專利名稱：真空工具鍍膜的陰極電弧裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及真空鍍膜行業(yè)，特別是涉及一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置。
背景技術(shù)：
目前市場真空行業(yè)中真空陰極電弧靶的種類繁多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，一般真空陰極電弧靶裝置采用一個電弧和一個陰極電源，且裝置多采用氣動引弧或電磁引弧，靶材磁場約束采用永磁體，永磁體長時間使用會造成磁性減弱以及失磁，造成輝光減弱不能保證靶材的均勻刻蝕。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其結(jié)構(gòu)簡單，且保證靶材的均勻刻蝕性。·本實用新型是通過下述技術(shù)方案來解決上述技術(shù)問題的一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其特征在于，其包括靶材、輔助陽極、支撐柱、法蘭板、第一密封0型圈、絕緣板、第二密封0型圈、冷水座、螺釘絕緣套、第一內(nèi)六角螺釘、接線座、螺母、第二內(nèi)六角螺釘、水嘴接頭、第一十字盤頭螺釘、電磁線圈、電磁線圈骨架、防護罩、第二十字盤頭螺釘、氣動引弧機構(gòu)、引弧極，靶材與冷水座連接，輔助陽極通過支撐柱固定在法蘭板的一面上，第一密封0型圈位于法蘭板的上方，絕緣板位于第一密封0型圈和第二密封0型圈之間，螺釘絕緣套套在第一內(nèi)六角螺釘上，冷水座通過第一內(nèi)六角螺釘固定在法蘭板的另一面上,接線座的一端位于冷水座上，螺母與第二內(nèi)六角螺釘連接，水嘴接頭位于電磁線圈的一側(cè)，電磁線圈通過第一十字盤頭螺釘與冷水座固定，電磁線圈骨架位于電磁線圈的上方，防護罩通過第二十字盤頭螺釘與電磁線圈骨架固定，引弧極壓緊在氣動引弧機構(gòu)上，引弧極位于靶材的下方。優(yōu)選地，所述絕緣板的直徑大于第一密封0型圈的直徑和第二密封0型圈的直徑。本實用新型的積極進步效果在于本實用新型的結(jié)構(gòu)簡單，維護方便，而且膜層致密性好,耐磨性提高,且保證靶材的均勻刻蝕性。

圖I為本實用新型真空工具鍍膜的陰極電弧裝置的分解示意圖。圖2為本實用新型真空工具鍍膜的陰極電弧裝置的組裝示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖給出本實用新型較佳實施例，以詳細說明本實用新型的技術(shù)方案。如圖I和圖2所示，本實用新型真空工具鍍膜的陰極電弧裝置包括靶材I、輔助陽極2、支撐柱3、法蘭板4、第一密封0型圈5、絕緣板6、第二密封0型圈7、冷水座8、螺釘絕緣套9、第一內(nèi)六角螺釘10、接線座11、螺母12、第二內(nèi)六角螺釘13、水嘴接頭14、第一^h字盤頭螺釘15、電磁線圈16、電磁線圈骨架17、防護罩18、第二十字盤頭螺釘19、氣動引弧機構(gòu)20、引弧極21，靶材I與冷水座8連接，輔助陽極2通過支撐柱3固定在法蘭板4的一面上，第一密封O型圈5位于法蘭板4的上方，絕緣板6位于第一密封O型圈5和第二密封O型圈7之間，螺釘絕緣套9套在第一內(nèi)六角螺釘10上,冷水座8通過第一內(nèi)六角螺釘10固定在法蘭板4的另一面上，接線座11的一端位于冷水座8上，螺母12與第二內(nèi)六角螺釘13連接，水嘴接頭14位于電磁線圈16的一側(cè)，電磁線圈16通過第一十字盤頭螺釘15與冷水座8固定，電磁線圈骨架17位于電磁線圈16的上方,防護罩18通過第二十字盤頭螺釘19與電磁線圈骨架17固定，引弧極21壓緊在氣動引弧機構(gòu)20上，引弧極21位于靶材I的下方。絕緣板6的直徑大于第一密封O型圈5的直徑和第二密封O型圈7的直徑。靶材是高速荷能粒子轟擊的目標材料，靶材與冷水座連接，便于拆裝更換；輔助陽極為了改善被鍍制件表面上的電流分布而使用的附加陽極，輔助陽極與靶材絕緣，與設(shè)備殼體絕緣。冷水座與法蘭板固定擰緊，密封處無氣漏。支撐柱支撐輔助陽極，安裝后保證輔助陽極與靶材的間隙與絕緣性。冷水座用于冷卻靶材溫度及密封圈溫度。電流通過接線座和冷水座后通到靶材上面。采用電磁線圈產(chǎn)生的磁場更好的穩(wěn)定電弧放電，保證靶材的均勻刻蝕。調(diào)整引弧極到靶面間距，引弧時引弧極與靶面接觸良好。靶材非濺射面與冷水座·連接前可以先放一層石墨紙，連接壓緊，要求接觸面貼合，目的是對靶材的冷卻效果更好。需要測試時，在真空狀態(tài)下，引弧極與陰極表面在通斷瞬間引燃電弧放電。離化率高，離子流密度大，離子流能量高，沉積速率快，膜基結(jié)合力好，利用固體靶材，沒有熔池，靶材可以任意位置安裝以保證鍍膜均勻，可以沉積金屬膜、合金膜，也可以反應(yīng)鍍合成各種化合物膜(氮化物、碳化物、氧化物)，甚至可以合成DLC膜、CNx膜等，操作簡單，技術(shù)易于推廣。本實用新型可廣泛用于涂鍍刀具、模具的超硬保護層，膜系包括TiN、ZrN等，鍍層產(chǎn)品包括鉆頭、銑刀、齒輪刀具、絲錐、剪刀、切刀、頂頭、沖模等。本實用新型的結(jié)構(gòu)簡單，維護方便，而且膜層致密性好，耐磨性提高，且保證靶材的均勻刻蝕性。上述實施例不作為對本實用新型的限定，凡在本實用新型的范圍內(nèi)所作的任何修改、等同替換、改進等，均屬于本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其特征在于，其包括靶材、輔助陽極、支撐柱、法蘭板、第一密封O型圈、絕緣板、第二密封O型圈、冷水座、螺釘絕緣套、第一內(nèi)六角螺釘、接線座、螺母、第二內(nèi)六角螺釘、水嘴接頭、第一十字盤頭螺釘、電磁線圈、電磁線圈骨架、防護罩、第二十字盤頭螺釘、氣動引弧機構(gòu)、引弧極，靶材與冷水座連接，輔助陽極通過支撐柱固定在法蘭板的一面上，第一密封O型圈位于法蘭板的上方，絕緣板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之間，螺釘絕緣套套在第一內(nèi)六角螺釘上，冷水座通過第一內(nèi)六角螺釘固定在法蘭板的另一面上，接線座的一端位于冷水座上，螺母與第二內(nèi)六角螺釘連接，水嘴接頭位于電磁線圈的一側(cè)，電磁線圈通過第一十字盤頭螺釘與冷水座固定，電磁線圈骨架位于電磁線圈的上方，防護罩通過第二十字盤頭螺釘與電磁線圈骨架固定，引弧極壓緊在氣動弓I弧機構(gòu)上，弓I弧極位于靶材的下方。
2.如權(quán)利要求I所述的真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其特征在于，所述絕緣板的直徑大于第一密封O型圈的直徑和第二密封O型圈的直徑。
專利摘要本實用新型公開了一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其包括靶材等元件，靶材與冷水座連接，輔助陽極通過支撐柱固定在法蘭板的一面上，第一密封O型圈位于法蘭板的上方，絕緣板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之間，螺釘絕緣套套在第一內(nèi)六角螺釘上，冷水座通過第一內(nèi)六角螺釘固定在法蘭板的另一面上，接線座的一端位于冷水座上，螺母與第二內(nèi)六角螺釘連接，水嘴接頭位于電磁線圈的一側(cè)，電磁線圈通過第一十字盤頭螺釘與冷水座固定，電磁線圈骨架位于電磁線圈的上方，防護罩通過第二十字盤頭螺釘與電磁線圈骨架固定，引弧極壓緊在氣動引弧機構(gòu)上，引弧極位于靶材的下方。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，且保證靶材的均勻刻蝕性。
文檔編號C23C14/32GK202755049SQ20122035927
公開日2013年2月27日 申請日期2012年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月23日
發(fā)明者王叔暉, 劉竹楊 申請人:上海法德機械設(shè)備有限公司