一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置，主要包括原料罐（1）、超高純鈦沉積管（13）、加碘罐（5）、沉積罐（17），原料罐與沉積罐為分開的兩個獨立罐體，原料罐與沉積罐均通過密封墊分別與相應(yīng)的罐蓋連接，原料罐內(nèi)裝有海綿鈦，沉積罐內(nèi)部設(shè)有超高純鈦沉積管，可通過加碘罐在反應(yīng)初始和反應(yīng)過程中補(bǔ)加原料碘。該裝置將原料罐與沉積罐分開，可有效的避免沉積區(qū)對原料區(qū)的高溫輻射造成原料合成區(qū)域溫度超出理想溫度區(qū)間，同時可增加粗鈦原料一次裝載量以及通過加碘罐解決反應(yīng)過程中補(bǔ)加單質(zhì)碘問題，使反應(yīng)過程去除雜質(zhì)元素效果更好，反應(yīng)過程更加可控，且產(chǎn)能和生產(chǎn)效率大幅提高。利用該裝置生產(chǎn)的產(chǎn)品純度可達(dá)到5N（99.999%）以上。
【專利說明】一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種超高純鈦的生產(chǎn)裝置，特別涉及碘化法生產(chǎn)半導(dǎo)體用超高純金屬 提純裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 目前用于集成電路板的高純金屬靶材的原料，超高純鈦目前我國還不能自給，其 主要問題是精細(xì)冶煉工藝尚未過關(guān)。提純超高純鈦的方法主要有克勞爾法、電解熔鹽法、碘 化法、電子束熔煉法等，在碘化法生產(chǎn)超高純鈦中，有將原料罐與沉積罐放在同一罐體中， 這將造成超高純鈦沉積區(qū)域高溫對合成區(qū)域形成熱輻射作用，導(dǎo)致合成區(qū)域溫度超出理想 的合成溫度范圍，對雜質(zhì)提純效果不佳，且原料海綿鈦的裝載量也非常有限，影響產(chǎn)能。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 為解決碘化法生產(chǎn)超高純鈦提純效果和產(chǎn)能的問題，本發(fā)明提供了一種碘化法生 產(chǎn)超高純鈦的裝置，該設(shè)備性能穩(wěn)定、可靠。
[0004] 一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置，主要有原料罐、罐蓋、超高純鈦沉積管、加碘罐、 碘回收罐、沉積罐，原料罐與沉積罐為分開的兩個獨立的罐體，原料罐與沉積罐均通過密封 墊分別與相應(yīng)的罐蓋連接，原料罐裝有海綿鈦，沉積罐內(nèi)部設(shè)有超高純鈦沉積管，可通過加 鵬罐在反應(yīng)初始和反應(yīng)過程中補(bǔ)加原料鵬。
[0005] 本發(fā)明是碘化法生產(chǎn)高純鈦的裝置，原料罐與沉積罐為分開的兩個獨立的罐體， 避免了沉積區(qū)對原料區(qū)的高溫輻射造成的原料合成區(qū)域溫度超出理想溫度區(qū)間的問題，同 時可增加粗鈦原料的一次轉(zhuǎn)載量以及通過加碘罐解決反應(yīng)過程中補(bǔ)加單質(zhì)碘的問題，使反 應(yīng)過程去除雜質(zhì)元素的效果更好，反應(yīng)過程更加可控，且產(chǎn)能和生產(chǎn)效率大幅提高。利用該 裝置生產(chǎn)的產(chǎn)品純度可達(dá)到5N (99. 999%)以上。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006] 圖1為本發(fā)明超高純鈦的生產(chǎn)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0007] 圖中：1 一原料罐、2-罐體保溫層、3-加熱爐、4一粗欽原料、5-加鵬罐、6-鵬回 收罐、7-密封塾、8-真空閥、9一罐蓋、10-原料罐測溫儀、11-輸送管、12-氣栗、13-超 高純鈦沉積管、14 一沉積管加熱絲、15-測溫觀察孔、16-真空室、17-沉積罐、18-冷卻風(fēng) 機(jī)、19 一反應(yīng)罐鑰網(wǎng)。

【具體實施方式】
[0008] 下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0009] 一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置，主要包括原料罐（1)、沉積罐（17)、超高純鈦沉 積管（13 )、加碘罐（5 )，粗鈦原料（4 )裝在原料罐（1)中。
[0010] 本發(fā)明生產(chǎn)超高純鈦時，罐體與罐蓋之間通過密封墊密封，整個系統(tǒng)抽真空后， 通過加碘罐（5)向原料罐（1)中加入單質(zhì)碘，生成的碘化物在氣泵的作用下遷移到沉積罐 (17)中在超高純鈦沉積管（13)沉積，沉積后分解的單質(zhì)碘又通過氣泵遷移到原料罐（1) 中，循環(huán)往返，反應(yīng)結(jié)束后，打開碘回收罐（6)，回收完單質(zhì)碘后，冷卻爐體，打開罐蓋（9)， 得到純度5N (99. 999%)以上超高純鈦產(chǎn)品。
[0011] 以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制。任 何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方 法和技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實 施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所 做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置，主要包括原料罐（1)、罐蓋（9)、超高純鈦沉積管 (13)、加碘罐（5)、碘回收罐（6)、沉積罐（17)，原料罐（1)與沉積罐（7)為分開的兩個獨立的 罐體，原料罐（1)與沉積罐（17)均通過密封墊（7)分別與相應(yīng)的罐蓋（9)連接，原料罐（1) 裝有海綿鈦（4)，沉積罐（17)內(nèi)部設(shè)有超高純鈦沉積管（13)，可通過加碘罐（5)在反應(yīng)初始 和反應(yīng)過程中補(bǔ)加原料碘，使反應(yīng)可連續(xù)操作。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置，其特征在于，還包括： 原料罐與沉積罐分別為兩個獨立的罐體，高溫區(qū)沉積罐不對低溫區(qū)原料罐產(chǎn)生熱輻 射，導(dǎo)致低溫區(qū)溫度不易控制，提純效果較差。
3. 如權(quán)利要求1所述的一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置，其特征在于，還包括： 原料罐與沉積罐以及相關(guān)的內(nèi)部管道裸露部分均采用鍍鑰、鍍金或內(nèi)襯金屬鑰板等不 易與碘反應(yīng)的金屬處。
4. 如權(quán)利要求1所述的一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置，其特征在于，還包括： 分別裝有獨立于原料罐與沉積罐的加碘罐和碘回收罐。
5. 如權(quán)利要求1所述的一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置，其特征在于，還包括： 原料罐與沉積罐通過密封管道連接。
6. 如權(quán)利要求1所述的一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置，其特征在于，還包括： 原料罐與沉積罐連接的密封管道外層為軟管，內(nèi)層為完全密封的不銹鋼或其他合金管 道。
7. 如權(quán)利要求1所述的一種碘化法生產(chǎn)超高純鈦的裝置，其特征在于，還包括： 原料罐與沉積罐的密封連接管道中間裝有氣泵，原料罐與沉積罐通過氣泵傳輸?shù)饣?氣體。
【文檔編號】C22B34/12GK104141058SQ201310171243
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2013年5月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月10日
【發(fā)明者】不公告發(fā)明人 申請人:方敏