專利名稱：立式鍍膜設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種板材涂層加工設(shè)備，尤其是一種立式往復(fù)卷繞連續(xù)真空鍍膜加工設(shè)備。
背景技術(shù)：
由于常規(guī)能源的大力開(kāi)發(fā)利用，造成世界范圍內(nèi)的環(huán)境污染日趨嚴(yán)重。世界上很多國(guó)家已經(jīng)認(rèn)識(shí)到，太陽(yáng)能作為可再生能源，在持久使用環(huán)境資源為人類造福方面將起到十分巨大的作用。有著豐富太陽(yáng)能資源的中國(guó)，已于2006年I月I日起正式實(shí)施《可再生能源法》，同時(shí)，國(guó)家“十一五”規(guī)劃綱要也已把可再生資源的發(fā)展作為一項(xiàng)重要任務(wù)，因此太陽(yáng)能熱器本身具有巨大的潛在的推廣應(yīng)用價(jià)值。近年來(lái)，平板式太陽(yáng)能集熱器由于具有承壓能力強(qiáng)，吸熱面積大等特點(diǎn)，是太陽(yáng)能與建筑一體化結(jié)合最佳的集熱器類型。而平板式太陽(yáng)能集熱器的核心技術(shù)就在于吸熱板表面的吸收涂層，吸收涂層的質(zhì)量，決定著整個(gè)集·熱器的性能?，F(xiàn)有的涂層鍍制設(shè)備一般為多個(gè)真空室裝料閉鎖和閥門室、工藝室和起料室。工藝室的端部直接在輸送系統(tǒng)上。各種附件可以放置在工藝室中以實(shí)現(xiàn)各種磁控環(huán)境和固定磁控濺射源。這種設(shè)備的每一個(gè)工藝室都只能鍍制一種膜層，因此在鍍制多層太陽(yáng)能吸熱涂層的時(shí)候，就需要多個(gè)工藝室，各腔室之間需要若干真空封閉裝置，工作線很長(zhǎng)，難于控制，質(zhì)量不穩(wěn)定，導(dǎo)致設(shè)備成本高昂，體積龐大。而且這種鍍制設(shè)備的生產(chǎn)效率和成品率也比較低。上述的這個(gè)技術(shù)問(wèn)題，長(zhǎng)期存在于平板式太陽(yáng)能行業(yè)中，至今沒(méi)有得到有效的解決。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、鍍膜工藝質(zhì)量易于控制且穩(wěn)定的立式鍍膜設(shè)備。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案它包括殼體，殼體內(nèi)部設(shè)有容置空間；第一收放卷，設(shè)于殼體內(nèi)用于繞制待鍍膜金屬板材并通過(guò)旋轉(zhuǎn)釋放金屬板材；第二收放卷，設(shè)于殼體內(nèi)用于接收已鍍膜金屬板材并旋轉(zhuǎn)回收于收放卷上；靶材，分別設(shè)于金屬板材運(yùn)行路徑的兩側(cè)用于對(duì)金屬板材進(jìn)行磁控濺射鍍膜；浮動(dòng)輥，設(shè)于金屬板材的運(yùn)行路徑上用于提供金屬板材的恒定的張緊度；其中，所述的殼體為立式殼體，所述的第一收放卷和第二收放卷設(shè)于殼體內(nèi)部下方，所述的第一收放卷和第二收放卷上方分別設(shè)置第一導(dǎo)向輥和第二導(dǎo)向輥，所述的浮動(dòng)輥設(shè)于第一收放卷、第二收放卷、第一導(dǎo)向輥和第二導(dǎo)向輥之間的位置，所述的封閉艙設(shè)于金屬板材由第一導(dǎo)向輥經(jīng)浮動(dòng)輥到第二導(dǎo)向輥形成的U形路徑范圍中，金屬板材由第一收放卷經(jīng)第一導(dǎo)向輥到浮動(dòng)輥形成的U形路徑范圍中和金屬板材由浮動(dòng)輥經(jīng)第一導(dǎo)向輥到第二收放卷形成的U形路徑范圍中分別設(shè)置一組靶材。[0012]上述結(jié)構(gòu)中，所述的殼體上設(shè)有檢測(cè)浮動(dòng)輥的升降以對(duì)收放卷的轉(zhuǎn)速進(jìn)行微調(diào)的傳感器。上述結(jié)構(gòu)中，所述的浮動(dòng)輥設(shè)于一垂直的浮動(dòng)輥支架上，浮動(dòng)輥可相對(duì)于浮動(dòng)輥支架垂直運(yùn)動(dòng)。上述結(jié)構(gòu)中，所述的殼體內(nèi)中部還設(shè)有用于減少殼體內(nèi)無(wú)效空間的封閉艙，封閉艙兩側(cè)設(shè)有加熱器。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型的立式鍍膜設(shè)備在殼體內(nèi)部形成一金屬板材由第一收放卷到第二收放卷的釋放和回收的路徑，將靶材設(shè)于金屬板材的運(yùn)行路徑的兩側(cè)進(jìn)行磁控濺射鍍膜，使得內(nèi)部部件的結(jié)構(gòu)緊湊，整機(jī)體積小巧，而且整個(gè)運(yùn)行過(guò)程持續(xù)穩(wěn)定可控，極大的提高了鍍膜工藝的品質(zhì)，加強(qiáng)了吸熱板芯的吸熱效果，提高了光能的轉(zhuǎn)化效率。

圖I是本實(shí)用新型實(shí)施例的平面內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；·圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的立體內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖I和圖2所示，本實(shí)用新型的實(shí)施例中所提供的立式鍍膜設(shè)備包括立式殼體，殼體內(nèi)部設(shè)有容置空間；第一收放卷，設(shè)于殼體內(nèi)用于繞制待鍍膜金屬板材并通過(guò)旋轉(zhuǎn)釋放金屬板材；第二收放卷，設(shè)于殼體內(nèi)用于接收已鍍膜金屬板材并旋轉(zhuǎn)回收于收放卷上；靶材，分別設(shè)于金屬板材運(yùn)行路徑的兩側(cè)用于對(duì)金屬板材進(jìn)行磁控濺射鍍膜。工作時(shí)，第一收放卷旋轉(zhuǎn)進(jìn)行金屬板材的釋放，釋放的金屬板材經(jīng)過(guò)靶材時(shí)進(jìn)行磁控濺射鍍膜，然后由第二收放卷進(jìn)行回收待用，具體原理可參考本領(lǐng)域的磁控濺射鍍膜技術(shù)，此處不再重復(fù)說(shuō)明。由于進(jìn)行磁控濺射鍍膜的金屬板材普遍厚度較小，一般為O. 1-0. 5毫米左右，在卷繞和運(yùn)行過(guò)程中經(jīng)常出現(xiàn)松弛或者皺褶的情況，造成被鍍膜的表面不平整，影響鍍膜的效果，為了避免上述情況發(fā)生，本實(shí)用新型在金屬板材的運(yùn)行路徑上設(shè)有用于調(diào)節(jié)金屬板材的張緊度的浮動(dòng)輥，浮動(dòng)輥設(shè)于金屬板材的運(yùn)行路徑上并偏離第一收放卷和第二收放卷的轉(zhuǎn)軸所在的平面，使得浮動(dòng)輥對(duì)金屬板材的運(yùn)行有一種拉緊的效果，消除松弛和皺褶的現(xiàn)象，保證鍍膜的效果。使用時(shí)，手動(dòng)或自動(dòng)控制浮動(dòng)輥的位置實(shí)現(xiàn)對(duì)板料的糾偏；而且所述的殼體上設(shè)有傳感器，通過(guò)傳感器檢測(cè)浮動(dòng)輥的升降對(duì)收放卷的轉(zhuǎn)速進(jìn)行微調(diào)。由于浮動(dòng)輥偏離了第一收放卷和第二收放卷的轉(zhuǎn)軸所在的平面，為了對(duì)金屬板材由第一收放卷到浮動(dòng)輥以及由浮動(dòng)輥向第二收放卷運(yùn)行時(shí)進(jìn)行導(dǎo)向，使得整體運(yùn)行過(guò)程更加平穩(wěn)，在金屬板材的運(yùn)行路徑上設(shè)有導(dǎo)向輥。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。圖I和圖2是本實(shí)用新型的附圖，如圖I和圖2所示，本實(shí)用新型所述的殼體I為立式殼體，所述的第一收放卷2和第二收放卷3設(shè)于殼體I內(nèi)部下方，所述的第一收放卷2和第二收放卷3上方分別設(shè)置第一導(dǎo)向輥7和第二導(dǎo)向輥7’，所述的浮動(dòng)輥4設(shè)于第一收放卷2、第二收放卷3、第一導(dǎo)向輥7和第二導(dǎo)向輥V之間的位置，所述的封閉艙5設(shè)于金屬板材由第一導(dǎo)向輥7經(jīng)浮動(dòng)輥4到第二導(dǎo)向輥V形成的U形路徑范圍中；所述的殼體I內(nèi)中部還設(shè)有封閉艙5，封閉艙5減少殼體內(nèi)無(wú)效空間、縮短殼體內(nèi)抽真空的時(shí)間，封閉艙5兩側(cè)設(shè)有加熱器51，金屬板材由第一收放卷2經(jīng)第一導(dǎo)向輥7到浮動(dòng)輥4形成的U形路徑范圍中和金屬板材由浮動(dòng)輥4經(jīng)第一導(dǎo)向輥7到第二收放卷3形成的U形路徑范圍中分別設(shè)置一組靶材6和6’，殼體上對(duì)應(yīng)靶材的位置設(shè)有艙門11。在金屬板材的運(yùn)行路徑上還設(shè)有導(dǎo)向輥10，一側(cè)在圖中被其他部件被遮住，圖中未示出。殼體內(nèi)位于第一收放卷和第二收放卷下方的位置設(shè)有隔板12。另外，值得注意的是，由于金屬板材經(jīng)過(guò)第一收放卷2到浮動(dòng)輥4再到第二收放卷3的運(yùn)行過(guò)程中，當(dāng)?shù)谝皇辗啪?上的待鍍膜的金屬材料卷到達(dá)盡頭時(shí)，金屬板材端部在第一收放卷上拉緊，整個(gè)運(yùn)行過(guò)程結(jié)束，所以每個(gè)金屬材料卷的末端都有一部分不能經(jīng)過(guò)鍍膜后回收到第二收放卷3上，造成浪費(fèi)，為了避免浪費(fèi)，本實(shí)施例中，浮動(dòng)輥4設(shè)于一垂直浮動(dòng)輥支架8上，在第一收放卷2和第二收放卷3上各預(yù)裝有一段金屬板材，待鍍膜板材兩端分別和第一收放卷2和第二收放卷3上的預(yù)留板材連接，以實(shí)現(xiàn)對(duì)所有待鍍膜板材的鍍膜。提高了金屬板材的利用率。對(duì)浮動(dòng)輥的狀態(tài)的判斷和調(diào)節(jié)可以通過(guò)人工進(jìn)行或自動(dòng)進(jìn)行，為了實(shí)現(xiàn)自動(dòng)判斷 和控制，本實(shí)施例在殼體上還設(shè)置一傳感器9，通過(guò)傳感器檢測(cè)浮動(dòng)輥的升降對(duì)收放卷的轉(zhuǎn)速進(jìn)行微調(diào)。傳感器信號(hào)的檢測(cè)和執(zhí)行是公知技術(shù)，此處不再具體展開(kāi)說(shuō)明傳感器與提示裝置或者執(zhí)行裝置的原理。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種立式鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括 殼體，殼體內(nèi)部設(shè)有容置空間； 第一收放卷，設(shè)于殼體內(nèi)用于繞制待鍍膜金屬板材并通過(guò)旋轉(zhuǎn)釋放金屬板材； 第二收放卷，設(shè)于殼體內(nèi)用于接收已鍍膜金屬板材并旋轉(zhuǎn)回收于收放卷上； 靶材，分別設(shè)于金屬板材運(yùn)行路徑的兩側(cè)用于對(duì)金屬板材進(jìn)行磁控濺射鍍膜； 浮動(dòng)輥，設(shè)于金屬板材的運(yùn)行路徑上用于提供金屬板材的恒定的張緊度； 其中，所述的殼體為立式殼體，所述的第一收放卷和第二收放卷設(shè)于殼體內(nèi)部下方，所述的第一收放卷和第二收放卷上方分別設(shè)置第一導(dǎo)向輥和第二導(dǎo)向輥，所述的浮動(dòng)輥設(shè)于第一收放卷、第二收放卷、第一導(dǎo)向輥和第二導(dǎo)向輥之間的位置，所述的封閉艙設(shè)于金屬板材由第一導(dǎo)向輥經(jīng)浮動(dòng)輥到第二導(dǎo)向輥形成的U形路徑范圍中，金屬板材由第一收放卷經(jīng)第一導(dǎo)向輥到浮動(dòng)輥形成的U形路徑范圍中和金屬板材由浮動(dòng)輥經(jīng)第一導(dǎo)向輥到第二收放卷形成的U形路徑范圍中分別設(shè)置一組靶材。
2.如權(quán)利要求I中任一項(xiàng)所述的立式鍍膜設(shè)備，其特征在于所述的殼體上設(shè)有檢測(cè)浮動(dòng)輥的升降對(duì)收放卷的轉(zhuǎn)速進(jìn)行微調(diào)傳感器。
3.如權(quán)利要求2所述的立式鍍膜設(shè)備，其特征在于所述的浮動(dòng)輥設(shè)于一垂直的浮動(dòng)輥支架上，浮動(dòng)輥可相對(duì)于浮動(dòng)輥支架垂直運(yùn)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的立式鍍膜設(shè)備，其特征在于所述的殼體內(nèi)中部還設(shè)有用于減少殼體內(nèi)無(wú)效空間的封閉艙，封閉艙兩側(cè)設(shè)有加熱器。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種板材涂層加工設(shè)備，尤其是一種立式往復(fù)卷繞連續(xù)真空鍍膜加工設(shè)備。包括立式殼體，所述的第一收放卷和第二收放卷設(shè)于殼體內(nèi)部下方，所述的第一收放卷和第二收放卷上方分別設(shè)置第一導(dǎo)向輥和第二導(dǎo)向輥，所述的浮動(dòng)輥設(shè)于第一收放卷、第二收放卷、第一導(dǎo)向輥和第二導(dǎo)向輥之間的位置，所述的封閉艙設(shè)于金屬板材由第一導(dǎo)向輥經(jīng)浮動(dòng)輥到第二導(dǎo)向輥形成的U形路徑范圍中，金屬板材由第一收放卷經(jīng)第一導(dǎo)向輥到浮動(dòng)輥形成的U形路徑范圍中和金屬板材由浮動(dòng)輥經(jīng)第一導(dǎo)向輥到第二收放卷形成的U形路徑范圍中分別設(shè)置一組靶材。本實(shí)用新型內(nèi)部部件的結(jié)構(gòu)緊湊，整機(jī)體積小巧，運(yùn)行過(guò)程持續(xù)穩(wěn)定可控，適用于多種鍍膜基材和鍍膜工藝，極大的提高了鍍膜設(shè)備的兼容性。
文檔編號(hào)C23C14/35GK202688422SQ20122028458
公開(kāi)日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2012年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月15日
發(fā)明者楊憲杰 申請(qǐng)人:楊憲杰