專利名稱：一種pecvd的沉積裝置及其沉積槽用鎖緊裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光伏電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種PECVD的沉積裝置及其沉積槽用鎖緊裝置。
技術(shù)背景 光伏電池生產(chǎn)過程中，需要在光伏電池的半成品電池即硅片的表面鍍上一層減反射膜。目前，采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD, Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition)的方法在娃電池片表面形成減反射膜。鏈?zhǔn)缴襄兡ECVD的反應(yīng)腔室中，將硅電池片放置在沉積槽內(nèi)，氫化硅和氨氣在等離子狀態(tài)下，在硅電池片的表面形成氮化硅膜。在硅電池片表面鍍膜的過程中，氮化硅不可避免的會(huì)沉積到沉積槽表面，在沉積槽表面形成氮化硅粉末。當(dāng)沉積槽上的氮化硅粉末沉積的較多時(shí)，較易脫離沉積槽并掉落到硅電池片表面，嚴(yán)重影響了鍍膜的質(zhì)量，最終降低了硅電池片將光能轉(zhuǎn)換為電能的轉(zhuǎn)換效率。所以氮化硅粉末沉積的較多時(shí)，需要將沉積槽拆卸下來，對沉積槽進(jìn)行清洗或者更換新的沉積槽。沉積槽固定在反應(yīng)腔室內(nèi)壁上，一般反應(yīng)腔室內(nèi)壁上設(shè)置有用于支撐沉積槽的托架，然后通過多個(gè)螺絲和多個(gè)螺母將沉積槽固定在托架上。需要清洗或者更換新的沉積槽時(shí)，要將沉積槽拆卸下來，然后再安裝上。在拆卸或者安裝沉積槽的過程中，需要將螺絲和螺母一一拆除，使得工作人員的工作量較大，導(dǎo)致沉積槽的拆卸和安裝時(shí)間較長，工作效率較低。另外，沉積槽需要多個(gè)螺絲和多個(gè)螺母實(shí)現(xiàn)固定，但是經(jīng)常拆卸和安裝螺絲、螺母，其螺紋較易受到磨損，容易造成螺母與螺絲不能再實(shí)現(xiàn)固定相連，使得不能將沉積槽拆卸下來或者無法將其固定，對沉積槽的拆卸和安裝造成了不便。綜上所述，如何提供一種PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，以減小工作人員的工作量，進(jìn)而減少拆卸和安裝沉積槽所需的時(shí)間，提高工作效率，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，減小了工作人員的工作量，進(jìn)而減少了拆卸和安裝沉積槽所需的時(shí)間，提高了工作效率。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，用于將所述沉積槽固定于托架上，該鎖緊裝置包括第一鎖件；和用于貫穿所述沉積槽的側(cè)壁的第二鎖件，所述第二鎖件包括用于與所述托架固定相連的固定端和用于外伸于所述沉積槽的自由端，所述第二鎖件的自由端開設(shè)有用于夾住所述第一鎖件的緊固槽。[0012]優(yōu)選的，上述PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中，所述緊固槽與所述沉積槽的側(cè)壁平行。優(yōu)選的，上述PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中，所述第一鎖件開設(shè)有用于夾住所述第二鎖件的自由端的安裝槽。優(yōu)選的，上述PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中，所述第一鎖件和第二鎖件均為長方體形；所述第一鎖件和第二鎖件的頂角均為圓角。優(yōu)選的，上述PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中，所述安裝槽與所述第一鎖件的一邊平行。優(yōu)選的，上述PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，還包括用于將所述第二鎖件的固定端固定于所述托架的螺紋連接件；所述第二鎖件的固定端設(shè)置有供所述螺紋連接件通過的螺紋孔。 優(yōu)選的，上述PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中，所述第二鎖件至少為兩個(gè)，所述第一鎖件的數(shù)目與所述第二鎖件的數(shù)目相同?；谏鲜鎏峁┑腜ECVD的沉積槽用鎖緊裝置，本實(shí)用新型還提供了一種PECVD的沉積裝置，包括沉積槽，托架和用于將所述沉積槽固定于所述托架的鎖緊裝置，所述鎖緊裝置為上述任意一項(xiàng)所述的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置；所述沉積槽設(shè)置有供所述第二鎖件的自由端插入的插孔；所述托架上設(shè)置有用于連接所述第二鎖件的固定端的安裝部。本實(shí)用新型提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置的使用方法如下安裝沉積槽時(shí)，先將第二鎖件固定設(shè)置于托架上，即第二鎖件的固定端與托架固定相連；然后將第二鎖件的自由端插入沉積槽的插孔中，即第二鎖件的自由端外伸于沉積槽，使得第二鎖件貫穿沉積槽的側(cè)壁，避免了沉積槽沿水平方向移動(dòng)；最后將第一鎖件插入第二鎖件的緊固槽中，緊固槽夾住第一鎖件，避免了沉積槽沿豎直方向移動(dòng)，即實(shí)現(xiàn)了沉積槽的固定；需要拆卸沉積槽時(shí)，只需使第一鎖件脫離第二鎖件的緊固槽，使得第一鎖件與第二鎖件分離，然后將沉積槽向遠(yuǎn)離第二鎖件的方向移動(dòng)，使得沉積槽與第二鎖件分離，即可實(shí)現(xiàn)沉積槽的拆卸。本實(shí)用新型提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，在拆卸沉積槽的過程中，直接將第一鎖件移出第二鎖件的緊固槽，再將沉積槽與第二鎖件分離即可；在安裝過程中，直接將第二鎖件的自由端外伸于沉積槽，然后將第一鎖件插入緊固槽即可。上述PECVD的沉積槽用鎖緊裝置使得沉積槽的拆卸和安裝較簡單、快捷，與現(xiàn)有技術(shù)需要將多個(gè)螺絲和螺母一一拆除和安裝相比，減少了工作人員的工作量，進(jìn)而減少了拆卸和安裝沉積槽所需的時(shí)間，提高了工作效率。同時(shí)，本實(shí)用新型提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，采用第一鎖件和第二鎖件，通過緊固槽實(shí)現(xiàn)了對沉積槽的固定，由該鎖緊裝置的使用方法可知，第一鎖件和第二鎖件與螺絲和螺母相比，不易被損壞，不會(huì)出現(xiàn)沉積槽不能拆卸下來或者沉積槽無法固定的現(xiàn)象，使得沉積槽的拆卸和安裝較方便。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖I中A部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置鎖緊沉積槽后的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中的第一鎖件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中的第二鎖件的結(jié)構(gòu)示意圖。上圖I-圖5中反應(yīng)腔室內(nèi)壁I、托架2、安裝部21、螺母3、第二鎖件4、緊固槽41、螺紋孔42、螺絲5、第一鎖件6、安裝槽61、沉積槽7。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型提供了一種PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，減小了工作人員的工作量，進(jìn)而減少了拆卸和安裝沉積槽所需的時(shí)間，提高了工作效率。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請參考附圖1-5，圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖I中A部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置鎖緊沉積槽后的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中的第一鎖件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中的第二鎖件的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，用于將沉積槽7固定于托架2上，如圖I和圖2所示，該鎖緊裝置包括第一鎖件6 ;和用于貫穿沉積槽7的側(cè)壁的第二鎖件4，該第二鎖件4包括用于與托架2固定相連的固定端和用于外伸于沉積槽7的自由端，第二鎖件4的自由端開設(shè)有用于夾住第一鎖件6的緊固槽41。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置的使用方法如下安裝沉積槽7時(shí)，先將第二鎖件4固定設(shè)置于托架2上，即第二鎖件4的固定端與托架2固定相連；然后將第二鎖件4的自由端插入沉積槽7的插孔中，即第二鎖件4的自由端外伸于沉積槽7，使得第二鎖件4貫穿沉積槽7的側(cè)壁，緊固槽41外露于沉積槽7，避免了沉積槽7沿水平方向移動(dòng)；最后將第一鎖件6插入第二鎖件4的緊固槽41中，緊固槽41夾住第一鎖件6，即第一鎖件6位于沉積槽7的外側(cè)，如圖3所示，避免了沉積槽7沿豎直方向移動(dòng)，即實(shí)現(xiàn)了沉積槽7的固定；需要拆卸沉積槽7時(shí)，只需使第一鎖件6脫離第二鎖件4的緊固槽41，即將第一鎖件6與第二鎖件4分離，然后將沉積槽7向遠(yuǎn)離第二鎖件4的方向移動(dòng)，使得沉積槽7與第二鎖件4分離，即可實(shí)現(xiàn)沉積槽7的拆卸。沉積槽7的安裝和拆卸過程都較簡單方便，較快捷。在安裝上述PECVD的沉積槽用鎖緊裝置過程中，第二鎖件4的自由端的緊固槽41的開口可朝向沉積槽7的底端，也可朝向沉積槽7的頂端，可優(yōu)先選擇緊固槽41的開口朝向沉積槽7的頂端，便于第一鎖件6插入緊固槽41中。本實(shí)用新型對安裝時(shí)緊固槽41的開口朝向不做具體的限定。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，在拆卸沉積槽7的過程中，直接將第一鎖件6移出第二鎖件4的緊固槽41，再將沉積槽7與第二鎖件4分離即可；在 安裝沉積槽7的過程中，直接將第二鎖件4的自由端外伸于沉積槽7，然后將第一鎖件6插入緊固槽41即可，與現(xiàn)有技術(shù)需要將多個(gè)螺絲和螺母一一拆除相比，很明顯，減少了工作人員的工作量，進(jìn)而減少了拆卸和安裝沉積槽7所需的時(shí)間，提高了工作效率。同時(shí)，上述實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，采用第一鎖件6和第二鎖件4，通過緊固槽41實(shí)現(xiàn)了對沉積槽7的固定，由該鎖緊裝置的使用方法可知，第一鎖件6和第二鎖件4與螺絲和螺母相比，不易被損壞，不會(huì)出現(xiàn)沉積槽7不能拆卸下來或者沉積槽7無法固定的現(xiàn)象，使得沉積槽7的拆卸和安裝較方便。上述實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中，緊固槽41外露于沉積槽7，用于夾住第一鎖件6，使得第一鎖6限制沉積槽沿豎直方向移動(dòng)。緊固槽41夾住第一鎖件6可有多種方式，例如可通過型面配合相連，也可通過緊固槽41的內(nèi)壁與第一鎖件6的外壁緊密貼合實(shí)現(xiàn)，本實(shí)用新型對此不做具體地限定。為了便于緊固槽41夾住第一鎖件6，優(yōu)選的，緊固槽41與沉積槽7的側(cè)壁平行，即在安裝第二鎖件4的時(shí)候，調(diào)整第二鎖件4使其自由端穿過沉積槽7的插孔，使得緊固槽41的延伸方向與沉積槽7的側(cè)壁傾斜方向一致，第一鎖件6插入緊固槽41后，使得第一鎖件6與沉積槽7的側(cè)壁貼合，進(jìn)一步加強(qiáng)了對沉積槽7的固定。為了進(jìn)一步加強(qiáng)沉積槽7的固定，上述實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中，第一鎖件6開設(shè)有用于夾住第二鎖件4的自由端的安裝槽61。安裝槽61夾住第二鎖件4的自由端可有多種方式，例如可通過型面配合相連，也可通過安裝槽61的內(nèi)壁與第二鎖件4的自由端的外壁緊密貼合實(shí)現(xiàn)，本實(shí)用新型對此不做具體地限定。這樣，使得第一鎖件6和第二鎖件4相互夾住對方，加強(qiáng)了第一鎖件6與第一鎖緊4連接，進(jìn)而加強(qiáng)了對沉積槽7的固定。為了便于第一鎖件6和第二鎖件4的生產(chǎn)和制造，優(yōu)選的，第一鎖件6和第二鎖件4均為長方體形，如圖4和圖5所示，便于生產(chǎn)和制造；同時(shí)也便于第一鎖件6和第二鎖件4的安裝和拆卸。優(yōu)先選擇，第一鎖件6和第二鎖件4的頂角均為圓角，提高了第一鎖件6和第二鎖件4的美觀度；同時(shí)也避免了頂角劃傷工作人員。為了便于第一鎖件6插入緊固槽41和便于第一鎖件6與沉積槽7的外壁貼合，優(yōu)選的，安裝槽61與第一鎖件6的一邊平行，如圖5所示。第二鎖件4與托架2固定相連，二者可通過焊接固定相連，也可通過螺紋連接件相連，優(yōu)選的，上述實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，還包括用于將第二鎖件4的固定端固定于托架2的螺紋連接件；第二鎖件4的固定端設(shè)置有供螺紋連接件通過的螺紋孔42。[0046]為了便于沉積槽的固定，上述實(shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置中，第二鎖件4至少為兩個(gè)，第一鎖件6的數(shù)目與第二鎖件4的數(shù)目相同。第一鎖件6和第二鎖件4配套使用。優(yōu)選的，一般使用兩個(gè)第二鎖件6，分別設(shè)置于托架2的兩端，當(dāng)然同時(shí)也使用兩個(gè)第一鎖件4。本實(shí)用新型對第二鎖件4和第一鎖件6的數(shù)目不做具體地限定，只要能夠保證固定沉積槽7即可?；谏鲜鰧?shí)施例提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種PECVD的沉積裝置，包括沉積槽7，托架2和用于將沉積槽7固定于托架2的鎖緊裝置，所述鎖緊裝置為上述實(shí)施例中所述的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置；沉積槽7設(shè)置有供第二鎖件4的自由端插入的插孔；托架2上設(shè)置有用于連接第二鎖件4的固定端的安裝部21，如圖2所示。第二鎖件4的固定端固定設(shè)置于安裝部21，且第二鎖件4的自由端沿沉積槽7上的插孔穿過沉積槽7，實(shí)現(xiàn)第二鎖件4貫穿沉積槽7，使得緊固槽41外露于沉積槽7，從而實(shí)現(xiàn)第一鎖件6與第二鎖件4相連，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對沉積槽7的固定。對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新 型。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所述的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，用于將所述沉積槽(7)固定于托架(2)上，其特征在于，包括 第一鎖件(6)； 和用于貫穿所述沉積槽(7)的側(cè)壁的第二鎖件(4)，所述第二鎖件(4)包括用于與所述托架(2)固定相連的固定端和用于外伸于所述沉積槽(7)的自由端，所述第二鎖件(4)的自由端開設(shè)有用于夾住所述第一鎖件(6)的緊固槽(41)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，其特征在于，所述緊固槽(41)與所述沉積槽(7)的側(cè)壁平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，其特征在于，所述第一鎖件(6)開設(shè)有用于夾住所述第二鎖件(4)的自由端的安裝槽(61)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，其特征在于，所述第一鎖件(6)和第二鎖件(4)均為長方體形；所述第一鎖件(6)和第二鎖件(4)的頂角均為圓角。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，其特征在于，所述安裝槽(61)與所述第一鎖件￠)的一邊平行。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，其特征在于，還包括用于將所述第二鎖件(4)的固定端固定于所述托架(2)的螺紋連接件；所述第二鎖件(4)的固定端設(shè)置有供所述螺紋連接件通過的螺紋孔(42)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，其特征在于，所述第二鎖件(4)至少為兩個(gè)，所述第一鎖件￠)的數(shù)目與所述第二鎖件(4)的數(shù)目相同。
8.—種PECVD的沉積裝置，包括沉積槽(7)，托架(2)和用于將所述沉積槽(7)固定于所述托架(2)的鎖緊裝置，其特征在于，所述鎖緊裝置為如權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置； 所述沉積槽(7)設(shè)置有供所述第二鎖件(4)的自由端插入的插孔； 所述托架(2)上設(shè)置有用于連接所述第二鎖件(4)的固定端的安裝部(21)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，用于將沉積槽固定于托架上，該鎖緊裝置包括第一鎖件；和用于貫穿沉積槽的側(cè)壁的第二鎖件，第二鎖件包括用于與托架固定相連的固定端和用于外伸于沉積槽的自由端，第二鎖件的自由端開設(shè)有用于夾住第一鎖件的緊固槽。本實(shí)用新型提供的PECVD的沉積槽用鎖緊裝置，拆卸和安裝沉積槽的過程較簡單、快捷，與現(xiàn)有技術(shù)將多個(gè)螺絲和螺母拆除和安裝相比，減少了工作人員的工作量，進(jìn)而減少了拆卸和安裝沉積槽所需的時(shí)間，提高了工作效率。本實(shí)用新型還提供了一種具有上述PECVD的沉積槽用鎖緊裝置的PECVD的沉積裝置。
文檔編號(hào)C23C16/44GK202543319SQ20122015714
公開日2012年11月21日 申請日期2012年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月13日
發(fā)明者孫雙慶, 李江超, 杜穎濤 申請人:英利能源(中國)有限公司