技術(shù)編號：3271449
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及真空鍍膜行業(yè)，特別是涉及一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置。背景技術(shù)目前市場真空行業(yè)中真空陰極電弧靶的種類繁多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，一般真空陰極電弧靶裝置采用一個電弧和一個陰極電源，且裝置多采用氣動引弧或電磁引弧，靶材磁場約束采用永磁體，永磁體長時間使用會造成磁性減弱以及失磁，造成輝光減弱不能保證靶材的均勻刻蝕。實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其結(jié)構(gòu)簡單，且保證靶材的均勻刻蝕性。·本實用新型是通過下述技術(shù)方案來...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。