用于真空處理設(shè)備的旋轉(zhuǎn)臺滑架的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一個真空處理設(shè)備，具有旋轉(zhuǎn)臺滑架，其中旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置設(shè)置在那個壁體上，該壁體位于真空處理設(shè)備的門對面。由此保證沒有其它機(jī)構(gòu)地連接旋轉(zhuǎn)臺滑架的旋轉(zhuǎn)臺到旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置上。
【專利說明】用于真空處理設(shè)備的旋轉(zhuǎn)臺滑架
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一個真空處理設(shè)備，具有工件支架，其中該工件支架設(shè)計(jì)成這樣的旋轉(zhuǎn)臺，使要被處理的工件在處理過程期間在處理源旁邊經(jīng)過，通過使旋轉(zhuǎn)臺圍繞其軸線旋轉(zhuǎn)。在此將工件這樣裝配在旋轉(zhuǎn)臺上，使它們在旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)時執(zhí)行一次旋轉(zhuǎn)或多次旋轉(zhuǎn)、即例如兩次或三次旋轉(zhuǎn)。按照現(xiàn)有技術(shù)旋轉(zhuǎn)臺一般通過其中心軸驅(qū)動。
【背景技術(shù)】
[0002]在真空處理設(shè)備中處理工件之前必需使工件支架配有工件。在處理之后必需從工件支架中取出工件。這可以直接在真空處理設(shè)備上進(jìn)行。但是為了簡化工件的安裝和取出已知，使旋轉(zhuǎn)臺這樣裝配在真空室里面，為了安裝工件和取出處理的工件可以從真空室中整體取出旋轉(zhuǎn)臺。這例如通過裝卸機(jī)實(shí)現(xiàn)。
[0003]按照另一專業(yè)人員公知的方案，使旋轉(zhuǎn)臺定位在具有輪子的底座上，可以由一個移動靠近真空處理設(shè)備的移動車將旋轉(zhuǎn)臺推到真空處理設(shè)備里面。下面將這種配有輪子的旋轉(zhuǎn)臺稱為旋轉(zhuǎn)臺滑架。在真空處理設(shè)備里面固定旋轉(zhuǎn)臺滑架的底座并且使中心驅(qū)動裝置連接在旋轉(zhuǎn)臺的軸上。在此缺陷是，為此需要復(fù)雜的連接機(jī)構(gòu)，因?yàn)橐环矫鏋榱藢⑿D(zhuǎn)臺推入到真空處理設(shè)備里面驅(qū)動裝置不能位于路徑上，另一方面為了驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臺必需將驅(qū)動裝置嵌入到旋轉(zhuǎn)臺的中心軸里面。要考慮的是，整個機(jī)構(gòu)必需以適合于真空的形式構(gòu)成。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]因此期望提供一個裝置供使用，通過它能夠簡單地連接旋轉(zhuǎn)臺到旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置上。這是本發(fā)明的目的。
[0005]按照本發(fā)明這·個目的由此實(shí)現(xiàn)，對于旋轉(zhuǎn)臺不選擇中心的驅(qū)動裝置，而是選擇通過其周邊或者說通過旋轉(zhuǎn)臺圓周的驅(qū)動裝置。按照本發(fā)明在面對真空處理設(shè)備開孔的對面一側(cè)上設(shè)有驅(qū)動裝置，并且包括例如一齒輪，在旋轉(zhuǎn)臺滑架完全插入到真空處理設(shè)備里面以后，該齒輪嚙合到位于旋轉(zhuǎn)臺圓周上的齒環(huán)里面，由此所述齒輪能夠通過齒環(huán)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臺。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]下面借助于示例和附圖詳細(xì)解釋本發(fā)明。
[0007]圖1示出按照本發(fā)明裝置的俯視圖，具有插入的旋轉(zhuǎn)臺滑架和封閉的門，
圖2示出以旋轉(zhuǎn)臺滑架加載的移動車的俯視圖，
圖3示出在圖2中所示的移動車，它移動靠近敞開的真空室，
圖4示出移動到真空室一半路徑上的旋轉(zhuǎn)臺滑架。
【具體實(shí)施方式】
[0008]按照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例在真空室里面設(shè)有軌道，在其上可以滾動地導(dǎo)引車輪。[0009]在圖2中示出移動車203上的旋轉(zhuǎn)臺滑架201。旋轉(zhuǎn)臺滑架201包括旋轉(zhuǎn)臺205和底座207。旋轉(zhuǎn)臺205包括具有外齒環(huán)211的轉(zhuǎn)臺209，通過齒環(huán)可以驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臺205。按照本實(shí)施例旋轉(zhuǎn)臺205還包括齒輪系統(tǒng)213，在其上裝配用于加載工件的工件支架(未示出)。底座207包括輪子215，它們由適合于真空的材料成形。最好由陶瓷材料成形輪子，其結(jié)果是，即使它們有時在覆層過程期間處于材料覆蓋，也能長時間無維護(hù)地滿足其功能。
[0010]在移動車203上設(shè)有兩個軌道217，在其上可以移動旋轉(zhuǎn)臺滑架的輪子215。兩個軌道分別通過合頁219中斷，由此使它們可以向上翻起。在這樣產(chǎn)生的翻起上最好設(shè)有用于操縱翻起的把手221。在軌道217的另一端上設(shè)有移動車止擋225。在移動車上此外設(shè)有輪子223，使這個移動車203以簡單的方式和方法可以移動到真空室。這在圖3中示出。為了更清晰，省去一些移動車201和旋轉(zhuǎn)臺滑架203的附圖標(biāo)記。在圖3中所示的真空室303以敞開的門305示出。移動車201這樣推到真空室303附近，在向下翻時使軌道端部連接在位于真空室里面的對應(yīng)體、即真空室軌道307上，由此使旋轉(zhuǎn)臺滑架201可以移動到真空室303里面。在圖4中示出相應(yīng)的“駛?cè)搿?。在真空室軌道上設(shè)有后端的止擋309和前端的止擋311。前端的止擋311可擺動地構(gòu)成，它們在移動車203移動靠近敞開的真空室303時并且在旋轉(zhuǎn)臺滑架201進(jìn)入到真空室303里面時不會閉鎖路徑。如果旋轉(zhuǎn)臺滑架201完全移動到真空室303里面，則旋轉(zhuǎn)臺滑架的外部齒環(huán)211嚙合在位于門305對面的壁體里面的旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置101的齒環(huán)103里面。止擋309負(fù)責(zé)，使旋轉(zhuǎn)臺滑架102的齒環(huán)103與旋轉(zhuǎn)臺205的齒環(huán)211不太多地相互嚙合。為了關(guān)閉真空室303現(xiàn)在使前端的止擋311旋轉(zhuǎn)并且關(guān)閉門305。在門305關(guān)閉時門在前端止擋311上的壓力負(fù)責(zé)，使前端止擋頂壓旋轉(zhuǎn)臺滑架，由此使旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置101的齒環(huán)103與旋轉(zhuǎn)臺205的齒環(huán)211足夠多地相互嚙合。即，按照這個實(shí)施例門305、前端止擋311、旋轉(zhuǎn)臺滑架201、后端止擋309的交互作用負(fù)責(zé)旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置101的齒環(huán)103與旋轉(zhuǎn)臺205的齒環(huán)211的最佳功能連接，用于可以驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臺。
[0011]現(xiàn)在可以抽吸真空處理設(shè)備的真空室303，接通旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置101并且執(zhí)行真空處理步驟。
[0012]該真空處理設(shè)備例如 可以是覆層設(shè)備。這例如可以是物理和/或化學(xué)的氣相淀積設(shè)備(PVD和/或CVD)。但是也可以(可能附加地)是腐蝕設(shè)備，例如用于清潔和/或激活表面。通過本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比明顯簡化在處理過程之前和之后的裝載和卸載。特別有利的實(shí)施例是，使旋轉(zhuǎn)臺和旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置以簡單的方式并且沒有附加機(jī)構(gòu)地相互連接。
【權(quán)利要求】
1.一種真空處理設(shè)備，具有真空室(303)和帶有旋轉(zhuǎn)臺(205)的旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)，其中所述真空室(303)具有門(305)和旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置(101)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置(101)是圓周驅(qū)動，它在門(305)對面的真空室(303)的壁體上和/或壁體附近位于壁體里面。
2.如權(quán)利要求1所述的真空處理設(shè)備，其特征在于，在真空室里面設(shè)有至少一后端止擋(309)和至少一前端止擋(311)，它們負(fù)責(zé)，在旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)完全插入到真空室(303)里面和門(305)關(guān)閉時使旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置(101)與旋轉(zhuǎn)臺(205)準(zhǔn)備驅(qū)動地功能連接。
3.如權(quán)利要求2所述的真空處理設(shè)備，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置(101)包括齒環(huán)(103)，并且所述旋轉(zhuǎn)臺(205)包括外部的齒環(huán)(207)，在旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)完全插入到真空室(303)里面和門(305)關(guān)閉時使旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置的齒環(huán)(103)嚙合到旋轉(zhuǎn)臺(205)的外部齒環(huán)(207)里面。
4.如權(quán)利要求2或3所述的真空處理設(shè)備，其特征在于，至少一前端止擋(311)活動地、最好可擺動地構(gòu)成，它在旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)導(dǎo)入時可以從路徑中轉(zhuǎn)出來并且在關(guān)閉門(305)時至少一前端止擋(311)可以定位在門(305)與旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)之間，由此使旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)固定在真空室(303)里面。
5.一種用于在真空處理設(shè)備里面處理工件的方法，具有步驟: -使配有工件支架的旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)安裝要處理的工件， -定位配有工件支架的旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)在移動車(203)的軌道上， -使以旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)和要處理的工件加載的移動車(203)移動靠近敞開了的門(305)的真空處理設(shè)備， -將旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)插入到真空處理`設(shè)備里面， -關(guān)閉真空處理設(shè)備，泵浦真空室并執(zhí)行真空處理步驟， 其特征在于，在關(guān)閉真空處理設(shè)備時利用位于真空處理設(shè)備里面的止擋(309，311)固定旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)，使旋轉(zhuǎn)臺滑架(201)的旋轉(zhuǎn)臺(205)與在真空處理設(shè)備中位于門(305)對面壁體上和/或壁體附近的旋轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置(101)功能連接。
【文檔編號】C23C14/50GK103797154SQ201280045556
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2012年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2011年9月19日
【發(fā)明者】J.格韋亨貝格爾 申請人:歐瑞康貿(mào)易股份公司(特呂巴赫)