基片裝載裝置和pecvd設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基片裝載裝置，包括：基片上料組件，包括：分別放置有基片的至少兩個(gè)料盒；平行地水平設(shè)置且沿傳輸方向同步運(yùn)動(dòng)的至少三條傳送帶；上料臺(tái)，上料臺(tái)與至少三條傳送帶的第二端對(duì)應(yīng)設(shè)置；限位組件，所述限位組件設(shè)在上料臺(tái)的第二端上以同步停止至少三條傳送帶；和取片機(jī)械手；載片裝置，所述載片裝置包括升起氣缸和設(shè)在升起氣缸上方的至少兩個(gè)托盤，其中取片機(jī)械手將取到的至少兩個(gè)基片一一對(duì)應(yīng)地放置到至少兩個(gè)托盤上；與上料臺(tái)并列設(shè)置的載板；以及設(shè)在載板和載片裝置之間的上料機(jī)械手。根據(jù)本發(fā)明的基片裝載裝置，整個(gè)上料過程的效率得到了大幅的提高，節(jié)省了成本，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。本發(fā)明還公開了一種PECVD設(shè)備。
【專利說明】基片裝載裝置和PECVD設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種基片裝載裝置和具有其的PECVD設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在傳統(tǒng)的太陽能平板式PECVD (等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)設(shè)備中，電池片料盒通過上料結(jié)構(gòu)上料，其中取片機(jī)械手將電池片從料盒中逐片取出并將該基片放到頂起氣缸的托盤上。然后高速機(jī)械手將電池片逐片地放到載板上。在載板裝滿后傳入PECVD中進(jìn)行工藝，在進(jìn)行工藝處理后經(jīng)過回收系統(tǒng)以及下料結(jié)構(gòu)將電池片傳出。取片機(jī)械手的取片效率低，導(dǎo)致高速機(jī)械手的能效不能充分地發(fā)揮，從而整個(gè)上料過程的效率很低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明需要提供一種基片裝載裝置，所述基片裝載裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制和操作簡(jiǎn)單，成本低，且基片的裝載效率高。
[0004]本發(fā)明進(jìn)一步還需要提供一種具有上述基片裝載裝置的PECVD設(shè)備。
[0005]根據(jù)本發(fā)明第一方面實(shí)施例的基片裝載裝置，包括:基片上料組件，所述基片上料組件包括:至少兩個(gè)料盒，所述至少兩個(gè)料盒中分別放置有基片；至少三條傳送帶，所述至少三條傳送帶平行地水平設(shè)置且沿著所述傳輸帶的傳輸方向同步運(yùn)動(dòng)用于將至少兩個(gè)料盒從所述傳送帶的第一端同步傳送至第二端；上料臺(tái)，所述上料臺(tái)與所述至少三條傳送帶的第二端對(duì)應(yīng)設(shè)置以接納所述至少三條傳送帶送來的至少兩個(gè)料盒；限位組件，所述限位組件設(shè)在所述上料臺(tái)的第二端上，當(dāng)所述至少兩個(gè)料盒到達(dá)所述限位組件處時(shí)所述至少三條傳送帶同步停止；和取片機(jī)械手，所述取片機(jī)械手用于從所述至少兩個(gè)料盒內(nèi)中同時(shí)一一對(duì)應(yīng)地取出至少兩個(gè)基片放置到載板上；載片裝置，所述載片裝置包括升起氣缸和設(shè)在所述升起氣缸上方的至少兩個(gè)托盤，其中所述基片上料組件中的取片機(jī)械手將取到的至少兩個(gè)基片一一對(duì)應(yīng)地放置到所述至少兩個(gè)托盤上；載板，載板與所述上料臺(tái)并列設(shè)置；以及上料機(jī)械手，所述上料機(jī)械手設(shè)在所述載板和所述載片裝置之間以將所述托盤上的至少兩個(gè)基片取出并放置到所述載板上。
[0006]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基片裝載裝置，通過至少兩個(gè)料盒同時(shí)上料，實(shí)現(xiàn)了倍數(shù)上料的思想，使得可同時(shí)向載板上裝載多個(gè)基片，基片的裝載效率高，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制和操作簡(jiǎn)單且成本低。另外，通過設(shè)置限位組件，可保證料盒傳送到上料臺(tái)的正確位置上。
[0007]另外，根據(jù)本發(fā)明的基片裝載裝置還具有如下附加技術(shù)特征:
[0008]所述限位組件包括:至少兩塊擋板，所述至少兩塊擋板與所述至少兩個(gè)料盒的位置在所述傳輸方向上一一對(duì)應(yīng)以止擋所述至少兩個(gè)料盒；和限位開關(guān)，其中當(dāng)所述至少兩個(gè)擋板止擋住所述至少兩個(gè)料盒時(shí)，所述限位開關(guān)動(dòng)作以控制所述至少三個(gè)傳送帶同步停止。[0009]所述至少三條傳送帶包括:第一和第二傳送帶，所述第一和第二傳輸帶平行設(shè)置；第三傳送帶，所述第三傳送帶位于所述第一和第二傳送帶之間，其中所述第三傳送帶的寬度大于所述第一和第二傳送帶的寬度。
[0010]可選地，所述第三傳送帶的數(shù)量為一條。
[0011]可選地，所述第一和第二傳送帶的寬度相等。由此制造方便且成本低。
[0012]所述取片機(jī)械手具有:支架；手臂，所述手臂的一端與所述支架相連；和至少兩個(gè)基片吸附件，所述至少兩個(gè)基片吸附件設(shè)在所述手臂上且沿所述手臂的長度方向間隔開以便從所述至少兩個(gè)料盒內(nèi)同時(shí)吸附出至少兩個(gè)基片。
[0013]可選地，所述基片吸附件為吸盤。
[0014]所述上料機(jī)械手包括上料手臂和至少兩個(gè)上料吸盤，所述至少兩個(gè)上料吸盤設(shè)在所述上料手臂上且沿所述手臂的長度方向間隔開以便從所述至少兩個(gè)托盤上同時(shí)吸附出至少兩個(gè)基片放置到所述載板上。
[0015]所述上料機(jī)械手與所述取片機(jī)械手相連。由此，簡(jiǎn)化了整個(gè)基片裝載裝置的結(jié)構(gòu)，且節(jié)省了成本。
[0016]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基片裝載裝置，可同時(shí)向載板上裝載多個(gè)基片，基片的裝載效率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制和操作簡(jiǎn)單且成本低。
[0017]根據(jù)本發(fā)明第二方面實(shí)施例的一種PECVD設(shè)備，包括根據(jù)本發(fā)明第一方面實(shí)施例所述的基片裝置。
[0018]本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)`將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0020]圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基片裝載裝置的示意圖；
[0021]圖2是圖1中所示的基片裝載裝置中的基片上料組件中的傳送帶的示意圖；
[0022]圖3是圖1中所示的基片上料組件中的取片機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖4是圖1中所示的基片上料組件中的載片裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖5是圖4中所示的載片裝置的俯視圖；和
[0025]圖6是圖1中所示的基片上料組件中的上料機(jī)械手的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0027]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。此外，在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。
[0028]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0029]下面首先參考圖1描述根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基片裝載裝置，用于裝載基片200例如電池片，以便對(duì)基片200進(jìn)行加工操作。
[0030]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基片裝載裝置包括:基片上料組件100、載片裝置300、載板400和上料機(jī)械手500，其中基片上料組件100包括:至少兩個(gè)料盒110、至少三條傳送帶、上料臺(tái)130、限位組件140和取片機(jī)械手150。
[0031]圖1中顯示了兩個(gè)料盒110用于示例說明的目的，但是普通技術(shù)人員在閱讀了下面的技術(shù)方案之后、顯然可以理解將該方案應(yīng)用到三個(gè)或者更多個(gè)料盒的技術(shù)方案中，這也落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。兩個(gè)料盒110中可以容納基片200。可選地，在料盒110內(nèi)可沿上下方向排列多層基 片200。至少三條傳送帶平行地水平設(shè)置且沿傳輸方向Al同步運(yùn)動(dòng)用于將料盒110沿著該傳送帶的傳輸方向Al從傳送帶的第一端(如圖1中的右端)同步傳送至第二端(如圖1中的左端)。也就是說，相鄰的每兩條傳送帶上可放置并傳送一個(gè)料盒110，例如當(dāng)傳送帶包括三條時(shí)，可傳送兩個(gè)料盒110，如圖1所示，當(dāng)然，傳送帶的數(shù)量并不局限于圖1中所示的數(shù)量。只要料盒的大小合適，可以繼續(xù)擴(kuò)大上料臺(tái)130的寬度，使得三個(gè)或者更多的料盒同時(shí)上料，例如當(dāng)傳送帶包括五條時(shí)，可兩兩分別同步地傳送四個(gè)料盒 110。
[0032]上料臺(tái)130與傳送帶的第二端(如圖1中的左端)對(duì)應(yīng)設(shè)置，以接納傳送帶121、122,123送來的料盒110。限位組件140設(shè)在上料臺(tái)130的第二端(如圖1中的左端)上，當(dāng)料盒110到達(dá)限位組件140處時(shí)傳送帶121、122、123同步停止。取片機(jī)械手150用于從料盒110內(nèi)同時(shí)取出至少兩個(gè)基片200。
[0033]具體地，當(dāng)基片上料組件100工作時(shí)，由傳送帶向上料臺(tái)130輸送料盒110，當(dāng)料盒110到達(dá)限位組件140處時(shí)，傳送帶121、122、123同步停止。此時(shí)，取片機(jī)械手150分別從料盒110中取出基片200，然后再向載板400傳送。
[0034]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基片裝載裝置，通過基片上料組件100使至少兩個(gè)料盒110同時(shí)上料，實(shí)現(xiàn)了倍數(shù)上料的思想，使得可同時(shí)向載板上裝載多個(gè)基片，基片的裝載效率高，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制和操作簡(jiǎn)單且成本低。另外，通過設(shè)置限位組件140，可保證料盒110傳送到上料臺(tái)130的正確位置上。
[0035]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，限位組件140包括至少兩塊擋板141和限位開關(guān)142，其中至少兩塊擋板141與料盒110的位置在傳輸方向Al上相對(duì)應(yīng)，用于當(dāng)料盒110運(yùn)動(dòng)到擋板141處時(shí)止擋至少兩個(gè)料盒110。此時(shí)，當(dāng)至少兩個(gè)擋板141止擋住對(duì)應(yīng)的料盒110時(shí)，限位開關(guān)142動(dòng)作以控制至少三個(gè)傳送帶同步停止?？梢岳斫獾氖?，通過限位開關(guān)142使傳送帶同步停止的具體連接或控制方式，對(duì)本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員是已知的，例如將限位開關(guān)142與至少三個(gè)傳送帶的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接等，在此不再贅述。[0036]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，至少三條傳送帶包括:彼此平行設(shè)置的第一傳送帶121和第二傳送帶122、以及第三傳送帶123，其中第三傳送帶123位于第一傳送帶121和第二傳送帶122之間，其中第三傳送帶123的寬度可以大于第一傳送帶121和第二傳送帶122的寬度。可選地，第三傳送帶123的數(shù)量為一條。如圖1和圖2所示，這樣，兩個(gè)料盒110分別放置在第一傳送帶121和第三傳送帶123上、和第二傳送帶122和第三傳送帶123上，并實(shí)現(xiàn)同步運(yùn)動(dòng)或停止。當(dāng)然，第三傳送帶123的數(shù)量可以為多條，以便能傳送更多數(shù)量的料盒110?？蛇x地，第一傳送帶121和第二傳送帶122的寬度相等。由此制造方便且成本低。
[0037]如圖1和圖3所示，取片機(jī)械手150具有支架151、手臂152和至少兩個(gè)基片吸附件153，其中手臂152的一端與支架151相連，至少兩個(gè)基片吸附件153設(shè)在手臂152上且沿手臂152的長度方向間隔開以便從至少兩個(gè)料盒110內(nèi)同時(shí)吸附出至少兩個(gè)基片200?？蛇x地，基片吸附件153為吸盤。其中，為了實(shí)現(xiàn)使取片機(jī)械手150可從料盒110內(nèi)吸附基片，在本發(fā)明的一些示例中，手臂152或基片吸附件153可具有多個(gè)自由度。
[0038]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，載片裝置300可以包括升起氣缸310和設(shè)在升起氣缸310上方的至少兩個(gè)托盤320，其中基片上料組件100中的取片機(jī)械手150將取到的至少兩個(gè)基片200——對(duì)應(yīng)地放置到至少兩個(gè)托盤320上?？蛇x地，每相鄰的兩個(gè)托盤320用于支撐一個(gè)基片200，此時(shí)，托盤320的數(shù)量與傳送帶的數(shù)量一致且對(duì)應(yīng)設(shè)置，如圖4中所示。
[0039]在本發(fā)明的一個(gè)示例中，如圖4和圖5所示，當(dāng)三條傳送帶輸送兩個(gè)料盒110到上料臺(tái)130上后，取片機(jī)械手150分別將兩個(gè)料盒110內(nèi)的兩個(gè)基片200取出，且放置到三個(gè)托盤上，其中三個(gè)托盤中的中間一個(gè)托盤320b分別與其兩側(cè)的兩個(gè)托盤320a和320c分別支撐兩個(gè)基片200。也就是說，托盤320a和320b共同支撐一個(gè)基片200，而托盤320b和320c共同支撐另一個(gè)基片200。在這種情況下，中間的托盤320b可適當(dāng)增加寬度以適于分別與托盤320a和320c配合用于支撐基片200。
[0040]可選地，載片裝置30 0還包括支撐架330，如圖4和圖5所示，支撐架330用于支撐升起氣缸310。
[0041]載板400與上料臺(tái)130并列設(shè)置以接收基片200。上料機(jī)械手500設(shè)在載板400和載片裝置300之間以將托盤上的至少兩個(gè)基片200取出并放置到載板400上。
[0042]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基片裝載裝置，通過采用上述實(shí)施例中的基片上料組件100，且通過可同時(shí)放置多個(gè)基片200的載片裝置300和上料機(jī)械手500，使得可同時(shí)向載板400上裝載多個(gè)基片，基片的裝載效率高，另外，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基片裝載裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制和操作簡(jiǎn)單且成本低。
[0043]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，上料機(jī)械手500包括上料手臂510和至少兩個(gè)上料吸盤520，至少兩個(gè)上料吸盤520設(shè)在上料手臂510上且沿手臂152的長度方向間隔開以便從至少兩個(gè)托盤上同時(shí)吸附出至少兩個(gè)基片200放置到載板400上。
[0044]在本發(fā)明的一個(gè)示例中，上料機(jī)械手500與所述取片機(jī)械手150相連?？蛇x地，上料手臂510連接在取片機(jī)械手150的支架151上，且上料機(jī)械手500和取片機(jī)械手150被構(gòu)造成:當(dāng)取片機(jī)械手150向右移動(dòng)至上料臺(tái)130處時(shí)，由基片吸附件153吸取上料臺(tái)130上料盒110內(nèi)的基片200 ;而上料機(jī)械手500隨同取片機(jī)械手150向右運(yùn)動(dòng)至載片裝置300的托盤320處，并由上料吸盤520將托盤320內(nèi)的基片吸取，然后，取片機(jī)械手150向左運(yùn)動(dòng)到托盤320處將吸附后的基片200放置到托盤320內(nèi)，此時(shí)上料機(jī)械手500運(yùn)動(dòng)至載板400處，將上料吸盤520吸取的基片放置到載板400上。換言之，這樣通過支架151的來回運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)上料機(jī)械手500的上料吸盤520和取片機(jī)械手150的基片吸附件153來回運(yùn)動(dòng)以完成對(duì)基片200從置于上料臺(tái)130的料盒110內(nèi)到載板400上的過程。由此，簡(jiǎn)化了整個(gè)基片裝載裝置的結(jié)構(gòu)，且節(jié)省了成本。
[0045]下面參考圖1描述根據(jù)本發(fā)明的基片裝載裝置的工作過程，其中在本發(fā)明的以下描述中以同時(shí)裝載兩個(gè)基片為例進(jìn)行說明。本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員可以理解，當(dāng)同時(shí)裝載多個(gè)基片時(shí)原理與同時(shí)裝載兩個(gè)基片的原理一致，在此不再贅述。并且，為了描述方便，在以下的說明中將根據(jù)圖1中的方向進(jìn)行描述，即基片200從右側(cè)的料盒110內(nèi)傳送至左側(cè)的載板400上。
[0046]首先,基片上料組件100開始工作，即由傳送帶向上料臺(tái)130輸送料盒110,當(dāng)料盒110到達(dá)限位組件140處時(shí)，傳送帶同步停止。此時(shí)取片機(jī)械手150分別從兩個(gè)料盒110中同時(shí)取出兩個(gè)基片200，然后向左運(yùn)動(dòng)，直到將基片200同時(shí)放置到載片裝置300的三個(gè)托盤上，然后取片機(jī)械手150又向右運(yùn)動(dòng)至上料臺(tái)130處，以進(jìn)行第二次取片。
[0047]而在取片機(jī)械手150向右運(yùn)動(dòng)的過程中，取片機(jī)械手150的支架151同時(shí)帶動(dòng)上料機(jī)械手500向右運(yùn)動(dòng)，當(dāng)取片機(jī)械手150到達(dá)上料臺(tái)130處時(shí)吸取料盒110內(nèi)的基片200時(shí)，上料機(jī)械手500也到達(dá)載片裝置300處，此時(shí)上料機(jī)械手500的上料吸盤520同時(shí)吸取放在載片裝置300的托盤上的基片200 ;然后取片機(jī)械手150向左朝向載片裝置300運(yùn)動(dòng)，同時(shí)上料機(jī)械手500朝向載板400運(yùn)動(dòng)，當(dāng)取片機(jī)械手150到達(dá)載片裝置300處向托盤上放下第二次吸取的基片200時(shí)，上料機(jī)械手500向載板400上放下第一次吸取的基片200，然后上料機(jī)械手500和取片機(jī)械手150再向右同時(shí)運(yùn)動(dòng)以吸取下一次的基片。重復(fù)此過程，直到兩個(gè)料盒110內(nèi)的基片全部被取走，且載板400上被載滿后，上料過程結(jié)束。
[0048]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基片裝載裝置，可同時(shí)向載板400上裝載多個(gè)基片，基片的裝載效率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制和操 作簡(jiǎn)單且成本低。
[0049]根據(jù)本發(fā)明第二方面實(shí)施例的PECVD (等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)設(shè)備，包括根據(jù)本發(fā)明第一方面實(shí)施例所述的基片裝載裝置。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的PECVD設(shè)備的其他構(gòu)成和操作對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言都是已知的，這里不再詳細(xì)描述。
[0050]在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對(duì)上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
[0051]盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解:在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種基片裝載裝置，包括基片上料組件，其特征在于，所述基片上料組件包括: 至少兩個(gè)料盒，所述至少兩個(gè)料盒用于在其中容納基片； 至少三條傳送帶，所述至少三條傳送帶平行地水平設(shè)置且沿著所述傳輸帶的傳輸方向同步運(yùn)動(dòng)用于將至少兩個(gè)料盒從所述傳送帶的第一端同步傳送至第二端； 上料臺(tái)，所述上料臺(tái)與所述至少三條傳送帶的第二端對(duì)應(yīng)設(shè)置以接納所述至少三條傳送帶送來的至少兩個(gè)料盒； 限位組件，所述限位組件設(shè)在所述上料臺(tái)的第二端上，當(dāng)所述至少兩個(gè)料盒到達(dá)所述限位組件處時(shí)所述至少三條傳送帶同步停止；以及 取片機(jī)械手，所述取片機(jī)械手用于從所述至少兩個(gè)料盒內(nèi)中同時(shí)對(duì)應(yīng)地取出至少兩個(gè)基片放置到載板上； 載片裝置，所述載片裝置包括升起氣缸和設(shè)在所述升起氣缸上方的至少兩個(gè)托盤，其中所述基片上料組件中的取片機(jī)械手將取到的至少兩個(gè)基片一一對(duì)應(yīng)地放置到所述至少兩個(gè)托盤上； 載板，載板與所述上料臺(tái)并列設(shè)置；以及 上料機(jī)械手，所述上料機(jī)械手設(shè)在所述載板和所述載片裝置之間以將所述托盤上的至少兩個(gè)基片取出并放置到所述載板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片裝載裝置，其特征在于，所述限位組件包括: 至少兩塊擋板，所述至 少兩塊擋板與所述至少兩個(gè)料盒的位置在所述傳輸方向上對(duì)應(yīng)以止擋所述至少兩個(gè)料盒；和 限位開關(guān)，其中當(dāng)所述至少兩個(gè)擋板止擋住所述至少兩個(gè)料盒時(shí)，所述限位開關(guān)動(dòng)作以控制所述至少三個(gè)傳送帶同步停止。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片裝載裝置，其特征在于，所述至少三條傳送帶包括: 第一和第二傳送帶，所述第一和第二傳輸帶平行設(shè)置； 第三傳送帶，所述第三傳送帶位于所述第一和第二傳送帶之間，其中所述第三傳送帶的寬度大于所述第一和第二傳送帶的寬度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基片裝載裝置，其特征在于，所述第三傳送帶的數(shù)量為一條。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基片裝載裝置，其特征在于，所述第一和第二傳送帶的寬度相等。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片裝載裝置，其特征在于，所述取片機(jī)械手包括: 支架； 手臂，所述手臂的一端與所述支架相連；以及 至少兩個(gè)基片吸附件，所述至少兩個(gè)基片吸附件設(shè)在所述手臂上且沿所述手臂的長度方向間隔開，以便從所述至少兩個(gè)料盒內(nèi)同時(shí)吸附出至少兩個(gè)基片。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基片裝載裝置，其特征在于，所述基片吸附件為吸盤。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片裝載裝置，其特征在于，所述上料機(jī)械手包括上料手臂和至少兩個(gè)上料吸盤，所述至少兩個(gè)上料吸盤設(shè)在所述上料手臂上且沿所述手臂的長度方向間隔開以便從所述至少兩個(gè)托盤上同時(shí)吸附出至少兩個(gè)基片放置到所述載板上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基片裝載裝置，其特征在于，所述上料機(jī)械手與所述取片機(jī)械手相連。
10.—種PECVD設(shè)備，其特征在于，包括根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的基片裝載裝 置 。
【文檔編號(hào)】C23C16/54GK103451630SQ201210171062
【公開日】2013年12月18日 申請(qǐng)日期:2012年5月29日 優(yōu)先權(quán)日:2012年5月29日
【發(fā)明者】張孟湜 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司