電極及鍍膜裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種電極，其由導(dǎo)電材料制成并包括第一表面、第二表面及兩個(gè)相背設(shè)置的第一側(cè)面。該第二表面與該第一表面相背設(shè)置。該兩個(gè)第一側(cè)面均與該第一表面及該第二表面連接。該第二表面及該兩個(gè)第一側(cè)面上均設(shè)置多個(gè)散熱鰭片，用于將該電極在工作過程中所產(chǎn)生的熱量散發(fā)出去。本發(fā)明還涉及一種使用該電極的鍍膜裝置。
【專利說明】電極及鍍膜裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及鍍膜領(lǐng)域，尤其涉及一種電極及一種鍍膜裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)在對(duì)塑料基板的表面進(jìn)行鍍膜一般采用濺鍍的方法。但是濺鍍時(shí)需要將電極與塑料基板接觸，而電極長時(shí)間通電后，溫度會(huì)上升，導(dǎo)致電極的熱量會(huì)傳遞到塑料基板上，使得塑料基板容易變形或者產(chǎn)生黃化現(xiàn)象，影響產(chǎn)品良率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此，有必要提供一種可有效提高產(chǎn)品良率的電極及鍍膜裝置。
[0004]—種電極,其由導(dǎo)電材料制成并包括一個(gè)第一表面、一個(gè)第二表面及兩個(gè)相背設(shè)置的第一側(cè)面。該第二表面與該第一表面相背設(shè)置。該兩個(gè)第一側(cè)面均與該第一表面及該第二表面連接。該第二表面及該兩個(gè)第一側(cè)面上均設(shè)置多個(gè)散熱鰭片，用于將該電極在工作過程中所產(chǎn)生的熱量散發(fā)出去。
[0005]一種鍍膜裝置，用于對(duì)一個(gè)塑料基板進(jìn)行鍍膜。該塑料基板包括相背設(shè)置的一個(gè)待鍍膜面及一個(gè)固定面。該鍍膜裝置內(nèi)形成有一個(gè)密封的工作腔體并包括容置在該工作腔體內(nèi)的第一電極、第二電極、一個(gè)祀材、一個(gè)電源。該第一電極由導(dǎo)電材料制成并包括一個(gè)第一表面、一個(gè)第二表面及兩個(gè)相背設(shè)置的第一側(cè)面。該第二表面與該第一表面相背設(shè)置。該兩個(gè)第一側(cè)面均與該第一表面及該第二表面連接。該第二表面及該兩個(gè)第一側(cè)面上均設(shè)置多個(gè)散熱鰭片，用于將該電極在工作過程中所產(chǎn)生的熱量散發(fā)出去。該電源包括一個(gè)正極及一個(gè)負(fù)極。該第一電極與該正極電連接，該第二電極與該負(fù)極電連接，使得該第一電極及該第二電極之間形成一個(gè)電場。該固定面固定在該第一表面上，使得該待鍍膜面面向該第二電極設(shè)置。該靶材設(shè)置在該第二電極上，且面向該待鍍膜面設(shè)置。
[0006]與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明的電極及鍍膜裝置，通過該電極上設(shè)置的多個(gè)散熱鰭片，使得該電極在工作過程中產(chǎn)生的熱量容易散發(fā)出去。因此在工作過程中，該電極的溫度并不會(huì)升聞，使得該塑料基板不容易變形，以有效提聞廣品良率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是本發(fā)明較佳實(shí)施方式的鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]圖2是圖1的鍍膜裝置的分解示意圖。
[0009]圖3是圖1的鍍膜裝置沿II1-1II方向的剖視圖。
[0010]主要元件符號(hào)說明
【權(quán)利要求】
1.一種電極,其由導(dǎo)電材料制成并包括一個(gè)第一表面、一個(gè)第二表面及兩個(gè)相背設(shè)置的第一側(cè)面，該第二表面與該第一表面相背設(shè)置，該兩個(gè)第一側(cè)面均與該第一表面及該第二表面連接，該第二表面及該兩個(gè)第一側(cè)面上均設(shè)置多個(gè)散熱鰭片，用于將該電極在工作過程中所產(chǎn)生的熱量散發(fā)出去。
2.如權(quán)利要求1所述的電極，其特征在于，該電極還包括兩個(gè)相背設(shè)置的第二側(cè)面，該兩個(gè)第二側(cè)面均與該第一表面、該第二表面及該兩個(gè)第一側(cè)面連接，該電極上還開設(shè)多個(gè)貫穿該兩個(gè)第二側(cè)面的冷卻流道，該冷卻流道用于充入冷卻液。
3.如權(quán)利要求2所述的電極，其特征在于，每個(gè)該冷卻流道的內(nèi)壁均設(shè)置有一個(gè)導(dǎo)熱絕緣套管，該冷卻液位于該導(dǎo)熱絕緣套管內(nèi)。
4.如權(quán)利要求1所述的電極，其特征在于，該第二表面及該兩個(gè)第一側(cè)面上的該多個(gè)散熱鰭片均等間距設(shè)置。
5.如權(quán)利要求1所述的電極，其特征在于，該第一表面為平面。
6.一種鍍膜裝置，用于對(duì)一個(gè)塑料基板進(jìn)行鍍膜，該塑料基板包括相背設(shè)置的一個(gè)待鍍膜面及一個(gè)固定面；該鍍膜裝置包括一個(gè)密封的工作腔體及容置在該工作腔體內(nèi)的第一電極、第二電極及一個(gè)電源，該第一電極由導(dǎo)電材料制成并包括一個(gè)第一表面、一個(gè)第二表面及兩個(gè)相背設(shè)置的第一側(cè)面，該第二表面與該第一表面相背設(shè)置，該兩個(gè)第一側(cè)面均與該第一表面及該第二表面連接，該第二表面及該兩個(gè)第一側(cè)面上均設(shè)置多個(gè)散熱鰭片，用于將該電極在工作過程中所產(chǎn)生的熱量散發(fā)出去；該電源包括一個(gè)正極及一個(gè)負(fù)極；該第一電極與該正極電連接，該第二電極與該負(fù)極電連接，使得該第一電極及該第二電極之間形成一個(gè)電場；該固定面固定在該第一表面上，使得該待鍍膜面面向該第二電極設(shè)置，該第二電極用于將靶材面向該待鍍膜面設(shè)置。
7.如權(quán)利要求6所述的鍍膜裝置，其特征在于，該第一電極還包括兩個(gè)相背設(shè)置的第二側(cè)面，該兩個(gè)第二側(cè)面均與該第一表面、該第二表面及該兩個(gè)第一側(cè)面連接，該電極上還開設(shè)多個(gè)貫穿該兩個(gè)第二側(cè)面的冷卻流道，該冷卻流道用于充入冷卻液，用于對(duì)該第一電極進(jìn)行冷卻。
8.如權(quán)利要求7所述的鍍膜裝置，其特征在于，每個(gè)該冷卻流道的內(nèi)壁均設(shè)置有一個(gè)導(dǎo)熱絕緣套管，該冷卻液位于該導(dǎo)熱絕緣套管內(nèi)。
9.如權(quán)利要求6所述的鍍膜裝置，其特征在于，該第一表面為平面。
10.如權(quán)利要求6-9中任一項(xiàng)所述的鍍膜裝置，其特征在于，該第二電極的結(jié)構(gòu)與該第一電極的結(jié)構(gòu)相同。
【文檔編號(hào)】C23C14/34GK103882387SQ201210563735
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2012年12月24日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月24日
【發(fā)明者】王何立穎 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司