體保持部件輸 送的期間，將保存于上述保存部的上述收納容器輸送到上述多個第2載置臺中的其他載置 臺。
[0023] 在上述磁性退火裝置中，上述控制部對上述移載機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得在預(yù)定數(shù) 量組的上述被處理體保持于上述處理體保持部件之后，將上述處理體保持部件移載到上述 磁場產(chǎn)生部件。
[0024] 在上述磁性退火裝置中，上述控制部進(jìn)行以下控制：
[0025] (i)對上述被處理體輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得將載置于上述多個第2載置臺中 的一個載置臺上的上述收納容器內(nèi)的上述被處理體經(jīng)由上述對準(zhǔn)器輸送到上述被處理體 保持部件，
[0026] ( i i )對上述收納容器輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得在上述（i )中的輸送期間，將載置 于上述多個第2載置臺中的其他載置臺上的上述收納容器自上述其他載置臺輸出，并且， 將保存于上述保存部的上述收納容器輸送到上述其他載置臺，
[0027] (iii)對上述被處理體輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得在將載置于上述一個載置臺上 的上述收納容器內(nèi)的上述被處理體全部輸送到上述被處理體保持部件之后，將載置于上述 其他載置臺上的上述收納容器內(nèi)的上述被處理體經(jīng)由上述對準(zhǔn)器輸送到上述被處理體保 持部件，
[0028] ( iv)對上述收納容器輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得在上述（iii )中的輸送期間，將載 置于上述一個載置臺上的上述收納容器自上述一個載置臺輸出，并且，將保存于上述保存 部的上述收納容器輸送到上述一個載置臺，
[0029] (V)對上述移載機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得在重復(fù)上述（i)?（iv)而將預(yù)定數(shù)量組的 上述被處理體保持于上述被處理體保持部件之后，將上述被處理體保持部件移載到上述磁 場產(chǎn)生部件內(nèi)。
[0030] 在上述磁性退火裝置中，上述多個第2載置臺為兩個載置臺，上述兩個載置臺沿 鉛垂方向串聯(lián)配置。
[0031] 在上述磁性退火裝置中，上述被處理體為晶圓，上述收納容器為F0UP，上述F0UP 能夠收納25張上述晶圓，上述被處理體保持部件能夠保持100張上述晶圓。
[0032] 根據(jù)本發(fā)明的第2技術(shù)方案，提供一種磁性退火裝置，其使用臥式的超導(dǎo)磁體作 為磁場產(chǎn)生部件，對被處理體進(jìn)行磁性退火處理，其中，該磁性退火裝置包括：被處理體保 持部件，其能夠保持上述被處理體；被處理體輸送機(jī)構(gòu)，其用于在收納上述被處理體的收納 容器與上述被處理體保持部件之間輸送上述被處理體；以及移載機(jī)構(gòu)，其借助連接部連接 于上述被處理體保持部件，并能夠在利用上述被處理體輸送機(jī)構(gòu)輸送上述被處理體時(shí)的第 1位置與對上述被處理體進(jìn)行磁性退火處理時(shí)的第2位置之間移載上述被處理體保持部 件；上述連接部具有能夠調(diào)節(jié)上述被處理體保持部件的傾斜角度的角度調(diào)節(jié)部。
[0033] 在上述磁性退火裝置中，上述角度調(diào)節(jié)部在上述第1位置將上述被處理體保持部 件調(diào)節(jié)為水平，并且，在上述第2位置調(diào)節(jié)上述被處理體保持部件的傾斜角度，以使得上述 被處理體保持部件的軸線與上述臥式的超導(dǎo)磁體內(nèi)的磁力線所成的角度成為預(yù)定的角度。
[0034] 在上述磁性退火裝置中，上述角度調(diào)節(jié)部在上述第2位置調(diào)節(jié)上述被處理體保持 部件的傾斜角度，以使得上述被處理體保持部件的軸線與上述臥式的超導(dǎo)磁體內(nèi)的磁力線 平行或垂直。
[0035] 在上述磁性退火裝置中，該磁性退火裝置還具有上推機(jī)構(gòu)，該上推機(jī)構(gòu)在上述第1 位置從下側(cè)上推上述被處理體保持部件的底面，以使得上述被處理體保持部件的軸線為水 平。
[0036] 在上述磁性退火裝置中，上述被處理體為晶圓，上述收納容器為F0UP，上述F0UP 能夠收納25張上述晶圓，上述被處理體保持部件能夠保持100張上述晶圓。
[0037] 在上述磁性退火裝置中，上述被處理體保持部件能夠以上述軸線的方向?yàn)槎询B方 向并以預(yù)定的間隔保持1〇〇張上述晶圓。
[0038] 在上述磁性退火裝置中，上述被處理體保持部件能夠沿上述軸線方向并列保持兩 個以與上述軸線垂直的方向?yàn)槎询B方向并以預(yù)定的間隔堆疊了 50張上述晶圓而成的堆疊 體。
[0039] 根據(jù)本發(fā)明的第3技術(shù)方案，提供一種磁性退火裝置，在該磁性退火裝置中，隔著 開閉門形成有用于輸送收納有被處理體的收納容器的收納容器輸送區(qū)域和用于輸送上述 被處理體的被處理體輸送區(qū)域，其中，在上述收納容器輸送區(qū)域內(nèi)配置有：第1載置臺，其 用于載置被輸入到該磁性退火裝置的收納容器；多個第2載置臺，其用于載置上述收納容 器，以使得經(jīng)由上述開閉門從上述收納容器輸送區(qū)域向上述被處理體輸送區(qū)域氣密地輸送 上述被處理體；保存部，其用于保存多個上述收納容器；以及收納容器輸送機(jī)構(gòu)，其用于在 上述第1載置臺、上述第2載置臺以及上述保存部之間輸入輸出上述收納容器。在上述被 處理體輸送區(qū)域內(nèi)配置有：對準(zhǔn)器，其用于進(jìn)行上述被處理體的對位；被處理體保持部件， 其能夠保持進(jìn)行上述對位后的上述被處理體；被處理體輸送機(jī)構(gòu)，其用于在載置于上述第 2載置臺的收納容器、上述對準(zhǔn)器以及上述被處理體保持部件之間輸送上述被處理體；力口 熱部件，其用于對上述被處理體進(jìn)行加熱；磁場產(chǎn)生部件，其具有對上述被處理體施加磁場 的臥式的超導(dǎo)磁體；以及移載機(jī)構(gòu)，其借助連接部連接于上述被處理體保持部件，并能夠在 利用上述被處理體輸送機(jī)構(gòu)輸送上述被處理體時(shí)的第1位置與對上述被處理體進(jìn)行磁性 退火處理時(shí)的第2位置之間移載上述被處理體保持部件；上述連接部具有能夠調(diào)節(jié)上述被 處理體保持部件的傾斜角度的角度調(diào)節(jié)部。
[0040] 根據(jù)本發(fā)明的第1技術(shù)方案，能夠提供一種能夠連續(xù)地對許多張晶圓進(jìn)行處理的 磁性退火裝置。
[0041] 根據(jù)本發(fā)明的第2技術(shù)方案，能夠提供一種能夠高效地將晶圓輸入磁性退火裝置 的磁性退火裝置。
[0042] 以下，參照附圖，說明用于實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0043] (載體）
[0044] 圖1中表示晶圓W的載體C的一例的概略立體圖。另外，在本實(shí)施方式中，說明使 用密閉型的FOUP (Front Opening Unified Pod:前開式晶圓傳送盒）作為用于容納晶圓W 的載體C的情況，但是本發(fā)明并不限定于這一點(diǎn)。
[0045] 如圖1所示，晶圓W的載體C的一端部形成為開口部，另一端部形成為例如大致半 橢圓形狀。
[0046] 在載體C的內(nèi)壁面上形成有能夠多層配置晶圓W的支承部。通過在該支承部載置 并支承例如直徑300_的晶圓W的周緣部，能夠以大致等間距多層收納晶圓W。一般來說， 一個載體C能夠收納25張晶圓W。
[0047] 在載體C的頂部設(shè)有在把持載體C時(shí)能夠抓住的把手10。
[0048] 如圖1所示，在載體C的開口部，以能夠拆卸的方式安裝有與該開口部對應(yīng)的開閉 蓋12,載體C內(nèi)利用開閉蓋12實(shí)質(zhì)上成為氣密狀態(tài)。一般來說，載體的內(nèi)部的氣氛氣體為 潔凈gas (潔凈氣體)。
[0049] 在開閉蓋12上設(shè)有例如兩個鎖定機(jī)構(gòu)14,對鎖定機(jī)構(gòu)14進(jìn)行上鎖或開鎖，從而成 為能夠相對于開口部安裝和拆卸開閉蓋12的結(jié)構(gòu)。
[0050] 在載體C的底部的下表面上設(shè)有未圖示的多個定位凹部，成為在載置于后述的載 置臺時(shí)能夠?qū)υ撦d體進(jìn)行定位的結(jié)構(gòu)。另外，在載體的底部的下表面上設(shè)有未圖示的鎖定 片，成為在載置于載置臺時(shí)能夠進(jìn)行鎖定的結(jié)構(gòu)。
[0051] (磁性退火裝置）
[0052] 接著，說明本實(shí)施方式的磁性退火裝置。圖2中表示磁性退火裝置的一例的概略 俯視圖。另外，關(guān)于后述的晶圓舟皿128、絕熱部134、蓋136、角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)138以及移載機(jī) 構(gòu)138,實(shí)線表示將晶圓W輸送到晶圓舟皿128時(shí)的位置，虛線表示對晶圓W進(jìn)行磁性退火 處理時(shí)的位置。
[0053] 如圖2所示，磁性退火裝置100收納于殼體102而構(gòu)成。殼體102構(gòu)成磁性退火 裝置的外殼體，在該殼體102內(nèi)形成有載體輸送區(qū)域S1和晶圓輸送區(qū)域S2。
[0054] 載體輸送區(qū)域S1是相對于磁性退火裝置輸入、輸出收納有作為被處理體的晶圓W 的載體C的區(qū)域。另外，晶圓輸送區(qū)域S2是用于輸送載體C內(nèi)的晶圓W、并將該晶圓W輸入 到后述的磁性退火爐內(nèi)的移載區(qū)域。
[0055] 載體輸送區(qū)域S1和晶圓輸送區(qū)域S2被分隔壁104分隔開來。
[0056] 載體輸送區(qū)域S1是處于大氣氣氛下的區(qū)域，是用于輸送收納于載體C的晶圓W的 區(qū)域。各個處理裝置之間的區(qū)域相當(dāng)于載體輸送區(qū)域S1，在本實(shí)施方式中，磁性退火裝置 100的外部的潔凈室內(nèi)的空間相當(dāng)于載體輸送區(qū)域S1。
[0057] 另一方面，作為晶圓輸送區(qū)域S2的氣氛，并不特別限制，既可以是大氣氣氛，也可 以是非活性氣體氣氛、例如氮（N2)氣氣氛。根據(jù)被處理體的結(jié)構(gòu)，在需要進(jìn)行更低氧氣氛 下的處理的情況下，例如在要防止形成氧化膜等的情況等下，可以設(shè)為非活性氣體氣氛。另 夕卜，一般來說，晶圓輸送區(qū)域S2的潔凈度高于載體輸送區(qū)域S1的潔凈度，并且晶圓輸送區(qū) 域S2被維持為低氧濃度。
[0058] 在以后的說明中，將載體輸送區(qū)域S1側(cè)作為前方（圖2的X方向），將晶圓輸送區(qū) 域S2側(cè)作為后方（圖2的Y方向）。將水平面內(nèi)與前后方向垂直的方向作為左右方向。 [0059][載體輸送區(qū)域S1]
[0060] 更詳細(xì)地說明載體輸送區(qū)域S1。圖3中表示磁性退火裝置的載體輸送區(qū)域附近的 概略縱剖視圖。
[0061] 載體輸送區(qū)域S1包括第1輸送區(qū)域106和位于第1輸送區(qū)域106的后方側(cè)的第 2輸送區(qū)域108。
[0062] 如圖2所示，在第1輸送區(qū)域106的左右方向（與圖2的XY軸方向垂直的方向)上 設(shè)有分別載置載體C的第1載置臺110a、110b這兩個載置臺。在各個第1載置臺110a、110b 的載置面上，例如設(shè)有三處與載體C的定位凹部對應(yīng)的、用于對載體C進(jìn)行定位的銷112。 [0063] 在第2輸送區(qū)域108內(nèi)設(shè)有相對于左右的第1載置臺的任一者(在本實(shí)施方式為 載置臺ll〇a)沿前后方向排列、并且沿圖3的上下方向配置的第2載置臺114a、114b這兩 個載置臺。各個第2載置臺114構(gòu)成為在前后方向上移動自如。
[0064] 在第2載置臺114的載置面上也與第1載置臺110相同地設(shè)有例如三處用于對載 體C進(jìn)行定位的銷112。另外，在上述載置面上設(shè)有用于固定載體C的未圖示的鉤。
[0065] 如圖3所示，在第2輸送區(qū)域108和/或第1輸送區(qū)域106的上部側(cè)設(shè)有用于保 存載體C的第1載體保存部116a、116b。載體保存部116a、116b例如由兩段以上的架子構(gòu) 成，各個架子能夠在左右方向上載置例如兩個載體C。
[0066] 另外，如圖2所示，在第2載置臺114的左右方向上設(shè)有由多段架子構(gòu)成的第2載 體保存部116c。
[0067] 通過設(shè)有第1載體保存部116a、116b與第2載體保存部116c，能夠在載體輸送區(qū) 域S1內(nèi)保持足夠數(shù)量的載體C (S卩，晶圓W)。因此，即使在利用后述的晶圓移載方法來將 例如100張晶圓W移載到晶圓輸送區(qū)域S2的情況下，通過預(yù)先將載體C保存于載體保存部 116,載體C的數(shù)量也不會不足。
[0068] 在第2輸送區(qū)域108內(nèi)設(shè)有用于在第1載置臺、第2載置臺以及第1、第2載體保 存部之間輸送載體C的載體輸送機(jī)構(gòu)118。該載體輸送機(jī)構(gòu)118包括在上下方向上升降自 如的引導(dǎo)部118a、一邊被引導(dǎo)部118a引導(dǎo)一邊上下移動的移動部118b以及設(shè)于該移動部 118b、支承載體C的底部并沿水平方向輸送的輸送臂118c。
[0069] 在分隔壁104上設(shè)有使載體輸送區(qū)域S1與晶圓輸送區(qū)域S2連通的晶圓W的輸送 口 120。在輸送口 120處設(shè)有用于從晶圓輸送區(qū)域S2側(cè)堵塞該輸送口 120的開閉門122。 在開閉門122上連接有未圖示的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，開閉門122構(gòu)成為借助驅(qū)動機(jī)構(gòu)在前后方向和 上下方向上移動自如，對輸送口 120進(jìn)行開閉。
[0070] <載體輸送區(qū)域S1內(nèi)的載體C (晶圓W)的輸送>
[0071] 說明晶圓W的從載體輸送區(qū)域S1向晶圓輸送區(qū)域S2的輸送。首先，利用上述輸 送臂118c，從第1載置臺110、第1載體保存部116a、116b或第2載體保存部116c向第2 載置臺114移載載體C。載體C以其定位凹部與銷112相卡合的方式被載置。若載體C載 置于第2載置臺114,則第2載置臺114向分隔壁104側(cè)移動，載體C與分隔壁104相抵接。 載體C的抵接狀態(tài)由未圖示的固定機(jī)構(gòu)保持。
[0072] 之后，在形成于分隔壁104的開閉門122和載體C的開閉蓋12密閉的狀態(tài)下，利 用未圖示的開閉機(jī)構(gòu)打開開閉蓋12。在將晶圓輸送區(qū)域S2的氣氛設(shè)為非活性氣體氣氛的 情況下，首先，在載體C的開閉蓋12密閉的狀態(tài)下，利用未圖示的非活性氣體置換部件進(jìn)行 非活性氣體置換，去除開閉門122與開閉蓋12之間的大氣并充滿非活性氣體。接著，利用 非活性氣體置換部件對載體C內(nèi)進(jìn)行非活性氣體置換。
[0073] 然后，打開形成于載體C的分隔壁104的開閉門122,利用后述的晶圓輸送機(jī)構(gòu) 124輸入、輸出載體C內(nèi)的晶圓W。
[0074] 在更換載體C和輸出晶圓W時(shí)，實(shí)施與上述相反的動作。
[0075] [晶圓輸送區(qū)域S2]
[0076] 圖4中表示磁性退火裝置100的晶圓輸送區(qū)域S2附近的概略俯視圖。如圖4所 示，在晶圓輸送區(qū)域S2內(nèi)主要設(shè)置有晶圓輸送機(jī)構(gòu)124、對準(zhǔn)器裝置126、晶圓舟皿128以 及磁場產(chǎn)生部件130 (參照圖2)。
[0077] 晶圓輸送機(jī)構(gòu)124承擔(dān)晶圓輸送區(qū)域S2內(nèi)的晶圓W的輸送，并設(shè)置在晶圓舟皿 128與分隔壁104的輸送口 120之間。晶圓輸送機(jī)構(gòu)124沿著上下延伸的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)124a進(jìn) 行移動，并且在繞鉛垂軸線轉(zhuǎn)動的移動體124b上設(shè)置例如5個進(jìn)退自如的臂124c而構(gòu)成， 在晶圓舟皿128、第2載置臺114上的載體C以及對準(zhǔn)器裝置126之間輸送晶圓。
[0078] 對準(zhǔn)器裝置126例如把持晶圓W的邊緣，進(jìn)行定心與切口等的角度對準(zhǔn)。
[0079] 晶圓舟皿128 -般來說具有圓筒狀的形狀，能夠保持多個載體C、例如4個載體C 內(nèi)的許多張晶圓W。另外，晶圓舟皿128隔著絕熱部134載置于蓋136的后方側(cè)。蓋136支 承于移載機(jī)構(gòu)138的后方側(cè)，利用該移載機(jī)構(gòu)138相對于磁場產(chǎn)生部件130輸入或輸出晶 圓舟皿128。
[0080] 一般來說，蓋136與絕熱部134以蓋136的主表面與絕熱部134的軸線方向垂直 的方式互相固定而構(gòu)成。另外，絕熱部134和晶圓舟皿128以絕熱部134的軸線方向與晶 圓舟皿128的軸線方向平行的方式互相固定而構(gòu)成。
[0081] 在本實(shí)施方式的磁性退火裝置100中，在蓋136和絕熱部134中的至少一者上設(shè) 有角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137,以使得蓋136的主表面與絕熱部134的軸線方向之間的角度能夠發(fā)生 改變。即，通過設(shè)置角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137,能夠改變晶圓舟皿128的傾斜角度。
[0082] 另外，角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137優(yōu)選具有水平器，并能夠?qū)A舟皿128的軸線是否水平 進(jìn)行判斷，在不水平的情況下，利用角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137而成為以下結(jié)構(gòu)：借助絕熱部134來 改變晶圓舟皿128的傾斜角度，能夠?qū)⒕A舟皿128的軸線保持為例如水平。
[0083] 如后述的圖6所示，移載機(jī)構(gòu)138包括：連接部138a，其連接于蓋136 ;導(dǎo)軌138b， 其沿著上述前后方向形成，連接于該連接部138a并對移載機(jī)構(gòu)138進(jìn)行引導(dǎo)；以及未圖示 的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。由此，移載機(jī)構(gòu)138在導(dǎo)軌138上滑動移動自如。
[0084] 另外，蓋136、連接部138a以及導(dǎo)軌138b由剛體形成，并構(gòu)成為各個構(gòu)件之間的相 對角度恒定。
[0085] 在晶圓舟皿128的后方側(cè)配置有用于對晶圓W實(shí)施磁性退火處理的磁場產(chǎn)生部件 130。作為磁場產(chǎn)生部件，能夠使用右端為爐口的、由臥式的螺線管型磁體(超導(dǎo)磁體）構(gòu)成 的磁性退火爐。螺線管型磁體配置為其中心線軸線方向?qū)嵸|(zhì)上水平，并連接于未圖示的電 源裝置。利用臥式的螺線管型磁體產(chǎn)生的磁體內(nèi)的磁場的方向(磁力線的方向)為上述前后 方向。
[0086] 另外，在磁場產(chǎn)生部件130上，沿著其內(nèi)周配置有加熱部件132,能夠?qū)⒕AW加熱 到預(yù)定的溫度。即，利用加熱部件132,在均勻的磁場下對晶圓W進(jìn)行加熱處理。
[0087] 在使用螺線管型磁體對多張、例如100張晶圓W實(shí)施相同的磁性退火處理的情況 下，為了對所有的晶圓W實(shí)施均勻的處理，需要將晶圓W配置在勻強(qiáng)磁場區(qū)域內(nèi)。螺線管型 磁體的勻強(qiáng)磁場區(qū)域?yàn)槁菥€管型磁體的軸線方向長度的大約20%的區(qū)域。因此，在利用磁 性退火裝置對例如100張 Φ 300mm的晶圓W進(jìn)行處理的情況下，作為臥式的螺線管型磁體 的設(shè)計(jì)例，能夠設(shè)為內(nèi)徑(孔徑）Φ 570mm、外徑Φ 1900mm、長度2500mm (該情況下的勻強(qiáng)磁 場區(qū)域的長度約為680mm左右)。
[0088] 另外，上述設(shè)計(jì)的臥式的螺線管型磁體的重量為大致25噸左右。因此，在螺線管 型磁體的底部設(shè)有用于保存螺線管型磁體的、未圖示的保持臺，并且在該保持臺的底部設(shè) 有未圖示的保持板。
[0089] 另外，如圖2所示，在該磁性退火裝置100中設(shè)有例如由計(jì)算機(jī)構(gòu)成的控制部140。 控制部140包括程序、存儲器、由CPU構(gòu)成的數(shù)據(jù)處理部等，在程序中嵌入有命令(各個步 驟)，以使得從控制部向磁性退火裝置的各部發(fā)送控制信號，并進(jìn)行各個處理工序。利用該 控制信號，進(jìn)行載體C的輸送、角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137對晶圓舟皿128的傾斜角度的控制、晶圓W 的輸送、開閉門的開閉、蓋體的開閉、各個處理。該程序存儲于計(jì)算機(jī)存儲介質(zhì)、例如軟盤、 光盤、硬盤、M0 (磁光盤）以及存儲卡等存儲介質(zhì)中并安裝于控制部。
[0090] <晶圓輸送區(qū)域S2內(nèi)的晶圓W的輸送>
[0091] 如上所述，本實(shí)施方式的磁性退火裝置利用角度調(diào)節(jié)部137來調(diào)節(jié)蓋136與絕熱 部134所成的角度，從而能夠調(diào)節(jié)晶圓舟皿128的傾斜角度。由此，在向晶圓舟皿128輸送 晶圓W時(shí)和將收納有晶圓W的晶圓舟皿128裝載于磁場產(chǎn)生部件130時(shí)，能夠分別獨(dú)立地 將蓋136與絕熱部134所成的角度調(diào)節(jié)為最佳。
[0092] 列舉具體的實(shí)施例，說明角度調(diào)節(jié)部137的效果。
[0093] 首先，說明將晶圓W從載置于第2載置臺114a、114b的載體C輸送至晶圓舟皿128 的一系列的流程。
[0094] 輸入到晶圓輸送區(qū)域S2的晶圓W被晶圓輸送機(jī)構(gòu)124首先移載到對準(zhǔn)器裝置 126,進(jìn)行定心與切口等的角度對準(zhǔn)。接著，角度對準(zhǔn)結(jié)束后的晶圓W被晶圓輸送機(jī)構(gòu)124 從對準(zhǔn)器裝置126移載到晶圓舟皿128。在晶圓W的向晶圓舟皿128的移載結(jié)束之后，晶圓 輸送機(jī)構(gòu)124返回載體C，移載下一個晶圓W。
[0095] 另外，如后所述，優(yōu)選的是，在晶圓舟皿128實(shí)質(zhì)上水平的狀態(tài)下實(shí)施晶圓輸送機(jī) 構(gòu)124對晶圓W的向晶圓舟皿128的輸送。
[0096] 保持在一個載體C內(nèi)的晶圓W的張數(shù)一般來說為25張，利用晶圓輸送機(jī)構(gòu)124進(jìn) 行輸送的晶圓W的輸送張數(shù)一般來說為5張。因此，針對一個載體C，進(jìn)行5次晶圓W的從 載體C經(jīng)由對準(zhǔn)器裝置126向晶圓舟皿128的移載。在來自載置于一個第2載置臺（例如 第2載置臺114a)的載體C的晶圓W的移載結(jié)束之后，利用晶圓輸送機(jī)構(gòu)124進(jìn)行來自載 置于另一個第2載置臺(例如第2載置臺114b)的載體C的晶圓W的移載。此時(shí)，在進(jìn)行來 自載置于另一個第2載置臺114b的載體C的晶圓W的移載的期間，載置于第2載置臺114a 的變空的載體C被替換為保存于載體保存部116的其他載體C。
[0097] 圖5中表示用于說明保持在晶圓舟皿128內(nèi)的晶圓W的配置例的概略圖。
[0098] 圖5的（a)是晶圓W的堆疊方向?yàn)樯鲜銮昂蠓较驎r(shí)的配置例，圖5的（b)是晶圓W 的堆疊方向?yàn)殂U垂方向時(shí)的配置例。
[0099] 晶圓W的磁性退火處理公知有向與晶圓W的主表面垂直的方向施加磁場的垂直磁 化方式和向與晶圓W的主表面平行的方向施加磁場的面內(nèi)磁化方式這兩種方式。像本實(shí)施 方式這樣，在采用臥式的螺線管型磁體作為磁場產(chǎn)生部件130的情況下，磁體內(nèi)的磁場(磁 力線）的方向?yàn)樯鲜銮昂蠓较颉?br> [0100] 作為更具體的例子，說明將100張晶圓W輸送到晶圓舟皿128的例子，但是本發(fā)明 并不限定于這一點(diǎn)。在通過垂直磁化方式對晶圓W進(jìn)行磁性退火處理的情況下，如圖5的 (a)所示，以晶圓W的堆疊方向?yàn)樯鲜銮昂蠓较虻姆绞竭M(jìn)行配置。在對例如100張晶圓W進(jìn) 行處理的情況下，如圖5的（a)所示，在晶圓舟皿128內(nèi)配置一個堆疊體，該堆疊體以預(yù)定 的間隔呈架狀堆疊了 100張晶圓W而成的。另一方面，在通過面內(nèi)磁化方式對晶圓W進(jìn)行 磁性退火處理的情況下，如圖5的（b)所示，在上述前后方向上并列排列兩個堆疊體并配置 在晶圓舟皿128內(nèi)，該堆疊體以預(yù)定的間隔堆疊了 50張晶圓W而成的。
[0101] 圖6中表不用于說明晶圓舟皿128的相對于磁場產(chǎn)生部件130的輸入或輸出的概 略圖。另外，在圖6中，說明在上述前后方向上并列排列兩個沿鉛垂方向以預(yù)定的間隔堆疊 了 50張晶圓W而成的堆疊體并配置于晶圓舟皿128的情況，但是本發(fā)明并不限定于該實(shí)施 方式。
[0102] 更具體地說，圖6的（a)是磁場產(chǎn)生部件130水平配置時(shí)的概略圖，圖6的（b)是磁 場產(chǎn)生部件130以與水平方向成α的角度(但是，α >〇)的方式配置時(shí)的概略圖。另外， 在圖6的（a)和圖6的（b)中，用實(shí)線表示晶圓W被輸送到晶圓舟皿128時(shí)晶圓舟皿128、 絕熱部134以及蓋136的配置位置，用虛線表示晶圓W被輸送到磁場產(chǎn)生部件130時(shí)這些 構(gòu)件的配置位置。
[0103] 如圖6的（a)所示，在所設(shè)置的磁場產(chǎn)生部件130為水平的情況下，移載機(jī)構(gòu)138 的導(dǎo)軌138b也同樣地為水平。另外，在該情況下，螺旋狀的磁場產(chǎn)生部件130中的磁力線 的方向?yàn)樗椒较颉?br> [0104] 另一方面，蓋136的主表面的面方向?yàn)殂U垂方向，絕熱部134的軸線方向和晶圓舟 皿128的軸線方向?yàn)榇笾滤健Ｓ纱?，不用使晶圓舟皿128的軸線傾斜，就能夠?qū)⒕AW穩(wěn) 定地輸送到晶圓舟皿128。
[0105] 一般來說，在晶圓舟皿128的未圖示的晶圓保持部形成有充分的間隙，以使得即 使在晶圓舟皿128不水平的情況下也利用晶圓輸送機(jī)構(gòu)124輸送晶圓W。但是，在像本實(shí) 施方式這樣的、能夠一次處理例如100張 Φ 300mm的晶圓W的磁性退火裝置的情況下，螺旋 狀的磁場產(chǎn)生部件130的軸線方向長度變長。如上所述，相對于螺旋狀態(tài)的磁場產(chǎn)生部件 130的軸線方向長度，勻強(qiáng)磁場區(qū)域?yàn)?0%左右，因此絕熱部134的所需的軸線方向長度也 變長，由于晶圓舟皿128 (及收納于此的晶圓W)的重量，絕熱部134有時(shí)撓曲。由于該撓曲 等，晶圓舟皿128的軸線傾斜，在該傾斜部分超過上述間隙部分的情況下，有時(shí)無法利用晶 圓輸送機(jī)構(gòu)124將晶圓W輸送到晶圓舟皿128。
[0106] 但是，本實(shí)施方式的磁性退火裝置100具有能夠調(diào)節(jié)晶圓舟皿128的傾斜角度的 角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137。因此，利用角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137來調(diào)節(jié)蓋136與絕熱部134之間的角度， 能夠在將晶圓舟皿128的軸線設(shè)為水平的狀態(tài)下實(shí)施晶圓W的向晶圓舟皿128的輸送。
[0107] 另一方面，即使在將晶圓W輸送到晶圓舟皿128之后，依據(jù)輸送了的晶圓W的張 數(shù)，絕熱部134也有時(shí)撓曲。若絕熱部134撓曲，則晶圓舟皿128的軸線自水平傾斜，因此 磁力線的方向與晶圓面所成的角度有時(shí)偏離期望的角度。在該情況下，無法對晶圓W實(shí)施 期望的磁性退火處理。另外，由于近年來的晶圓W的大型化，在晶圓舟皿128的軸線自水平 傾斜的情況下，在磁性退火處理時(shí)，晶圓W自身因自重而產(chǎn)生撓曲，易于產(chǎn)生因應(yīng)力集中而 產(chǎn)生滑移錯位（日文：7 U 7 7。転位）等不良情況。
[0108] 但是，本實(shí)施方式的磁性退火裝置100具有能夠調(diào)節(jié)晶圓舟皿128的傾斜角度的 角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137。因此，改變蓋136與絕熱部134所成的角度，調(diào)節(jié)晶圓舟皿128的傾斜 角度，而晶圓舟皿128的軸線（S卩，晶圓面）與磁力線形成期望的角度。
[0109] 然后，晶圓舟皿128被移載機(jī)構(gòu)138裝載于磁場產(chǎn)生部件130。
[0110] 另外，也可以是，由角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137進(jìn)行的蓋136與絕熱部134所成的角度的調(diào) 節(jié)在將晶圓舟皿128裝載于磁場產(chǎn)生部件130之后進(jìn)行。
[0111] 另一方面，在如圖6的（b)所示磁場產(chǎn)生部件130自水平以例如α的角度傾斜設(shè) 置的情況下，移載機(jī)構(gòu)138的導(dǎo)軌138b也同樣地自水平以α的角度傾斜設(shè)置。在該情況 下，螺旋狀的磁場產(chǎn)生部件130中的磁力線的方向自水平方向以α的角度傾斜。
[0112] 另外，蓋136的主表面的面方向自鉛垂方向以α的角度傾斜，絕熱部134的軸線 方向和晶圓舟皿128的軸線自水平以α的角度傾斜。
[0113] 如上所述，在向晶圓舟皿128輸送晶圓W的情況下，優(yōu)選的是晶圓舟皿128水平。 因此，在向晶圓舟皿128輸送晶圓W的情況下，利用角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137改變蓋136與絕熱部 134所成的角度，將絕熱部134和晶圓舟皿128的軸線設(shè)為水平。
[0114] 在將晶圓W輸送到晶圓舟皿128之后，依據(jù)輸送的晶圓W的張數(shù)，絕熱部134撓曲。 因此，在將晶圓舟皿128裝載于磁場產(chǎn)生部件130的情況下，也考慮到該撓曲，利用角度調(diào) 節(jié)機(jī)構(gòu)137來將螺旋狀的磁場產(chǎn)生部件130中的磁力線的方向與晶圓面所成的角度調(diào)節(jié)為 期望的角度。然后，在該狀態(tài)下，晶圓舟皿128被移載機(jī)構(gòu)138裝載于磁場產(chǎn)生部件130。
[0115] 即，本實(shí)施方式的磁性退火裝置100通過具有角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137,從而在利用晶圓 輸送機(jī)構(gòu)124將晶圓W輸送至晶圓舟皿128時(shí)和將輸送至晶圓舟皿128 了的晶圓W輸送至 磁場產(chǎn)生部件130時(shí)，能夠分別獨(dú)立地調(diào)節(jié)晶圓舟皿128的傾斜角度（晶圓舟皿128的軸線 的水平)。因此，能夠提供一種能夠高效且高精度地將晶圓輸入磁性退火裝置的磁性退火裝 置。
[0116] 另外，如圖6的（b)所示，也可以是，本實(shí)施方式的磁性退火裝置100具有設(shè)置于 晶圓舟皿128的底面?zhèn)鹊?、并能夠上推晶圓舟皿128的上推機(jī)構(gòu)139。
[0117] 上推機(jī)構(gòu)139由升降自如的引導(dǎo)部139a、一邊被引導(dǎo)部139a引導(dǎo)一邊上下移動的 移動部139b以及在上推時(shí)與晶圓舟皿128的底面相抵接的上推構(gòu)件139c形成。
[0118] 通過具有上推機(jī)構(gòu)139,從而在向晶圓舟皿128輸送晶圓W時(shí)，能夠更可靠地將晶 圓舟皿128的軸線保持水平。因此，能夠?qū)⒕AW穩(wěn)定地輸送到晶圓舟皿128。
[0119] 在晶圓舟皿128被移載機(jī)構(gòu)138裝載于磁場產(chǎn)生部件130之后，對晶圓W實(shí)施預(yù) 定的磁性退火處理。處理結(jié)束后的晶圓W的輸出通過以下方法執(zhí)行：首先從磁場產(chǎn)生部件 130上卸載晶圓舟皿128,并與上述輸入相反，使用晶圓輸送機(jī)構(gòu)124來通過位于第2載置 臺114a或114b的開閉門來將晶圓W移載至載體C。在該情況下，也利用角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)137 進(jìn)行調(diào)節(jié)，以使得晶圓舟皿128的底面水平。在利用晶圓輸送機(jī)構(gòu)124將晶圓W輸送到載 體C之后，利用未圖示的開閉機(jī)構(gòu)來將開閉蓋安裝于載體C，利用載體輸送機(jī)構(gòu)118輸出載 體C，進(jìn)入下一工序。
[0120] 根據(jù)上述內(nèi)容，本發(fā)明的各種實(shí)施例是出于說明的目的而記載的，而且，能夠理解 為在不脫離本發(fā)明的范圍和思想的前提下能夠進(jìn)行各種變形。因而，在此所公開的各種實(shí) 施例并不是對上述各項(xiàng)權(quán)利要求所指定的本質(zhì)的范圍和思想進(jìn)行限制。
【權(quán)利要求】
1. 一種磁性退火裝置，在磁性退火裝置中，隔著開閉門形成有用于輸送收納有一組被 處理體的收納容器的收納容器輸送區(qū)域和用于輸送上述被處理體的被處理體輸送區(qū)域，該 磁性退火裝置具有控制部，其中， 在上述收納容器輸送區(qū)域內(nèi)配置有： 第1載置臺，其用于載置被輸入到該磁性退火裝置的收納容器； 多個第2載置臺，其用于載置上述收納容器，以使得經(jīng)由上述開閉門從上述收納容器 輸送區(qū)域向上述被處理體輸送區(qū)域氣密地輸送上述被處理體； 保存部，其用于保存多個上述收納容器；以及 收納容器輸送機(jī)構(gòu)，其用于在上述第1載置臺、上述第2載置臺以及上述保存部之間輸 入、輸出上述收納容器； 在上述被處理體輸送區(qū)域內(nèi)配置有： 對準(zhǔn)器，其用于進(jìn)行多個上述被處理體的對位； 被處理體保持部件，其能夠保持多組上述被處理體； 被處理體輸送機(jī)構(gòu)，其用于在載置于上述第2載置臺的收納容器、上述對準(zhǔn)器以及上 述被處理體保持部件之間輸送上述被處理體； 加熱部件，其用于對上述被處理體進(jìn)行加熱； 磁場產(chǎn)生部件，其用于對上述被處理體施加磁場，并具有臥式超導(dǎo)磁體；以及 移載機(jī)構(gòu)，其用于將保持于上述被處理體保持部件的上述被處理體移載到上述磁場產(chǎn) 生部件內(nèi)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性退火裝置，其中， 上述控制部以如下方式進(jìn)行控制：在將載置于上述多個第2載置臺中的一個載置臺上 的上述收納容器內(nèi)的上述被處理體向上述被處理體保持部件輸送的期間，將保存于上述保 存部的上述收納容器輸送到上述多個第2載置臺中的其他載置臺。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性退火裝置，其中， 上述控制部對上述移載機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得在預(yù)定數(shù)量組的上述被處理體保持于上 述處理體保持部件之后，將上述處理體保持部件移載到上述磁場產(chǎn)生部件。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性退火裝置，其中， 上述控制部進(jìn)行以下控制： (i) 對上述被處理體輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得將載置于上述多個第2載置臺中的一 個載置臺上的上述收納容器內(nèi)的上述被處理體經(jīng)由上述對準(zhǔn)器輸送到上述被處理體保持 部件， (ii) 對上述收納容器輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得在上述（i)中的輸送期間將載置于上 述多個第2載置臺中的其他載置臺上的上述收納容器自上述其他載置臺輸出，并且，將保 存于上述保存部的上述收納容器輸送到上述其他載置臺， (iii) 對上述被處理體輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得在將載置于上述一個載置臺上的上 述收納容器內(nèi)的上述被處理體全部輸送到上述被處理體保持部件之后，將載置于上述其他 載置臺上的上述收納容器內(nèi)的上述被處理體經(jīng)由上述對準(zhǔn)器輸送到上述被處理體保持部 件， (iv) 對上述收納容器輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得在上述（iii)中的輸送期間，將載置于 上述一個載置臺上的上述收納容器自上述一個載置臺輸出，并且，將保存于上述保存部的 上述收納容器輸送到上述一個載置臺， (V)對上述移載機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，以使得在重復(fù)上述（i)?（iv)而將預(yù)定數(shù)量組的上述 被處理體保持于上述被處理體保持部件之后，將上述被處理體保持部件移載到上述磁場產(chǎn) 生部件內(nèi)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性退火裝置，其中， 上述多個第2載置臺為兩個載置臺， 上述兩個載置臺沿鉛垂方向串聯(lián)配置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性退火裝置，其中， 上述被處理體為晶圓，上述收納容器為FOUP， 上述FOUP能夠收納25張上述晶圓， 上述被處理體保持部件能夠保持100張上述晶圓。
7. -種磁性退火裝置，其使用臥式的超導(dǎo)磁體作為磁場產(chǎn)生部件，對被處理體進(jìn)行磁 性退火處理，其中，該磁性退火裝置包括： 被處理體保持部件，其能夠保持上述被處理體； 被處理體輸送機(jī)構(gòu)，其用于在收納上述被處理體的收納容器與上述被處理體保持部件 之間輸送上述被處理體；以及 移載機(jī)構(gòu)，其借助連接部連接于上述被處理體保持部件，并能夠在利用上述被處理體 輸送機(jī)構(gòu)輸送上述被處理體時(shí)的第1位置與對上述被處理體進(jìn)行磁性退火處理時(shí)的第2位 置之間移載上述被處理體保持部件； 上述連接部具有能夠調(diào)節(jié)上述被處理體保持部件的傾斜角度的角度調(diào)節(jié)部。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁性退火裝置，其中， 上述角度調(diào)節(jié)部在上述第1位置將上述被處理體保持部件調(diào)節(jié)為水平，并且，在上述 第2位置調(diào)節(jié)上述被處理體保持部件的傾斜角度，以使得上述被處理體保持部件的軸線與 上述臥式的超導(dǎo)磁體內(nèi)的磁力線所成的角度成為預(yù)定的角度。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁性退火裝置，其中， 上述角度調(diào)節(jié)部在上述第2位置調(diào)節(jié)上述被處理體保持器具的傾斜角度，以使得上述 被處理體保持部件的軸線與上述臥式的超導(dǎo)磁體內(nèi)的磁力線平行或垂直。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁性退火裝置，其中， 該磁性退火裝置還具有上推機(jī)構(gòu)，該上推機(jī)構(gòu)在上述第1位置從下側(cè)上推上述被處理 體保持部件的底面，以使得上述被處理體保持部件的軸線為水平。
11. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁性退火裝置，其中， 上述被處理體為晶圓，上述收納容器為FOUP， 上述FOUP能夠收納25張上述晶圓， 上述被處理體保持部件能夠保持100張上述晶圓。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的磁性退火裝置，其中， 上述被處理體保持部件能夠以上述軸線的方向?yàn)槎询B方向并以預(yù)定的間隔保持100 張上述晶圓。
13. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的磁性退火裝置，其中， 上述被處理體保持部件能夠沿上述軸線方向并列保持兩個以與上述軸線垂直的方向 為堆疊方向并以預(yù)定的間隔堆疊了 50張上述晶圓而成的堆疊體。
14. 一種磁性退火裝置，在磁性退火裝置中，隔著開閉門形成有用于輸送收納有被處理 體的收納容器的收納容器輸送區(qū)域和用于輸送上述被處理體的被處理體輸送區(qū)域，其中， 在上述收納容器輸送區(qū)域內(nèi)配置有： 第1載置臺，其用于載置被輸入到該磁性退火裝置的收納容器； 多個第2載置臺，其用于載置上述收納容器，以使得經(jīng)由上述開閉門從上述收納容器 輸送區(qū)域向上述被處理體輸送區(qū)域氣密地輸送上述被處理體； 保存部，其用于保存多個上述收納容器；以及 收納容器輸送機(jī)構(gòu)，其用于在上述第1載置臺、上述第2載置臺以及上述保存部之間輸 入輸出上述收納容器； 在上述被處理體輸送區(qū)域內(nèi)配置有： 對準(zhǔn)器，其用于進(jìn)行上述被處理體的對位； 被處理體保持部件，其能夠保持進(jìn)行上述對位后的上述被處理體； 被處理體輸送機(jī)構(gòu)，其用于在載置于上述第2載置臺的收納容器、上述對準(zhǔn)器以及上 述被處理體保持部件之間輸送上述被處理體； 加熱部件，其用于對上述被處理體進(jìn)行加熱； 磁場產(chǎn)生部件，其用于對上述被處理體施加磁場，并具有臥式的超導(dǎo)磁體；以及 移載機(jī)構(gòu)，其借助連接部連接于上述被處理體保持部件，并能夠在利用上述被處理體 輸送機(jī)構(gòu)輸送上述被處理體時(shí)的第1位置與對上述被處理體進(jìn)行磁性退火處理時(shí)的第2位 置之間移載上述被處理體保持部件； 上述連接部具有能夠調(diào)節(jié)上述被處理體保持部件的傾斜角度的角度調(diào)節(jié)部。
【文檔編號】C21D9/00GK104060073SQ201410108086
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年3月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月21日
【發(fā)明者】小野裕司, 石井亨, 齋藤誠, 小原美鶴, 竹內(nèi)靖 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社