技術(shù)編號(hào):3311373
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在本發(fā)明的磁性退火裝置中,隔著開閉門形成有用于輸送收納有一組被處理體的收納容器的收納容器輸送區(qū)域和用于輸送被處理體的被處理體輸送區(qū)域,磁性退火裝置具有控制部,在收納容器輸送區(qū)域內(nèi)配置有第1載置臺(tái);多個(gè)第2載置臺(tái);保存部;以及收納容器輸送機(jī)構(gòu),其用于在第1載置臺(tái)、第2載置臺(tái)以及保存部之間輸入、輸出收納容器;在被處理體輸送區(qū)域內(nèi)配置有對(duì)準(zhǔn)器;被處理體保持部件;被處理體輸送機(jī)構(gòu),其用于在載置于第2載置臺(tái)的收納容器、對(duì)準(zhǔn)器以及被處理體保持部件之間輸送被處理體;加熱...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。