電控差分抽氣真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于真空設(shè)備領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種電控差分抽氣真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]真空技術(shù)是制備與測(cè)試新材料、模擬空間實(shí)驗(yàn)環(huán)境的關(guān)鍵技術(shù)。在真空環(huán)境中往往需要旋轉(zhuǎn)樣品甚至旋轉(zhuǎn)整套大負(fù)載真空系統(tǒng)，同時(shí)要保證不會(huì)破壞真空環(huán)境。旋轉(zhuǎn)臺(tái)一般安裝在真空環(huán)境和大氣之間，旋轉(zhuǎn)部分在真空環(huán)境中，而旋轉(zhuǎn)臺(tái)成為真空漏氣的位置，容易導(dǎo)致真空環(huán)境遭到破壞。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型提供一種電控差分抽氣真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷。
[0004]本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):
[0005]電控差分抽氣真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)，包括底座，底座上設(shè)置旋轉(zhuǎn)座，旋轉(zhuǎn)座與底座之間設(shè)置軸承，軸承由軸承內(nèi)圈和軸承外圈組成，軸承內(nèi)圈和軸承外圈之間形成空腔，底座上開(kāi)設(shè)導(dǎo)氣孔，導(dǎo)氣孔一端連接空腔，導(dǎo)氣孔的另一端連接抽氣泵；旋轉(zhuǎn)座側(cè)邊設(shè)置蝸輪，蝸輪的一側(cè)配合設(shè)置蝸桿，蝸桿的一端連接電機(jī)；旋轉(zhuǎn)座與底座之間設(shè)置密封橡膠圈。
[0006]如上所述的電控差分抽氣真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述的密封橡膠圈由內(nèi)密封橡膠圈和外密封橡膠圈組成，導(dǎo)氣孔的端部位于內(nèi)密封橡膠圈和外密封橡膠圈之間。
[0007]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)臺(tái)和軸承的軸承內(nèi)圈位于真空環(huán)境中，通過(guò)密封橡膠圈進(jìn)行密封，使用過(guò)程抽氣泵中不斷進(jìn)行抽真空處理，可以保持真空環(huán)境中的真空度。
【附圖說(shuō)明】
[0008]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0009]圖1是本實(shí)用新型立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]附圖標(biāo)記電機(jī)2蝸桿3蝸輪4旋轉(zhuǎn)座5抽氣泵6軸承外圈7底座8軸承內(nèi)圈9導(dǎo)氣孔10內(nèi)密封橡膠圈11外密封橡膠圈。
【具體實(shí)施方式】
[0011]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0012]電控差分抽氣真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)，如圖1、圖和圖3所示，包括底座7，底座7上設(shè)置旋轉(zhuǎn)座4，旋轉(zhuǎn)座4與底座7之間設(shè)置軸承，軸承由軸承內(nèi)圈8和軸承外圈6組成，軸承內(nèi)圈8和軸承外圈6之間形成空腔，底座7上開(kāi)設(shè)導(dǎo)氣孔9，導(dǎo)氣孔9 一端連接空腔，導(dǎo)氣孔9的另一端連接抽氣泵5 ;旋轉(zhuǎn)座4側(cè)邊設(shè)置蝸輪3，蝸輪3的一側(cè)配合設(shè)置蝸桿2，蝸桿2的一端連接電機(jī)I ;旋轉(zhuǎn)座4與底座7之間設(shè)置密封橡膠圈。電機(jī)I帶動(dòng)蝸桿2轉(zhuǎn)動(dòng)，蝸桿2與旋轉(zhuǎn)座4的蝸輪3配合，帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)座4轉(zhuǎn)動(dòng)。旋轉(zhuǎn)過(guò)程中抽氣泵5中不斷進(jìn)行抽真空處理，可以保持真空環(huán)境中的真空度。
[0013]具體而言，所述的密封橡膠圈由內(nèi)密封橡膠圈10和外密封橡膠圈11組成，導(dǎo)氣孔9的端部位于內(nèi)密封橡膠圈10和外密封橡膠圈11之間。采用內(nèi)密封橡膠圈10和外密封橡膠圈11，及時(shí)漏氣也可以采取多級(jí)密封。抽氣泵5排除因旋轉(zhuǎn)引入的少量氣體，內(nèi)密封橡膠圈10和外密封橡膠圈11之間形成一個(gè)緩沖區(qū)，從面維持本實(shí)用新型內(nèi)部高真空。采用小步距角0.9度電機(jī)和小導(dǎo)程Imm蝸桿，可達(dá)到旋轉(zhuǎn)精度0.01度。
[0014]本實(shí)用新型不僅可對(duì)真空系統(tǒng)內(nèi)操作對(duì)象，也可對(duì)整套大負(fù)載真空系統(tǒng)進(jìn)行精密旋轉(zhuǎn)控制。
[0015]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.電控差分抽氣真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于:包括底座(7)，底座(7)上設(shè)置旋轉(zhuǎn)座(4)，旋轉(zhuǎn)座(4)與底座(7)之間設(shè)置軸承，軸承由軸承內(nèi)圈(8)和軸承外圈(6)組成，軸承內(nèi)圈(8)和軸承外圈(6)之間形成空腔，底座(7)上開(kāi)設(shè)導(dǎo)氣孔(9)，導(dǎo)氣孔(9) 一端連接空腔，導(dǎo)氣孔(9)的另一端連接抽氣泵(5);旋轉(zhuǎn)座(4)側(cè)邊設(shè)置蝸輪(3)，蝸輪(3)的一側(cè)配合設(shè)置蝸桿(2)，蝸桿(2)的一端連接電機(jī)(I);旋轉(zhuǎn)座(4)與底座(7)之間設(shè)置密封橡膠圈。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電控差分抽氣真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于:所述的密封橡膠圈由內(nèi)密封橡膠圈(10)和外密封橡膠圈(11)組成，導(dǎo)氣孔(9)的端部位于內(nèi)密封橡膠圈(10)和外密封橡膠圈(11)之間。
【專(zhuān)利摘要】電控差分抽氣真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)，包括底座，底座上設(shè)置旋轉(zhuǎn)座，旋轉(zhuǎn)座與底座之間設(shè)置軸承，軸承由軸承內(nèi)圈和軸承外圈組成，軸承內(nèi)圈和軸承外圈之間形成空腔，底座上開(kāi)設(shè)導(dǎo)氣孔，導(dǎo)氣孔一端連接空腔，導(dǎo)氣孔的另一端連接抽氣口；旋轉(zhuǎn)座側(cè)邊設(shè)置蝸輪，蝸輪的一側(cè)配合設(shè)置蝸桿，蝸桿的一端連接電機(jī)；旋轉(zhuǎn)座與底座之間設(shè)置密封橡膠圈。本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)臺(tái)的內(nèi)部位于高真空環(huán)境中，外部為大氣環(huán)境，通過(guò)密封橡膠圈進(jìn)行密封，使用過(guò)程抽氣口接連抽氣泵不斷進(jìn)行抽真空處理，在旋轉(zhuǎn)臺(tái)內(nèi)部與外部之間形成一個(gè)持續(xù)抽氣的緩沖區(qū)，可以保持旋轉(zhuǎn)臺(tái)內(nèi)部的高真空度。
【IPC分類(lèi)】F16M11-08, F16J15-18
【公開(kāi)號(hào)】CN204345185
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420697096
【發(fā)明人】劉海云
【申請(qǐng)人】劉海云
【公開(kāi)日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2014年11月19日