一種三片式橢圓柵極的制作方法
【專利摘要】本實用新型專利屬于離子束沉積鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，是一種將Ar、N、O離子從放電室中拔出橢圓離子束的柵極。本實用新型包括順次設(shè)置的接地柵極、加速柵極、束壓柵極，三片柵極裝配后孔孔同軸度小于0.02mm；各柵極上工作區(qū)域的柵極網(wǎng)孔的個數(shù)均相同、變化范圍為2000～6000眼、呈蜂窩狀排布；工作區(qū)域的柵極網(wǎng)孔陣列的橢圓長短半軸之比為1：1～2：1，長軸的尺寸可以在100mm～500mm之間變化。本實用新型三片式橢圓柵極有效提高了膜層的致密性和成膜的折射率均勻性，并提高靶材的利用率、降低成本，特別適用于對光學(xué)薄膜有低損耗、高精度要求的產(chǎn)品，且與原有柵極可方便互換，實用方便。
【專利說明】一種三片式橢圓柵極
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于離子束沉積鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，是一種將Ar、N、O離子從放電室中拔出橢圓離子束的柵極。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，隨著光學(xué)薄膜性能指標(biāo)的不斷提高，傳統(tǒng)的熱蒸發(fā)鍍膜方式已經(jīng)不適用于某些高精光學(xué)薄膜制備，離子束濺射鍍膜方式已經(jīng)越來越多地應(yīng)用與高精度光學(xué)薄膜行業(yè)。對于某些要求精準(zhǔn)控制薄膜厚度和均勻性的用戶，選擇使用美國veeco公司的SPECT0R離子濺射鍍膜機(jī)配備的高速旋轉(zhuǎn)工件盤制備的光學(xué)薄膜也并不一定能夠達(dá)到用戶要求，這是由于該類設(shè)備本身固有缺陷——其三片式碟形多焦點柵極具有刻蝕空間均勻性差，雖然可以通過修正板改變光學(xué)厚度的不均勻，但是無法改變折射率的不均勻，另外其對靶材刻蝕不均勻，造成靶材利用率低，生產(chǎn)成本高。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的是:提供一種三片式橢圓柵極，能夠有效克服veeco公司SPECT0R離子濺射鍍膜機(jī)所采用的三片碟形柵網(wǎng)沉積薄膜空間折射率差異大和對靶材刻蝕不均勻的缺點。
[0004]本實用新型的技術(shù)方案是:一種三片式橢圓柵極，其包括順次連接且工作區(qū)域的柵極網(wǎng)孔同軸對應(yīng)的接地柵極、加速柵極、束壓柵極，其中工作區(qū)域的柵極網(wǎng)孔陣列為橢圓形。
[0005]各柵極網(wǎng)孔排布區(qū)的橢圓長短半軸之比為1:1?2:1，長軸的尺寸在IOOmm?500mm之間。
[0006]各柵極工作區(qū)域的柵極網(wǎng)孔數(shù)的個數(shù)為2000?6000眼，并呈蜂窩狀排布。
[0007]所述接地柵極、加速柵極、束壓柵極三者柵極網(wǎng)孔的孔同軸度小于0.02mm。
[0008]本實用新型的技術(shù)效果是:本實用新型三片式橢圓柵極有效提高了膜層的致密性和成膜的折射率均勻性，并提高靶材的利用率、降低成本，特別適用于對光學(xué)薄膜有低損耗、高精度要求的產(chǎn)品，且與原有柵極可方便互換，實用方便。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型三片式橢圓柵極的俯視圖。
[0010]圖2為三片式橢圓柵極的結(jié)構(gòu)示意圖，
[0011]其中，I接地柵極、2加速柵極、3束壓柵極。
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型專利作進(jìn)一步說明。本實用新型專利的保護(hù)范圍不局限于下列內(nèi)容的表述。[0013]請參閱圖1，其是本實用新型三片式橢圓柵極的俯視圖。本實用新型三片式橢圓柵極主要用于提高鍍膜折射率均勻性和提高靶材利用率，其包括束壓柵極、加速柵極和接地柵極。三片柵極中心工作區(qū)域均設(shè)置有個數(shù)為2000?6000眼的柵極網(wǎng)孔、并呈蜂窩狀排布，且三片柵極上的柵極網(wǎng)孔同軸對應(yīng)，要求柵極上的孔孔同軸度小于0.02mm。另外，柵極網(wǎng)孔的工作區(qū)域均為橢圓形，排布的橢圓長短半軸之比為1:1?2:1，長軸的尺寸可以在10Omm?500_之間變化。
[0014]本實用新型采用橢圓形柵極網(wǎng)孔陣列的三片式柵極，拔出的離子束為橢圓形狀。在直徑為30cm高速盤上，從外圓向內(nèi)IOcm的環(huán)帶內(nèi)，利用橢圓柵極鍍制的膜層折射率均勻性相比Veeco鍍膜機(jī)本身柵極鍍制的膜層折射率均勻性從2%提高到0.1%，靶材的壽命則提高了 3?5倍。
[0015]本實用新型三片式橢圓柵極與Veeco鍍膜機(jī)原有柵極可方便互換，靶材壽命提高、成膜的折射率均勻性改善。
[0016]以上所述僅為本實用新型專利的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型專利，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實用新型專利可以有各種更改和變化。凡在本實用新型專利的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型專利的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種三片式橢圓柵極，包括順次連接且工作區(qū)域的柵極網(wǎng)孔同軸對應(yīng)的接地柵極、加速柵極、束壓柵極，其特征在于:工作區(qū)域的柵極網(wǎng)孔陣列為橢圓形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三片式橢圓柵極，其特征在于:各柵極網(wǎng)孔排布區(qū)的橢圓長短半軸之比為1:1?2:1，長軸的尺寸在IOOmm?500mm之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三片式橢圓柵極，其特征在于:各柵極工作區(qū)域的柵極網(wǎng)孔數(shù)的個數(shù)為2000?6000眼,并呈蜂窩狀排布。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三片式橢圓柵極，其特征在于:接地柵極、加速柵極、束壓柵極三者柵極網(wǎng)孔的孔同軸度小于0.02mm。
【文檔編號】C23C14/46GK203639545SQ201320808038
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2013年12月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月10日
【發(fā)明者】任旭升, 劉希強(qiáng), 蘇宇, 王京獻(xiàn), 王濤, 李縣洛 申請人:中國航空工業(yè)第六一八研究所