長形條研磨用夾具、研磨裝置以及研磨方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種長形條研磨用夾具，安裝于一研磨臺上，包括用于夾持長形條的夾具本體以及設(shè)置于所述夾具本體上的檢測單元及校正單元，所述檢測單元與所述長形條的讀寫元件相連以實(shí)時(shí)檢測所述讀寫元件的電阻，所述校正單元用于根據(jù)所述電阻校正所述長形條的彎曲度。所述夾具可實(shí)時(shí)監(jiān)測長形條讀寫元件的電阻且可根據(jù)該電阻校正長形條的彎曲度。本發(fā)明還公開了一種長形條的研磨裝置及研磨方法。
【專利說明】長形條研磨用夾具、研磨裝置以及研磨方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及信息記錄磁盤驅(qū)動(dòng)器領(lǐng)域，尤其涉及一種在磁頭制造過程中的長形條研磨方法及研磨裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]磁盤驅(qū)動(dòng)器是常用的信息存儲裝置，通常包含多個(gè)安裝于主軸馬達(dá)上的用于存儲數(shù)據(jù)的旋轉(zhuǎn)磁盤以及從磁盤讀取或向磁盤寫入數(shù)據(jù)的磁頭。人們對磁盤驅(qū)動(dòng)器的容量要求越來越高，雖然增加磁盤的磁軌記錄密度可增加磁盤驅(qū)動(dòng)器的容量，但相應(yīng)地需要提高磁頭的性能以使其更精確地定位于磁軌上。
[0003]磁頭大體呈長方體狀，其前后兩個(gè)側(cè)面分別稱為前面及尾隨面，磁頭上連接該前面及尾隨面且面向磁盤表面的面形成空氣承載面(air bearing surface, ABS)。其中，尾隨面中央通過沉淀方式形成極尖，其內(nèi)形成有讀寫元件。讀元件用來讀取磁盤上的信息，包括兩屏蔽層以及夾設(shè)于兩者之間的MR元件(magnetoresistive element, MR element)。將MR元件高度(從ABS按垂直方向測量的MR元件的高度)形成為設(shè)計(jì)值，對MR元件的讀取能力極為重要，進(jìn)而決定了磁頭的讀取性能。
[0004]由于MR元件高度是在晶片上層積MR元件時(shí)，通過先將MR元件高度形成為比設(shè)計(jì)值大，然后研磨ABS —側(cè)，并去除MR元件的剩余部分來獲得。因此，ABS研磨量的精度對確保MR元件高度的精度極為重要。
[0005]另外，對向磁盤寫入信息的感應(yīng)型磁變換元件來說，將狹道高度(進(jìn)行寫入的兩個(gè)相對的磁極部分從ABS沿垂直方向測量的高度)形成為設(shè)計(jì)值對磁頭的寫入性能是很重要的。由于狹道高度也是根據(jù)ABS的研磨而形成，同樣的，ABS研磨量的精度也很重要。
[0006]然而，由于ABS存在于由磁頭以二維方式形成的晶片表面的垂直方向(晶片的厚度方向)，在進(jìn)行研磨時(shí)，為露出ABS而需要預(yù)先將晶片切斷。因此，需要將晶片按研磨面露出的方向切斷，并形成由磁頭一維排列而形成的長形條。為了提高加工效率，以長形條的形態(tài)將研磨面進(jìn)行研磨(再切斷長形條并按分割后的每個(gè)磁頭小片進(jìn)行作業(yè)則效率低，因此不可取)。
[0007]長形條在被研磨之前通常被固定至一夾具上，并被壓觸到旋轉(zhuǎn)的研磨臺上研磨未與夾具接觸的ABS表面。因此，在長形條的研磨中，不僅要確保成為磁頭的各個(gè)部分的研磨量的精度，還要均勻地研磨整個(gè)長形條，即要確保整個(gè)長形條的平面度，這一步驟極為重要。
[0008]但是，現(xiàn)有技術(shù)在研磨長形條時(shí)，長形條的研磨量僅由研磨時(shí)間控制。即要得到預(yù)定的研磨量，只需定期監(jiān)測研磨臺的研磨速率，再設(shè)定相應(yīng)的控制時(shí)間即可。通常研磨速率會隨著研磨的運(yùn)行逐漸減小，因此最后的研磨量肯定是波動(dòng)的、不精確的。且長形條在其長度方向并未均勻地被壓緊，因而在其長度方向位置會產(chǎn)生研磨量的偏差。因而存在制造出未形成設(shè)計(jì)MR元件高度或狹道高度的磁頭、磁頭讀寫性能下降、成品率下降等問題。
[0009]因此，亟待一種長形條研磨用夾具、研磨裝置以及研磨方法，以克服上述缺陷。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種長形條研磨用夾具，所述夾具可實(shí)時(shí)監(jiān)測長形條讀寫元件的電阻且可根據(jù)該電阻校正長形條的彎曲度。
[0011]本發(fā)明的另一目的在于提供一種長形條的研磨裝置，所述研磨裝置可實(shí)時(shí)監(jiān)測長形條讀寫元件的電阻且可根據(jù)該電阻校正長形條的彎曲度。
[0012]本發(fā)明的又一目的在于提供一種長形條的研磨方法，所述研磨方法可實(shí)時(shí)監(jiān)測長形條讀寫元件的電阻且可根據(jù)該電阻校正長形條的彎曲度。
[0013]為達(dá)到以上目的，本發(fā)明提供一種長形條研磨用夾具，安裝于一研磨臺上，包括用于夾持長形條的夾具本體以及設(shè)置于所述夾具本體上的檢測單元及校正單元，所述檢測單元與所述長形條的讀寫元件相連以實(shí)時(shí)檢測所述讀寫元件的電阻，所述校正單元用于根據(jù)所述電阻校正所述長形條的彎曲度。
[0014]具體地，所述長形條的讀寫元件在其內(nèi)部通過傳感器與所述長形條表面的連接觸點(diǎn)電性連接，所述檢測單元包括與所述連接觸點(diǎn)一一接觸的數(shù)根探針，即可測得長形條內(nèi)每一讀寫元件的電阻。
[0015]較佳地，所述校正單元包括作用于所述夾具本體上的第一校正單元及作用于所述長形條上的第二校正單元。所述第一校正單元用于粗調(diào)所述長形條的彎曲度，所述第二校正單元用于細(xì)調(diào)所述長形條的彎曲度。
[0016]具體地，所述第一校正單元包括左右兩施壓部，可左右施壓以調(diào)整所述長形條的傾斜度或彎曲度使所述長形條大致位于一平面上。
[0017]具體地，所述第二校正單元包括若干根推針。較佳地，所述推針的數(shù)量與所述長形條的磁頭的數(shù)量相等?？筛鶕?jù)每一讀寫元件的電阻作用一不同的力于所述長形條的相應(yīng)位置。
[0018]較佳地，在所述長形條與所述第二校正單元之間設(shè)有一保護(hù)部，防止所述第二校正單元或所述推針損壞所述長形條。
[0019]本發(fā)明的長形條的研磨裝置，包括夾具、用于研磨長形條的研磨臺以及控制系統(tǒng)，所述夾具包括用于夾持長形條的夾具本體以及設(shè)置于所述夾具本體上的檢測單元及校正單元，所述檢測單元與所述長形條的讀寫元件相連以實(shí)時(shí)檢測所述讀寫元件的電阻，所述校正單元用于根據(jù)所述電阻校正所述長形條的彎曲度，所述研磨臺位于所述夾具本體之下，所述控制系統(tǒng)可根據(jù)所述電阻控制所述研磨臺研磨或停止研磨所述長形條。
[0020]本發(fā)明的長形條的研磨方法，包括以下步驟:
[0021](I)提供一夾具；
[0022]( 2 )粘接所述長形條至所述夾具本體上；
[0023](3)研磨所述長形條，實(shí)時(shí)檢測所述長形條的讀寫元件的電阻，并根據(jù)所述電阻校正所述長形條的彎曲度，直至所述電阻符合預(yù)設(shè)值停止研磨。
[0024]具體地，所述長形條的讀寫元件在其內(nèi)部通過傳感器與所述長形條表面的連接觸點(diǎn)電性連接，通過數(shù)根探針與所述連接觸點(diǎn)一一接觸而實(shí)時(shí)檢測所述電阻。
[0025]具體地，通過在所述長形條的表面施力而校正所述長形條的彎曲度，所述力的大小根據(jù)所述電阻的大小而調(diào)節(jié)。
[0026]與現(xiàn)有技術(shù)相比，夾具上設(shè)有檢測單元及校正單元，檢測單元與長形條的讀寫元件相連以實(shí)時(shí)檢測讀寫元件的電阻，校正單元用于根據(jù)電阻校正長形條的彎曲度。在研磨過程中，長形條內(nèi)讀寫元件的電阻值隨著研磨的進(jìn)行而增加。而且讀寫元件的電阻值和研磨量成一定關(guān)系，因此一邊通過檢測單元監(jiān)測讀寫元件的電阻值一邊研磨，就能夠間接得知正在被研磨的讀寫元件的研磨量。當(dāng)讀寫元件的研磨量或高度達(dá)到設(shè)計(jì)值時(shí)即停止研磨，精確度高。校正單元根據(jù)讀寫元件的電阻值判斷長形條的彎曲度，并通過施壓使長形條在其長度方向被均勻地壓緊，可防止長形條在其長度方向位置產(chǎn)生研磨量的偏差，使每一讀寫元件都能達(dá)到設(shè)計(jì)值，提高磁頭的成品率及讀寫性能。
[0027]通過以下的描述并結(jié)合附圖，本發(fā)明將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本發(fā)明的實(shí)施例。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1為本發(fā)明長形條的研磨裝置的示意圖。
[0029]圖2為本發(fā)明研磨裝置的夾具本體及檢測單元的仰視圖。
[0030]圖3為本發(fā)明研磨裝置的探針與長形條相接觸時(shí)的局部立體圖。
[0031]圖4為本發(fā)明研磨裝置的夾具的側(cè)視圖。
[0032]圖5為本發(fā)明研磨裝置的夾具的俯視圖。
[0033]圖6展示了本發(fā)明研磨裝置的第一校正單元在研磨初期的施力情況及長形條的彎曲度。
[0034]圖7展示了本發(fā)明研磨裝置的第一校正單元在研磨過程中的施力情況及長形條的彎曲度。
[0035]圖8展示了本發(fā)明研磨裝置的第一校正單元在研磨末期的施力情況及長形條的彎曲度。
[0036]圖9為本發(fā)明長形條的研磨方法的流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0037]下面將參考附圖闡述本發(fā)明幾個(gè)不同的最佳實(shí)施例，其中不同圖中相同的標(biāo)號代表相同的部件。本發(fā)明提供一種長形條研磨用夾具、研磨裝置以及研磨方法，該長形條研磨用夾具、研磨裝置以及研磨方法可實(shí)時(shí)監(jiān)測長形條讀寫元件的電阻且可根據(jù)該電阻校正長形條的彎曲度，可使每一讀寫元件都達(dá)到其設(shè)計(jì)值，提高了磁頭的良品率及讀寫性能。
[0038]如圖1所示，本發(fā)明的長形條的研磨裝置I包括夾具20、用于研磨長形條40的研磨臺10以及控制系統(tǒng)30，夾具20包括用于夾持長形條40的夾具本體22以及設(shè)置于夾具本體22上的檢測單元24及校正單元26，檢測單元24與長形條40的讀寫元件相連以實(shí)時(shí)檢測長形條40的讀寫元件的電阻，校正單元26用于根據(jù)電阻校正長形條40的彎曲度，研磨臺10位于夾具本體22之下，控制系統(tǒng)30可根據(jù)電阻控制研磨臺10研磨或停止研磨長形條40。
[0039]具體地，如圖2?3所示，長形條40的讀寫元件在其內(nèi)部通過傳感器與長形條40表面的連接觸點(diǎn)42電性連接，檢測單元24具有與該連接觸點(diǎn)42 —一接觸的數(shù)根探針242，即相鄰兩探針242的間距與相鄰兩連接觸點(diǎn)42的間距相等，檢測單元24即可測得長形條40內(nèi)每一讀寫元件的電阻值。更具體的，檢測單元24設(shè)置于夾具本體22上，在研磨過程中，檢測單元24相對于夾具本體22不改變位置。較佳地，檢測單元24通過夾緊的方式連接至夾具本體22上，方便檢測單元24的安裝和拆卸。探針242可伸縮的設(shè)置于檢測單元24上，即探針242可選擇地接觸或脫離長形條40的連接觸點(diǎn)42，方便長形條40的更換。檢測單元24與控制系統(tǒng)30電性連接，測得的電阻值傳輸給控制系統(tǒng)30，控制系統(tǒng)30根據(jù)該電阻值控制研磨臺10及校正單元26的運(yùn)行。
[0040]如圖4?5所示，校正單元26包括作用于夾具本體22上的第一校正單元262及作用于長形條40上的第二校正單元264。第一校正單元262用于粗調(diào)長形條40的彎曲度，第二校正單元264用于微調(diào)長形條40的彎曲度。具體地，第一校正單元262包括左右兩施壓部2622、2624，分別可施加第一平衡力及第二平衡力以調(diào)整長形條40的彎曲度及傾斜度使長形條40大致位于一平面上。如圖6?8所示，圖中的擬合曲線是根據(jù)各讀寫元件的電阻值而擬合的長形條40的彎曲曲線，參見圖6，研磨剛進(jìn)行時(shí)，長形條40的彎曲度較大，傾斜角度(傾斜線與平均線的夾角)也較大。第一校正單元262施加兩大小不一的平衡力，如圖7所示，隨著研磨的繼續(xù)，長形條40的彎曲度和傾斜角度逐漸減小，直至長形條40的高度達(dá)到第一目標(biāo)值，如圖8所示，此時(shí)的長形條40已大致位于一平面上。然后，使用第二校正單元264對長形條40進(jìn)行微調(diào)。具體地，參見圖4?5,第二校正單元264包括若干根推針2642。較佳地，推針2642的數(shù)量與長形條40的磁頭的數(shù)量相等。第二校正單元264可根據(jù)每一讀寫元件的電阻值作用一不同的力于長形條40的相應(yīng)位置，使每一讀寫元件都達(dá)到其設(shè)計(jì)值(如圖6?8所示)。較佳地，在長形條40與推針2642之間設(shè)一保護(hù)部44，防止推針2642損壞長形條40。該保護(hù)部44可由橡膠材料制得。
[0041]當(dāng)使用研磨裝置I研磨長形條40時(shí)，使檢測單元24的探針242與長形條40的連接觸點(diǎn)42—一接觸，在研磨的過程中檢測單元24可實(shí)時(shí)監(jiān)測長形條40的讀寫元件的電阻值，即可得讀寫元件的研磨量或高度。且在研磨時(shí)校正單元26根據(jù)各讀寫元件的電阻值對長形條40的彎曲度進(jìn)行校正，使長形條40的各讀寫元件均排列于一水平面上。當(dāng)各讀寫元件的研磨量或高度達(dá)到設(shè)計(jì)值時(shí)即停止研磨，精確度高，且長形條40在其長度方向位置沒有產(chǎn)生研磨量的偏差，使每一讀寫元件都能達(dá)到設(shè)計(jì)值，提高磁頭的成品率及讀寫性能。
[0042]本發(fā)明的長形條的研磨方法，如圖9所示，包括以下步驟:
[0043]S901:提供一夾具；
[0044]S902:粘接長形條至夾具本體上；
[0045]S903:研磨長形條，實(shí)時(shí)檢測長形條的讀寫元件的電阻，并根據(jù)電阻校正長形條的彎曲度，直至所述電阻符合設(shè)計(jì)值停止研磨。
[0046]具體地，長形條的讀寫元件在其內(nèi)部通過傳感器與長形條表面的連接觸點(diǎn)電性連接，通過數(shù)根探針與連接觸點(diǎn)一一接觸而實(shí)時(shí)檢測上述電阻，即可測得長形條內(nèi)每一讀寫元件的電阻。
[0047]較佳地，通過在所述長形條的表面施力而校正所述長形條的彎曲度，所述力的大小根據(jù)所述電阻的大小而調(diào)節(jié)。
[0048]由于夾具上設(shè)有檢測單元及校正單元，檢測單元與長形條的讀寫元件相連以實(shí)時(shí)檢測讀寫元件的電阻，校正單元用于根據(jù)電阻校正長形條的彎曲度。在研磨過程中，長形條內(nèi)讀寫元件的電阻值隨著研磨的進(jìn)行而增加。而且讀寫元件的電阻值和研磨量成一定關(guān)系，因此一邊通過檢測單元監(jiān)測讀寫元件的電阻值一邊研磨，就能夠間接得知正在被研磨的讀寫元件的研磨量。當(dāng)讀寫元件的研磨量或高度達(dá)到設(shè)計(jì)值時(shí)即停止研磨，精確度高。校正單元根據(jù)讀寫元件的電阻值判斷長形條的彎曲度，并通過施壓使長形條在其長度方向被均勻地壓緊，可防止長形條在其長度方向位置產(chǎn)生研磨量的偏差，使每一讀寫元件都能達(dá)到設(shè)計(jì)值，提高磁頭的成品率及讀寫性能。
[0049]以上所揭露的僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種長形條研磨用夾具，安裝于一研磨臺上，其特征在于，包括: 夾具本體，用于夾持長形條； 設(shè)置于所述夾具本體上的檢測單元及校正單元，所述檢測單元與所述長形條的讀寫元件相連以實(shí)時(shí)檢測所述讀寫元件的電阻，所述校正單元用于根據(jù)所述電阻校正所述長形條的彎曲度。
2.如權(quán)利要求1所述的長形條研磨用夾具，其特征在于:所述長形條的讀寫元件在其內(nèi)部通過傳感器與所述長形條表面的連接觸點(diǎn)電性連接，所述檢測單元包括與所述連接觸點(diǎn)--接觸的數(shù)根探針。
3.如權(quán)利要求1所述的長形條研磨用夾具，其特征在于:所述校正單元包括作用于所述夾具本體上的第一校正單元及作用于所述長形條上的第二校正單元。
4.如權(quán)利要求3所述的長形條研磨用夾具，其特征在于:所述第一校正單元包括左右兩施壓部。
5.如權(quán)利要求3所述的長形條研磨用夾具，其特征在于:所述第二校正單元包括若干根推針，所述推針的數(shù)量與所述長形條上的磁頭數(shù)量一致。
6.如權(quán)利要求3所述的長形條研磨用夾具，其特征在于:在所述長形條與所述第二校正單元之間設(shè)有一保護(hù)部。
7.一種長形條的 研磨裝置，包括: 夾具，包括用于夾持長形條的夾具本體以及設(shè)置于所述夾具本體上的檢測單元及校正單元，所述檢測單元與所述長形條的讀寫元件相連以實(shí)時(shí)檢測所述讀寫元件的電阻，所述校正單元用于根據(jù)所述電阻校正所述長形條的彎曲度； 位于所述夾具本體之下的研磨臺，用于研磨所述長形條；以及 控制系統(tǒng)，根據(jù)所述電阻控制所述研磨臺研磨或停止研磨所述長形條。
8.如權(quán)利要求7所述的長形條的研磨裝置，其特征在于:所述夾具如權(quán)利要求2-6任一項(xiàng)所述。
9.一種長形條的研磨方法，包括以下步驟: 提供一夾具； 粘接所述長形條至所述夾具本體上； 研磨所述長形條，實(shí)時(shí)檢測所述長形條的讀寫元件的電阻，并根據(jù)所述電阻校正所述長形條的彎曲度，直至所述電阻符合設(shè)計(jì)值停止研磨。
10.如權(quán)利要求9所述的長形條的研磨方法，其特征在于:所述長形條的讀寫元件在其內(nèi)部通過傳感器與所述長形條表面的連接觸點(diǎn)電性連接，通過數(shù)根探針與所述連接觸點(diǎn)一一接觸而實(shí)時(shí)檢測所述電阻。
11.如權(quán)利要求9所述的長形條的研磨方法，其特征在于:通過在所述長形條的表面施力而校正所述長形條的彎曲度，所述力的大小根據(jù)所述電阻的大小而調(diào)節(jié)。
【文檔編號】B24B37/005GK104070448SQ201310104913
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2013年3月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月28日
【發(fā)明者】祁延剛 申請人:新科實(shí)業(yè)有限公司