專利名稱：一種大尺寸oled蒸鍍用掩模板組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子印刷領(lǐng)域，尤其涉及一種大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件。
背景技術(shù)：
由于有機電致發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode,0LED)由于同時具備自發(fā)光，不需背光源、對比度高、厚度薄、視角廣、反應(yīng)速度快、可用于撓曲性面板、使用溫度范圍廣、構(gòu)造及制程較簡單等優(yōu)異之特性，被認(rèn)為是下一代的平面顯示器新興應(yīng)用技術(shù)。OLED生產(chǎn)過程中最重要的一環(huán)節(jié)是將有機層按照驅(qū)動矩陣的要求敷涂到基層上，形成關(guān)鍵的發(fā)光顯示單元。OLED是一種固體材料，其高精度涂覆技術(shù)的發(fā)展是制約OLED產(chǎn)品化的關(guān)鍵。目前完成這一工作，主要采用真空沉積或真空熱蒸發(fā)(VTE)的方法，其是將位于真空腔體內(nèi)的有機物分子輕微加熱(蒸發(fā))，使得這些分子以薄膜的形式凝聚在溫度較低的基層上。在這一過程中需要與OLED發(fā)光顯示單元精度相適應(yīng)的高精密掩模板作為媒介。掩模板由掩模部及掩模外框構(gòu)成，圖1所示是傳統(tǒng)小尺寸掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖，其包括一體成型的掩模部11及用于固定一體成型掩模部11的掩模外框12。在實際應(yīng)用領(lǐng)域中，人們希望制作出更大尺寸的掩模板，從而滿足量產(chǎn)及大尺寸OLED顯示屏的制造需求，但制作大尺寸掩模板會存在以下問題:大面幅的掩模部由于本身的重量會出現(xiàn)嚴(yán)重的下垂現(xiàn)象。為解決這一問題，人們將掩模部設(shè)計成多個掩模單元組裝而成，如圖2所示，掩模部是由若干個掩模單元20構(gòu)成，掩模單元通過兩端200固定掩模外框上，由于掩模單元是通過兩端固定的方式固定，一旦相鄰兩掩模部固定過程出現(xiàn)偏差，則相互之間極易產(chǎn)生一定的位直偏移，從而在OLED廣品的良率上難以進(jìn)一步提聞。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷中的至少一個。本發(fā)明提供了一種復(fù)合掩模板。所述一種大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，包括掩模外框、掩模部以及支撐部，其中，所述掩模部與和固定在所述掩模外框的所述支撐部連接；所述支撐部包括N大于等于2個支撐部單元；所述支撐部單元由所述支撐條構(gòu)成，所述掩模部上有掩模開口，所述支撐部單元不會遮擋所述掩模開口，所述掩模開口構(gòu)成所述掩模部上的掩模圖案區(qū)。根據(jù)本專利背景技術(shù)中對現(xiàn)有技術(shù)所述，若制作大尺寸掩模板，其金屬型的掩模主體會具有較大的線性質(zhì)量，從而會導(dǎo)致掩模主體板面產(chǎn)生下垂，而根據(jù)本發(fā)明提供的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，掩模部貼合在支持部上，而支撐部可以先進(jìn)行精確定位，再將掩模部貼合在支撐部之上，如此可以對下垂的掩模主體提供直接貼合的支撐力，降低或彌補掩模主體板面產(chǎn)生下垂的情況，并避免了本專利背景技術(shù)中對現(xiàn)有由多個掩模單元組裝而成的掩模部出現(xiàn)的問題，如圖2所示，即掩模單元是通過兩端固定的方式固定，一旦相鄰兩掩模部固定過程出現(xiàn)偏差，則相互之間極易產(chǎn)生一定的位置偏移，從而在OLED產(chǎn)品的良率上難以進(jìn)一步提高，本專利提供的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件能有效的改善產(chǎn)品的精度、質(zhì)量，并提聞良品率。另外，根據(jù)本發(fā)明公開的復(fù)合掩模板的還具有如下附加技術(shù)特征:根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述掩模部至少有一個掩模圖案區(qū)。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述掩模部上任一所述掩模開口置于所述支撐部中相鄰的兩個所述支撐條之間，相鄰的所述支撐條的間距是所述掩模開口間距的M倍，所述M大于等于I且為正整數(shù)。根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述支撐條均勻排布。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述支撐部采用具有磁性能的合金材料結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述支撐部采用因瓦合金材料結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述掩模部采用耐磨、耐高溫、耐酸堿且與所述支撐層之間有良好附著力的材料結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述掩模部采用性能穩(wěn)定的聚合高分子材料結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述支撐部厚度大于等于20 μ m，小于等于60 μ m。根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述支撐部厚度為20μπι或30μπι或40μπι或50μπι或 60μ 。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述掩模部厚度大于等于2 μ m，小于等于20 μ m。根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述掩模部厚度為2μπι或6μπι或10或14μπι或18μπι或 20 μ m。`根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述掩模部厚度為6 μ m，所述支撐部厚度為30 μ m。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述掩模開口間距大于等于30 μ m小于等于200 μ m。優(yōu)選地，所述掩模開口間距大于等于50 μ m小于等于100 μ m。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述掩模開口間距為75 μ m。根據(jù)本發(fā)明的實施例，構(gòu)成所述支撐部相鄰所述支撐部單元之間可以貼合或者存在一定的支撐部單元間距。優(yōu)選地，其特征在于，所述支撐部單元間距是所述掩模開口間距的m倍，m為不小于零的整數(shù)。根據(jù)本發(fā)明提供的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，所述支撐部可以支撐起所述掩模部，所述支撐部固定在掩?？蚣苌?，而所述掩模部固定在所述支撐部上，使得所述掩模部相互之間位置確定，如此相對彌補，可以制作滿足高精度，大尺寸OLED屏蒸鍍用的掩模板。相對于傳統(tǒng)掩模板,可以制作更高PPI (即Pixels per inch所表示的是每英寸所擁有的像素(Pixel)數(shù)目)的OLED顯示屏(復(fù)合掩模板主體上每英寸所擁有的開口數(shù)量與OLED顯示屏的PPI相對應(yīng))。例如:傳統(tǒng)掩模板的開口中心間距為150um時，其對應(yīng)的PPI=2.54cm/150um 169 ;而當(dāng)本發(fā)明中兩條構(gòu)成掩模支撐部的支撐條3220的中心間距dl為150um時(如圖6)，大尺寸OLED蒸鍍用掩模板主體的實際PPI為PPI=2.54cm/d3=2.54cm/75um ^ 339，由此制得的OLED屏亦為339PPI，如此將超越人眼所能看到的極限300PPI。傳統(tǒng)掩模板的構(gòu)成材質(zhì)為金屬合金，本發(fā)明中將金屬合金材料作為支撐層，其上與掩模圖案對應(yīng)的區(qū)域與傳統(tǒng)掩模板相比，內(nèi)部金屬材料大量減少，雖然增加有機材料構(gòu)成的掩模層，但其質(zhì)量相對較輕，從而使得復(fù)合掩模板的總體質(zhì)量減少。在以相同的張力將復(fù)合掩模板固定在外框上時，復(fù)合掩模板的內(nèi)部下垂量也將會弱化。本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。

本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從
以下結(jié)合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:圖1所示是傳統(tǒng)小尺寸掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2所示是若干個掩模單元構(gòu)成的掩模部示意圖；圖3所示是本發(fā)明所述大尺寸OLED蒸鍍用掩模板的正面示意圖，圖4對應(yīng)圖3中A-A方向的截面示意圖，圖5為本發(fā)明所述大尺寸OLED蒸鍍用掩模板的反面示意圖；圖6為圖5中50放大的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，圖1中，11為掩模部，12為用于固定一體成型掩模部11的掩模外框；圖2中，20為掩模單元，200為掩模單元的兩端；圖3中，30為掩模外框、31為掩模部，；圖4中，32為支撐部，320為支撐部單元，hi為掩模部厚度，h2為支撐部厚度；[0041 ] 圖4中，50為待放大部分；圖6中，3200為支撐條，310為掩模開口，dl為支撐條間距，d2為支撐單元間距，d3為掩模開口間距。
具體實施方式
下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“底”、“頂”、“前”、“后”、“內(nèi)”、“外”、“橫”、“豎”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“聯(lián)接”、“連通”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思如下，由于現(xiàn)有掩?？嚲W(wǎng)技術(shù)中在生產(chǎn)大尺寸面板會出現(xiàn)大尺寸掩模板下垂的問題，當(dāng)尺寸越大，對產(chǎn)品的精度、質(zhì)量都會造成很大影響，同時降低良品率。本發(fā)明提供的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件通過對大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件中的掩模層進(jìn)行材料結(jié)構(gòu)上的改進(jìn)，減少其原有的支撐功能，僅具有圖案功能，加設(shè)單獨的支撐部以增加大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件的整體剛度，將掩模部和支撐部的材料使用整體更加輕便的材料，使其整體重量減輕，也減緩了大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件可能的下垂量，同時在精確固定支撐部之后貼合上掩模部，使其定位更加精確，從而使制造更大尺寸面板更加容易實現(xiàn)。下面將參照附圖來描述本發(fā)明的掩?？蚣芗捌鋵?yīng)的掩模組件，其中圖1所示是傳統(tǒng)小尺寸掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2所示是若干個掩模單元構(gòu)成的掩模部示意圖；圖3所示是本發(fā)明所述大尺寸OLED蒸鍍用掩模板的正面示意圖，圖5為本發(fā)明所述大尺寸OLED蒸鍍用掩模板的反面示意圖。根據(jù)本發(fā)明的實施例，一種大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，如圖3-圖6所示，所述一種大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，包括掩模外框30、掩模部31以及支撐部32，其中，所述掩模部31與和固定在所述掩模外框30的所述支撐部32連接；所述支撐部32包括N大于等于2個支撐部單元320 ;所述支撐部單元320由所述支撐條3200構(gòu)成，所述掩模部31上有掩模開口 310，所述支撐部單元320不會遮擋所述掩模開口 310，所述掩模開口 310構(gòu)成所述掩模部上的掩模圖案區(qū)。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述掩模部31至少有一個掩模圖案區(qū)。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述掩模部31上任一所述掩模開口 310置于所述支撐部單元320中相鄰的兩個所述支撐條3200之間，相鄰的所述支撐條間距dl是所述掩模開口間距d3的M倍，所述M大于等于I且為正整數(shù)，如圖6所示。根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述支撐條3200均勻排布。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述支撐部32采用具有磁性能的合金材料結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述支撐部32采用因瓦合金材料結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述掩模部31采用耐磨、耐高溫、耐酸堿且與所述支撐層之間有良好附著力的材料結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述掩模部31采用性能穩(wěn)定的聚合高分子材料結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述支撐部厚度h2大于等于20 μ m,小于等于60 μ m，如圖4所示。根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述支撐部厚度h2為20 μ m或30 μ m或40 μ m或50 μ m或60 μ m,如圖4所示。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述掩模部厚度hi大于等于2 μ m,小于等于20 μ m，如圖4所示。根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述掩模部厚度hi為2μπι或6μπι或10或14μπι或18 μ m或20 μ m,如圖4所示。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述掩模部厚度hi為6 μ m，所述支撐部厚度h2為30 μ m,如圖4所示。根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述掩模開口間距d3大于等于30 μ m小于等于200 μ m,如圖6所示。優(yōu)選地，所述掩模開口間距d3大于等于50 μ m小于等于100 μ m，如圖6所示。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述掩模開口間距d3為75μπι，如圖6所示。根據(jù)本發(fā)明的實施例，構(gòu)成所述支撐部32相鄰所述支撐部單元320之間可以貼合或者存在一定的支撐部單元間距d2，如圖6所示。[0065]優(yōu)選地，其特征在于，所述支撐部單元間距d2是所述掩模開口間距d3的m倍，m為不小于零的整數(shù)，如圖6所示。構(gòu)成支撐部32的支撐部單元320在開口 310矩陣區(qū)域設(shè)置成由支撐條3200構(gòu)成的開口區(qū)域，如圖6所示，構(gòu)成的開口區(qū)域的支撐條3200位置不與掩模部31上的開口 310位置重合，作為優(yōu)選，所述支撐條3200均勻排布，且相鄰兩支撐條3200間的間距dl與掩模部31上相鄰兩列開口 310間的間距d3有如下關(guān)系:dl=n*d3 (n=l，2，3，4……)。進(jìn)一步，如圖6所示，構(gòu)成掩模支撐部相鄰兩支撐部單元之間存在一定的間距，作為優(yōu)選，其間距d2與d3有如下關(guān)系:d2=n*d3 (n=0，l，2，3，4……)。任何提及“ 一個實施例”、“實施例”、“示意性實施例”等意指結(jié)合該實施例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例中。在本說明書各處的該示意性表述不一定指的是相同的實施例。而且，當(dāng)結(jié)合任何實施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點時，所主張的是，結(jié)合其他的實施例實現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點均落在本領(lǐng)域技術(shù)人員的范圍之內(nèi)。盡管參照本發(fā)明的多個示意性實施例對本發(fā)明的具體實施方式
進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計出多種其他的改進(jìn)和實施例，這些改進(jìn)和實施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會脫離本發(fā)明的精神。 除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件,包括掩模外框、掩模部以及掩模支撐部,其特征在于，所述掩模部與和固定在所述掩模外框的所述掩模支撐部連接；所述掩模支撐部包括N大于等于2個支撐部單元；所述支撐部單元由所述支撐條構(gòu)成，所述掩模部上有掩模開口，所述支撐部單元不會遮擋所述掩模開口，所述開口構(gòu)成掩模圖案區(qū)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述掩模部至少有一個掩模圖案區(qū)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述掩模部上任一所述掩模開口置于所述支撐部中相鄰的兩個所述支撐條之間，相鄰的所述支撐條的間距是所述掩模開口間距的M倍，所述M大于等于I且為正整數(shù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述支撐部采用具有磁性能的合金材料結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述支撐部采用因瓦合金材料結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述掩模部采用耐磨、耐高溫、耐酸堿且與所述支撐層之間有良好附著力的材料結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述掩模部采用性能穩(wěn)定的聚合高分子材料結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述支撐部厚度大于等于20 μ m,小于等于60 μ m。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述支撐部厚度為 20 μ m $ 30 μ m $ 40 μ m $ 50 μ m $ 60 μ m。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述掩模部厚度大于等于2 μ m,小于等于20 μ m。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述掩模部厚度為 2μηι 或 6μηι 或 10 或 14μηι 或 18μηι 或 20μηιο
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述掩模開口間距大于等于30 μ m小于等于200 μ m。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述掩模開口間距大于等于50 μ m小于等于100 μ m。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，構(gòu)成所述支撐部相鄰所述支撐部單元之間可以緊密貼合或者存在一定的支撐部單元間距。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述支撐部單元間距是所述掩模開口間距的m倍，m為不小于零的整數(shù)。
專利摘要本實用新型公開了一種大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件，包括掩模外框、掩模部以及支撐部，其中，所述掩模部與和固定在所述掩模外框的所述支撐部連接；所述支撐部包括N大于等于2個支撐部單元；所述支撐部單元由所述支撐條構(gòu)成，所述掩模部上有掩模開口，所述支撐部單元不會遮擋所述掩模開口，所述掩模開口構(gòu)成所述掩模部上的掩模圖案區(qū)。本專利提供的大尺寸OLED蒸鍍用掩模板組件可以解決掩模主體板面產(chǎn)生下垂造成精度下降、良品率低等問題，以及對現(xiàn)有由多個掩模單元組裝而成的掩模部出現(xiàn)的位置錯動問題，有效的改善產(chǎn)品的精度、質(zhì)量，并提高良品率。
文檔編號C23C14/04GK202913044SQ201220454410
公開日2013年5月1日 申請日期2012年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月7日
發(fā)明者魏志凌, 高小平, 張煒平 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司