專利名稱：一種磁控濺射鍍膜真空傳動機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及到一種磁控濺射鍍膜裝置，尤其涉及到一種磁控濺射鍍膜裝置的真空傳動機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
磁控鍍膜技術(shù)在微電子、航空航天、機(jī)械制造、食品包裝等許多領(lǐng)域已廣泛應(yīng)用。在目前的磁控鍍膜設(shè)備中，真空狀態(tài)下的各種傳動是個難點(diǎn)，尤其需要避免干涉進(jìn)行的間歇傳動。目前廣泛應(yīng)用在鍍膜工業(yè)行業(yè)中的是單獨(dú)的直線運(yùn)動或者轉(zhuǎn)動。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有技術(shù)中磁控濺射鍍膜傳動機(jī)構(gòu)同時進(jìn)行傳動和往復(fù)運(yùn)動時互相干擾的缺陷，本發(fā)明提供了一種新型的磁控濺射鍍膜真空傳動機(jī)構(gòu)。本發(fā)明的目的及解決的技術(shù)問題是通過下列方案來實(shí)現(xiàn)的，提供一種磁控濺射鍍膜真空傳動機(jī)構(gòu)，包括支座，固定在支座上的電機(jī)、由電機(jī)帶著轉(zhuǎn)動的傳動軸，安裝在支座上的氣缸，設(shè)置在真空腔室外側(cè)的真空連接板，固定板，固定在真空連接板和固定板之間的滑竿，其中，支座通過直線軸承套接在滑竿，氣缸帶動支座在滑竿上滑動。本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案是，傳動軸的一端穿過真空連接板設(shè)置在真空腔室內(nèi)，另一端套接在外軸套上，所述軸套設(shè)置在真空連接板和支座之間。本發(fā)明的優(yōu)先實(shí)施方案是，外軸套的一端外側(cè)套接有金屬波紋管，其中，波紋管設(shè)置在支座和真空連接板之間。本發(fā)明的另一種優(yōu)先實(shí)施方案是，所述金屬波紋管與外軸套的連接處設(shè)置有O型密封圈。本發(fā)明的另一種優(yōu)先實(shí)施方案是，支座與滑竿連接處的直線軸承內(nèi)還設(shè)置有軸用彈性擋圈。本發(fā)明的另一種優(yōu)先實(shí)施方案是，所述傳動軸安裝在外軸套內(nèi)，傳動軸和外軸套之間從內(nèi)往外依次安裝有骨架油封、隔環(huán)、骨架油封、軸承、孔用彈性擋圈、隔環(huán)、骨架油封、并通過封蓋固定，從而完成傳動軸在轉(zhuǎn)動時的密封。本發(fā)明的另一種優(yōu)先實(shí)施方案是，所述傳動軸通過聯(lián)軸器和電機(jī)連接，所述傳動軸和聯(lián)軸器的連接端設(shè)置有平鍵。本發(fā)明的另一種優(yōu)先實(shí)施方案是，電機(jī)通過電機(jī)安裝座設(shè)置在支座上。本發(fā)明的另一種優(yōu)先實(shí)施方案是，所述傳動軸的末端設(shè)置有摩擦片或傳動爪。本發(fā)明的另一種優(yōu)先實(shí)施方案是，所述真空連接板通過螺栓和O型密封圈固定在
真空腔室上。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是避免了往復(fù)運(yùn)動和傳動同時運(yùn)動的互相干涉。采用了 O型密封圈作為靜密封，傳動軸的密封通過骨架油封密封，使得密封狀態(tài)良好，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，便于裝配和拆卸，整個結(jié)構(gòu)密封結(jié)構(gòu)合理，傳動安全精確。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖1-真空連接板，2-固定板，3-滑竿，4-支座，5-電機(jī)安裝支架，6-電機(jī)，7-氣缸，8-金屬波紋管，9-聯(lián)軸器，10-軸承，11-外軸套，12-傳動軸，13-0型密封圈，14-0型密封圈，15-骨架油封，16-隔環(huán)，17-封蓋，18-平鍵，19-直線軸承，20-孔用彈性擋圈，21-軸用彈性擋圈
具體實(shí)施例方式為了更清楚的說明本發(fā)明采用的技術(shù)方案和功效，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做進(jìn)一步的說明，但本發(fā)明的實(shí)施方案不限于本發(fā)明所描述的實(shí)施方案。如圖1所示，真空連接板I通過螺栓穿過設(shè)置在其一側(cè)密封槽內(nèi)的O型密封圈14
固定在真空腔室上?；? —端固定在真空連接板1，另一端固定在固定板上2，滑竿3為光滑的金屬長桿，支座4通過直線軸承19套接在滑竿3上，所述支座4可在滑竿3上隨意滑動。在直線軸承與滑竿和支座4的連接處還設(shè)置軸用彈性擋圈21。電機(jī)6通過電機(jī)安裝座5固定在支座4上，電機(jī)6的輸出端連接有傳動軸12，所述傳動軸12通過聯(lián)軸器9，以及設(shè)置在聯(lián)軸器9和傳動軸12之間的平鍵18與電機(jī)6相連。傳動軸12的一端穿過真空連接板I設(shè)置在真空腔內(nèi)，另一端套接有外軸套11，外軸套11設(shè)置在真空連接板I與支座3之間，外軸套11的一端固定在支座4上。金屬波紋管8的一側(cè)通過O形密封圈14固定在真空連接板I上，另一側(cè)與外軸套11連接，并通過O形密封圈13進(jìn)行密封。傳動軸12安裝在外軸`套11內(nèi)，傳動軸12和外軸套11之間從內(nèi)往外依次安裝有骨架油封15、隔環(huán)16、骨架油封15、軸承10、孔用彈性擋圈20、隔環(huán)16、骨架油封15、并通過封蓋17固定，從而完成傳動軸12在轉(zhuǎn)動時的密封。在傳動軸12的末端安裝有摩擦片、傳動爪，并通過摩擦片、傳動爪與真空腔室內(nèi)的傳動部件相連接進(jìn)行傳動。氣缸7固定在支座4上，氣缸7可帶動傳動軸12做往復(fù)運(yùn)動。從而使得真空傳動機(jī)構(gòu)可以在真空腔室中間歇的、避免干涉的輸出轉(zhuǎn)動和直線運(yùn)動。
權(quán)利要求
1. 一種磁控派射鍍膜真空傳動機(jī)構(gòu)，包括支座(4 ),固定在支座(4 )上的電機(jī)(6 )、由電機(jī)(6 )帶著轉(zhuǎn)動的傳動軸(12 )，固定在支座上的氣缸(7 )，設(shè)置在真空腔室外側(cè)的真空連接板(1)，固定板(2)，固定在真空連接板(I)和固定板(2)之間的滑竿，其特征在于，支座(4)通過直線軸承(19 )套接在滑竿(3 )，氣缸(7 )帶動支座(4 )做往復(fù)運(yùn)動，并帶動支座(4 )在滑竿(3)上滑動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動軸(12)的一端穿過真空連接板(I)設(shè)置在真空腔室內(nèi)，另一端套接在外軸套(11)上，所述外軸套(11)設(shè)置在真空連接板⑴和支座⑷之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，外軸套(11)上套有金屬波紋管(8),所述波紋管(8)設(shè)置在支座(4)和真空連接板(I)之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述金屬波紋管(8)與外軸套(11)的連接處設(shè)置有O型密封圈(13)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述直線軸承(19)與支座(4)和滑竿(3)的連接處設(shè)置有軸用彈性擋圈(21)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動軸(12)和外軸套(11)連接處從內(nèi)往外依次設(shè)置有骨架油封(15)、隔環(huán)(16)、骨架油封(15)、軸承(10)、孔用彈性擋圈(20)、隔環(huán)(16)、骨架油封(15)，并使用封蓋(17)固定，完成傳動軸在轉(zhuǎn)動時的密封。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動軸(12)通過聯(lián)軸器(9)和平鍵(18)與電機(jī)(6)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，，電機(jī)(6)通過電機(jī)安裝座(5)設(shè)置在支座(4)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動軸(12)的末端設(shè)置有摩擦片或傳動爪。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述真空連接板通過螺栓和O型密封圈(13)固定在真空腔室上。
全文摘要
本發(fā)明涉及到一種磁控濺射鍍膜裝置,尤其涉及到一種磁控濺射鍍膜裝置的真空傳動機(jī)構(gòu)。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是包括支座，固定在支座上的電機(jī)、由電機(jī)帶著轉(zhuǎn)動的傳動軸，固定在支座上的氣缸，設(shè)置在真空腔室外側(cè)的真空連接板,固定板,固定在真空連接板和固定板之間的滑竿，其中，支座通過直線軸承套接在滑竿，氣缸帶動支座做往復(fù)運(yùn)動，并帶動支座在滑竿上滑動，本發(fā)明避免了傳動和往復(fù)運(yùn)動時的互相干涉的缺點(diǎn)。
文檔編號C23C14/35GK103046014SQ201210589330
公開日2013年4月17日 申請日期2012年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月31日
發(fā)明者梁德剛, 李征 申請人:上海子創(chuàng)鍍膜技術(shù)有限公司