專利名稱：具有拋光液循環(huán)回收利用裝置的拋光機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種拋光機，尤其涉及一種可將拋光液篩濾后進行循環(huán)回收利用的具有拋光液循環(huán)回收利用裝置的拋光機。
技術(shù)背景我們對濾波器晶片進行拋光工序處理時，采用的都是外購的原有市場上的拋光機，此拋光機包括上模和下模，上模為拋光面板，下模為轉(zhuǎn)動區(qū)，在對晶片進行拋光處理時，需要通過拋光機上用來流出拋光液的進液機構(gòu)將拋光液輸送到上下模加工區(qū)，從拋光區(qū)流出的拋光液是經(jīng)過拋光機后端底部的出液口流出的，目前，對于此出液口流出的拋光液是直接進行了排除，這樣，不僅浪費了大量的資源，同時，對工作間內(nèi)的環(huán)境也造成了很大的污染。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型解決的技術(shù)問題是提供一種解決上述技術(shù)缺陷而達到充分利用資源，避免資源浪費的具有拋光液循環(huán)回收利用裝置的拋光機。本實用新型解決其技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是一種具有拋光液循環(huán)回收利用裝置的拋光機，包括拋光機本體和設(shè)置在拋光機本體后端底部的出液口，所述出液口通過出液管連接拋光液循環(huán)回收裝置，該拋光液循環(huán)回收裝置包括三腳架和收液桶；所述三腳架上放置有漏斗；所述收液桶的上端設(shè)有封蓋，在所述封蓋上開設(shè)有進液口，并在所述封蓋上固定安裝有電機；所述出液管的另一端連接到漏斗上方，漏斗的底部通過管路連接到進液口，所述電機的底端連接回液管，該回液管的另一端連接到拋光機上模上方的進液機構(gòu)。進一步的，為了對拋光液進行篩濾處理，提高拋光液的質(zhì)量，所述漏斗的上部放置有篩框，所述出液管的另一端設(shè)置在篩框的上方。本實用新型的有益效果是本回收裝置將拋光機內(nèi)排出的拋光液進行篩濾后，將過濾后的拋光液再次的抽回到拋光機上的進液機構(gòu)，完成拋光液的回收利用，減少了資源浪費，且提高了加工車間的清潔度。


以下結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明。圖I是本實用新型結(jié)構(gòu)的示意圖；圖2是本實用新型中循環(huán)回收裝置示意圖。圖中1、拋光機本體2、出液口 3、出液管4、篩框5、漏斗6、三腳架7、收液桶71、封蓋72、進液口 8、電機9、回液管。
具體實施方式
如圖I和2所不一種具有拋光液循環(huán)回收利用裝置的拋光機,包括拋光機本體I和設(shè)置在拋光機本體I后端底部的出液口 2，以及用來對加工中注入拋光液的進液機構(gòu)(未標出)，該進液機構(gòu)設(shè)置在拋光機上模的上方，所述出液口 2通過出液管3連接拋光液循環(huán)回收裝置，該拋光液循環(huán)回收裝置包括三腳架6和收液桶7 ;所述三腳架6上放置有漏斗5 ；所述收液桶7的上端設(shè)有封蓋71，在所述封蓋71上開設(shè)有進液口 72，并在所述封蓋71上固定安裝有電機8 ;所述出液管3的另一端連接到漏斗上方，漏斗5的底部通過管路連接到進液口 72，所述電機8的底端連接回液管9，該回液管9的另一端連接到拋光機上模上方的進液機構(gòu)。進一步的，為了對拋光液進行篩濾處理，提高拋光液的質(zhì)量，所述漏斗8的上部放置有篩框4，所述出液管3的另一端設(shè)置在篩框4的上方。本回收裝置對拋光機中從出液口 2流出的拋光液，拋光液通過出液管3之后，再由篩框4篩濾,拋光液經(jīng)過漏斗5后進入到收液桶7內(nèi)，之后,通過電機8將過濾后的拋光液 再次的抽回到拋光機上的進液機構(gòu)，完成拋光液的回收利用，減少了資源浪費，且提高了加工車間的清潔度。需要強調(diào)的是，以上是本實用新型的較佳實施列而已，并非對此實用新型在外觀上作任何形式的限制，凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種具有拋光液循環(huán)回收利用裝置的拋光機，包括拋光機本體(I)和設(shè)置在拋光機本體(I)后端底部的出液口(2)，其特征在于所述出液口(2)通過出液管(3)連接拋光液循環(huán)回收裝置，該拋光液循環(huán)回收裝置包括三腳架(6)和收液桶(7);所述三腳架(6)上放置有漏斗(5);所述收液桶(7)的上端設(shè)有封蓋(71)，在所述封蓋(71)上開設(shè)有進液口(72)，并在所述封蓋(71)上固定安裝有電機(8);所述出液管(3)的另一端連接到漏斗上方，漏斗(5)的底部通過管路連接到進液口(72)，所述電機(8)的底端連接回液管(9)，該回液管的另一端連接到拋光機上模上方的進液機構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有拋光液循環(huán)回收利用裝置的拋光機，其特征在于所述漏斗(5)的上部放置有篩框(4)，所述出液管(3)的另一端設(shè)置在篩框(4)的上方。
專利摘要本實用新型涉及一種具有拋光液循環(huán)回收利用裝置的拋光機，包括拋光機本體和設(shè)置在拋光機本體后端底部的出液口，所述出液口通過出液管連接拋光液循環(huán)回收裝置，該拋光液循環(huán)回收裝置包括三腳架和收液桶；所述三腳架上放置有漏斗；所述收液桶的上端設(shè)有封蓋，在所述封蓋上開設(shè)有進液口，并在所述封蓋上固定安裝有電機；所述出液管的另一端連接到漏斗上方，漏斗的底部通過管路連接到進液口，所述電機的底端連接回液管，該回液管的另一端連接到拋光機上模上方的進液裝置。本回收裝置將拋光機內(nèi)排出的拋光液進行篩濾后，將過濾后的拋光液再次的抽回到拋光機上的進液機構(gòu)，完成拋光液的回收利用，減少了資源浪費，且提高了加工車間的清潔度。
文檔編號B24B57/00GK202668359SQ201220248910
公開日2013年1月16日 申請日期2012年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月30日
發(fā)明者冷志紅, 蔡靈玲 申請人:昆山明本光電有限公司