專利名稱：具有集成式電極工具的五軸電流變拋光設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種拋光裝置，特別涉及一種具有集成式電極工具的五軸電流變拋光設(shè)備。
背景技術(shù)：
電流變拋光技術(shù)是將混有磨料的電流變液體添加到工具與工件之間，利用電流變液體在電場(chǎng)作用下的電流變效應(yīng)對(duì)工件進(jìn)行拋光的技術(shù)。當(dāng)給電流變液體施加電場(chǎng)后，隨著電場(chǎng)強(qiáng)度的增加，工具與工件之間混有磨料的電流變液體粘度增加，剪切阻力增大，混有磨料的電流變液在工具的帶動(dòng)下與工件表面摩擦，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)工件表面拋光的目的。目前電流變拋光的實(shí)現(xiàn)方式是在現(xiàn)有的三軸機(jī)床或者自行開發(fā)的三坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)上添加電極工具系統(tǒng)。工具系統(tǒng)針對(duì)所拋光工件是導(dǎo)體還是非導(dǎo)體采用不同的方式。對(duì)于導(dǎo)體類工件(比如金屬材料)，通常采用針狀碳化鎢棒作為工具電極，連接電源的正極， 導(dǎo)體類工件本身連接電源的負(fù)極。對(duì)于非導(dǎo)體類工件(比如光學(xué)玻璃)，通常采用針狀碳化鎢棒連接電源的正極，采用環(huán)形輔助電極連接電源的負(fù)極，在正極和負(fù)極之間圍成的區(qū)域就是拋光區(qū)域。三自由度運(yùn)動(dòng)無(wú)法滿足復(fù)雜型面工件的拋光運(yùn)動(dòng)要求。而且導(dǎo)體和非導(dǎo)體工件采用不同的電極布置方式，極大地限制了電流變拋光技術(shù)的應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種五軸電流變拋光設(shè)備，該五軸電流變拋光設(shè)備能滿足復(fù)雜型面工件的拋光運(yùn)動(dòng)要求，解決了三自由度運(yùn)動(dòng)無(wú)法滿足復(fù)雜型面工件拋光的運(yùn)動(dòng)問(wèn)題。本發(fā)明的另一目的是提供一種電流變拋光設(shè)備所使用的集成式電極工具，該集成式電極工具的電場(chǎng)施加方式簡(jiǎn)便，既可以實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)體類工件的拋光，也可以實(shí)現(xiàn)對(duì)非導(dǎo)體類工件的拋光。本發(fā)明是由設(shè)備支座，Z軸運(yùn)動(dòng)單元，X軸運(yùn)動(dòng)單元，Y軸運(yùn)動(dòng)單元、回轉(zhuǎn)工作臺(tái)和集成式電極工具組成，Z軸運(yùn)動(dòng)單元設(shè)置在設(shè)備支座上，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)設(shè)置在Z軸運(yùn)動(dòng)單元的 Z軸工作臺(tái)上，集成式電極工具設(shè)置在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)上，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)設(shè)置在X軸運(yùn)動(dòng)單元的X 軸工作臺(tái)上。所述Z軸運(yùn)動(dòng)單元主要由交流伺服電機(jī)，直線導(dǎo)軌，滾珠絲杠，光柵尺和Z軸工作臺(tái)組成，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)安裝在Z軸工作臺(tái)上，交流伺服電機(jī)與精密滾珠絲杠通過(guò)聯(lián)軸器相連， 滾珠絲杠與Z軸工作臺(tái)連接，Z軸工作臺(tái)與直線導(dǎo)軌組成移動(dòng)副，光柵尺設(shè)置在支座的正面。Z軸運(yùn)動(dòng)單元的工作原理是交流伺服電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠，由滾珠絲杠將轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)為移動(dòng)從而帶動(dòng)工作臺(tái)在直線導(dǎo)軌上進(jìn)行移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)Z軸的直線運(yùn)動(dòng)；光柵尺用來(lái)對(duì)工作臺(tái)的位置進(jìn)行檢測(cè)和反饋，實(shí)現(xiàn)Z軸的精準(zhǔn)定位。所述X軸運(yùn)動(dòng)單元是由交流伺服電機(jī)、直線導(dǎo)軌、X軸工作臺(tái)、滾珠絲杠、光柵尺和座組成，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)安裝在X軸工作臺(tái)上，交流伺服電機(jī)與滾珠絲杠通過(guò)聯(lián)軸器相連，滾珠絲杠與X軸工作臺(tái)連接，X軸工作臺(tái)與直線導(dǎo)軌組成移動(dòng)副，直線導(dǎo)軌設(shè)置在座上，光柵尺設(shè)置在座上。X軸運(yùn)動(dòng)單元的工作原理是交流伺服電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠，由絲杠將轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)為移動(dòng)從而帶動(dòng)X軸工作臺(tái)在直線導(dǎo)軌上進(jìn)行移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)X軸的直線運(yùn)動(dòng)；光柵尺用來(lái)對(duì)X軸工作臺(tái)的位置進(jìn)行反饋，實(shí)現(xiàn)X軸的精準(zhǔn)定位。所述Y軸運(yùn)動(dòng)單元是由交流伺服電機(jī)、Y軸工作臺(tái)、滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌、光柵尺和座組成，交流伺服電機(jī)與滾珠絲杠通過(guò)聯(lián)軸器相連，滾珠絲杠與Y軸工作臺(tái)連接，Y軸工作臺(tái)與直線導(dǎo)軌組成移動(dòng)副；直線導(dǎo)軌和光柵尺設(shè)置在座上，Y軸工作臺(tái)與X軸運(yùn)動(dòng)單元的座相連。Y軸運(yùn)動(dòng)單元的工作原理是交流伺服電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠，由滾珠絲杠將轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)為移動(dòng)從而帶動(dòng)Y軸工作臺(tái)在直線導(dǎo)軌上進(jìn)行移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)Y軸的直線運(yùn)動(dòng)；光柵尺用來(lái)對(duì)Y 軸工作臺(tái)的位置進(jìn)行反饋，實(shí)現(xiàn)Y軸的精準(zhǔn)定位。所述的集成式電極工具采用兩種結(jié)構(gòu)。第一種結(jié)構(gòu)是集成式電極工具是由工具夾具、電機(jī)、導(dǎo)電銅環(huán)和集成電極組成， 電機(jī)輸出軸直接與集成電極相連，兩個(gè)導(dǎo)電銅環(huán)分別嵌入工具夾具的兩環(huán)形槽中，在集成電極的方形槽中各嵌有一金屬電極，通過(guò)碳刷分別與兩導(dǎo)電銅環(huán)相連，當(dāng)集成電極進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，碳刷始終與導(dǎo)電銅環(huán)內(nèi)側(cè)保持接觸。當(dāng)對(duì)兩導(dǎo)電銅環(huán)通以高壓直流電時(shí)，集成電極的兩金屬電極之間形成電場(chǎng)，介于兩金屬電極之間的電流變液會(huì)產(chǎn)生電流變效應(yīng)。第二種結(jié)構(gòu)是集成式電極工具是由工具夾具、電機(jī)、導(dǎo)電銅環(huán)和集成電極組成， 電機(jī)輸出軸直接與集成電極相連，兩個(gè)導(dǎo)電銅環(huán)分別嵌入工具夾具的兩環(huán)形槽中，集成電極的環(huán)形金屬電極與下端導(dǎo)電銅環(huán)直接接觸，集成電極的針狀金屬電極通過(guò)碳刷與上端導(dǎo)電銅環(huán)內(nèi)側(cè)相連。集成電極進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，碳刷始終與導(dǎo)電銅環(huán)內(nèi)側(cè)保持接觸。當(dāng)對(duì)兩導(dǎo)電銅環(huán)通以高壓直流電時(shí)，集成電極的針狀金屬電極與環(huán)形金屬電極之間形成電場(chǎng)，介于兩金屬電極之間的電流變液會(huì)產(chǎn)生電流變效應(yīng)。環(huán)形金屬電極內(nèi)部注有高壓絕緣膠，防止針狀金屬電極根部與環(huán)形金屬電極內(nèi)側(cè)發(fā)生放電現(xiàn)象。集成式電極工具的工作原理是當(dāng)高壓電源通過(guò)導(dǎo)線將電壓加在導(dǎo)電銅環(huán)上，再通過(guò)碳刷，最終加在集成電極兩金屬電極之間，這樣實(shí)現(xiàn)了在兩金屬電極之間施加電場(chǎng)的目的。電機(jī)帶動(dòng)集成電極旋轉(zhuǎn)，固定在集成電極上的碳刷隨之一同旋轉(zhuǎn)，由于碳刷始終與導(dǎo)電銅環(huán)內(nèi)側(cè)保持接觸，這樣就保證了集成電極的兩個(gè)金屬電極之間始終有恒定的電場(chǎng)，加工過(guò)程中電流變液體始終處在高粘度狀態(tài)。本發(fā)明主要由X軸運(yùn)動(dòng)單元、Y軸運(yùn)動(dòng)單元、Z軸運(yùn)動(dòng)單元、兩個(gè)回轉(zhuǎn)工作臺(tái)和集成式電極工具實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)體或非導(dǎo)體材料的自由曲面零件電流變拋光加工；為保證加工精度， 每個(gè)運(yùn)動(dòng)單元都采用了高精度直流伺服電機(jī)和高精度光柵尺。本發(fā)明與已有的電流變拋光裝置比較后，其有益效果是 I、本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)五軸聯(lián)動(dòng)，能夠?qū)ψ杂汕婀ぜM(jìn)行加工。2、本發(fā)明的集成式電極工具結(jié)構(gòu)緊湊，電場(chǎng)施加方式簡(jiǎn)便。
3、由于采用集成式電極工具，既可以實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)體類工件的拋光，也可以實(shí)現(xiàn)對(duì)非導(dǎo)體類工件的拋光。


圖I為本發(fā)明實(shí)施例的立體示意圖。圖2為本發(fā)明之Z軸運(yùn)動(dòng)單元的立體示意圖。圖3為本發(fā)明之X軸運(yùn)動(dòng)單元的立體示意圖。圖4為本發(fā)明之Y軸運(yùn)動(dòng)單元的立體示意圖。圖5為本發(fā)明之集成式電極工具的第一實(shí)施例立體示意圖。圖 6為本發(fā)明之集成式電極工具的第二實(shí)施例立體示意圖。
具體實(shí)施例方式請(qǐng)參閱圖I所示,為本發(fā)明的實(shí)施例,該實(shí)施例是由設(shè)備支座101, Z軸運(yùn)動(dòng)單元 102，X軸運(yùn)動(dòng)單元103，Y軸運(yùn)動(dòng)單元104、回轉(zhuǎn)工作臺(tái)105、回轉(zhuǎn)工作臺(tái)106和集成式電極工具107組成，Z軸運(yùn)動(dòng)單元102設(shè)置在設(shè)備支座101上，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)106設(shè)置在Z軸運(yùn)動(dòng)單元102的Z軸工作臺(tái)205上，集成式電極工具107設(shè)置在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)106上，回轉(zhuǎn)工作臺(tái) 105設(shè)置在X軸運(yùn)動(dòng)單元103的X軸工作臺(tái)303上。請(qǐng)參閱圖I和圖2所示，Z軸運(yùn)動(dòng)單元102主要由交流伺服電機(jī)201，直線導(dǎo)軌 202，滾珠絲杠203，光柵尺204和Z軸工作臺(tái)205組成，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)106安裝在Z軸工作臺(tái) 205上，交流伺服電機(jī)201與精密滾珠絲杠203通過(guò)聯(lián)軸器相連，滾珠絲杠203與Z軸工作臺(tái)205連接，Z軸工作臺(tái)205與直線導(dǎo)軌202組成移動(dòng)副，光柵尺204設(shè)置在支座101的正面。Z軸運(yùn)動(dòng)單元102的工作原理是交流伺服電機(jī)201帶動(dòng)滾珠絲杠203，由滾珠絲杠203將轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)為移動(dòng)從而帶動(dòng)工作臺(tái)205在直線導(dǎo)軌202上進(jìn)行移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)Z軸的直線運(yùn)動(dòng)；光柵尺204用來(lái)對(duì)工作臺(tái)205的位置進(jìn)行檢測(cè)和反饋，實(shí)現(xiàn)Z軸的精準(zhǔn)定位。請(qǐng)參閱圖I和圖3所示，X軸運(yùn)動(dòng)單元103是由交流伺服電機(jī)301、直線導(dǎo)軌302、 X軸工作臺(tái)303、滾珠絲杠304、光柵尺305和座306組成，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)105安裝在X軸工作臺(tái)303上，交流伺服電機(jī)301與滾珠絲杠304通過(guò)聯(lián)軸器相連，滾珠絲杠304與X軸工作臺(tái) 303連接，X軸工作臺(tái)303與直線導(dǎo)軌302組成移動(dòng)副，直線導(dǎo)軌302設(shè)置在座306上，光柵尺305設(shè)置在座306上。X軸運(yùn)動(dòng)單元103的工作原理是交流伺服電機(jī)301帶動(dòng)滾珠絲杠304，由絲杠將轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)為移動(dòng)從而帶動(dòng)X軸工作臺(tái)303在直線導(dǎo)軌302上進(jìn)行移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)X軸的直線運(yùn)動(dòng)； 光柵尺305用來(lái)對(duì)X軸工作臺(tái)303的位置進(jìn)行反饋，實(shí)現(xiàn)X軸的精準(zhǔn)定位。請(qǐng)參閱圖I和圖4所示，Y軸運(yùn)動(dòng)單元104是由交流伺服電機(jī)401、Y軸工作臺(tái)402、 滾珠絲杠403、直線導(dǎo)軌404、光柵尺405和座406組成，交流伺服電機(jī)401與滾珠絲杠403 通過(guò)聯(lián)軸器相連，滾珠絲杠403與Y軸工作臺(tái)402連接，Y軸工作臺(tái)402與直線導(dǎo)軌404組成移動(dòng)副；直線導(dǎo)軌404和光柵尺405設(shè)置在座406上，Y軸工作臺(tái)402與X軸運(yùn)動(dòng)單元 103的座306相連。Y軸運(yùn)動(dòng)單元104的工作原理是交流伺服電機(jī)401帶動(dòng)滾珠絲杠403，由滾珠絲杠403將轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)為移動(dòng)從而帶動(dòng)Y軸工作臺(tái)402在直線導(dǎo)軌404上進(jìn)行移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)Y軸的直線運(yùn)動(dòng)；光柵尺405用來(lái)對(duì)Y軸工作臺(tái)402的位置進(jìn)行反饋，實(shí)現(xiàn)Y軸的精準(zhǔn)定位。本發(fā)明中，集成式電極工具107采用兩種結(jié)構(gòu)。第一種結(jié)構(gòu)是請(qǐng)參閱圖5所示，集成式電極工具107是由工具夾具711、電機(jī) 712、導(dǎo)電銅環(huán)713和集成電極714組成，電機(jī)712輸出軸直接與集成電極714相連，兩個(gè)導(dǎo)電銅環(huán)713分別嵌入工具夾具711的兩環(huán)形槽中，在集成電極714的方形槽中各嵌有一金屬電極，通過(guò)碳刷分別與兩導(dǎo)電銅環(huán)713相連，當(dāng)集成電極714進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，碳刷始終與導(dǎo)電銅環(huán)713內(nèi)側(cè)保持接觸。當(dāng)對(duì)兩導(dǎo)電銅環(huán)713通以高壓直流電時(shí)，集成電極714的兩金屬電極之間形成電場(chǎng)，介于兩金屬電極之間的電流變液會(huì)產(chǎn)生電流變效應(yīng)。第二種結(jié)構(gòu)是請(qǐng)參閱圖6所示，集成式電極工具107是由工具夾具721、電機(jī) 722、導(dǎo)電銅環(huán)723和集成電極724組成，電機(jī)722輸出軸直接與集成電極724相連，兩個(gè)導(dǎo)電銅環(huán)723分別嵌入工具夾具721的兩環(huán)形槽中，集成電極724的環(huán)形金屬電極與下端導(dǎo)電銅環(huán)直接接觸，集成電極724的針狀金屬電極通過(guò)碳刷與上端導(dǎo)電銅環(huán)內(nèi)側(cè)相連。集成電極724進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，碳刷始終與導(dǎo)電銅環(huán)723內(nèi)側(cè)保持接觸。當(dāng)對(duì)兩導(dǎo)電銅環(huán)723 通以高壓直流電時(shí)，集成電極724的針狀金屬電極與環(huán)形金屬電極之間形成電場(chǎng)，介于兩金屬電極之間的電流變液會(huì)產(chǎn)生電流變效應(yīng)。環(huán)形金屬電極內(nèi)部注有高壓絕緣膠，防止針狀金屬電極根部與環(huán)形金屬電極內(nèi)側(cè)發(fā)生放電現(xiàn)象。集成式電極工具107的工作原理是當(dāng)高壓電源通過(guò)導(dǎo)線將電壓加在導(dǎo)電銅環(huán) 713或?qū)щ娿~環(huán)723上，再通過(guò)碳刷，最終加在集成電極714或集成電極724兩金屬電極之間，這樣實(shí)現(xiàn)了在兩金屬電極之間施加電場(chǎng)的目的。電機(jī)712或電機(jī)722帶動(dòng)集成電極714 或集成電極724旋轉(zhuǎn)，固定在集成電極714或集成電極724上的碳刷隨之一同旋轉(zhuǎn)，由于碳刷始終與導(dǎo)電銅環(huán)713或?qū)щ娿~環(huán)723內(nèi)側(cè)保持接觸，這樣就保證了集成電極714或集成電極724的兩個(gè)金屬電極之間始終有恒定的電場(chǎng)，加工過(guò)程中電流變液體始終處在高粘度狀態(tài)。本發(fā)明主要由X軸運(yùn)動(dòng)單元、Y軸運(yùn)動(dòng)單元、Z軸運(yùn)動(dòng)單元、兩個(gè)回轉(zhuǎn)工作臺(tái)和集成式電極工具實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)體或非導(dǎo)體材料的自由曲面零件電流變拋光加工；為保證加工精度， 每個(gè)運(yùn)動(dòng)單元都采用了高精度直流伺服電機(jī)和高精度光柵尺。本發(fā)明與已有的電流變拋光裝置比較后，其有益效果是I、本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)五軸聯(lián)動(dòng)，能夠?qū)ψ杂汕婀ぜM(jìn)行加工；2、本發(fā)明的集成式電極工具結(jié)構(gòu)緊湊，電場(chǎng)施加方式簡(jiǎn)便；3、由于采用集成式電極工具，既可以實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)體類工件的拋光，也可以實(shí)現(xiàn)對(duì)非導(dǎo)體類工件的拋光。
權(quán)利要求
1.一種具有集成式電極工具的五軸電流變拋光設(shè)備，其特征在于是由設(shè)備支座 (101)，Z軸運(yùn)動(dòng)單元(102)，X軸運(yùn)動(dòng)單元(103)，Y軸運(yùn)動(dòng)單元(104)、回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(105)、回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(106)和集成式電極工具(107)組成，Z軸運(yùn)動(dòng)單元(102)設(shè)置在設(shè)備支座(101) 上，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(106)設(shè)置在Z軸運(yùn)動(dòng)單元(102)的Z軸工作臺(tái)(205)上，集成式電極工具 (107)設(shè)置在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(106)上，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(105)設(shè)置在X軸運(yùn)動(dòng)單元(103)的X軸工作臺(tái)(303)上；所述的Z軸運(yùn)動(dòng)單元(102)主要由交流伺服電機(jī)(201)，直線導(dǎo)軌(202)，滾珠絲杠 (203)，光柵尺(204)和Z軸工作臺(tái)(205)組成，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(106)安裝在Z軸工作臺(tái)(205) 上，交流伺服電機(jī)(201)與精密滾珠絲杠(203)通過(guò)聯(lián)軸器相連，滾珠絲杠(203)與Z軸工作臺(tái)(205)連接，Z軸工作臺(tái)(205)與直線導(dǎo)軌(202)組成移動(dòng)副，光柵尺(204)設(shè)置在支座(101)的正面；所述的X軸運(yùn)動(dòng)單元(103)是由交流伺服電機(jī)(301)、直線導(dǎo)軌(302)、X軸工作臺(tái) (303)、滾珠絲杠(304)、光柵尺(305)和座(306)組成，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(105)安裝在X軸工作臺(tái)(303)上，交流伺服電機(jī)(301)與滾珠絲杠(304)通過(guò)聯(lián)軸器相連，滾珠絲杠(304)與X 軸工作臺(tái)(303)連接，X軸工作臺(tái)(303)與直線導(dǎo)軌(302)組成移動(dòng)副，直線導(dǎo)軌(302)設(shè)置在座(306)上，光柵尺(305)設(shè)置在座(306)上；所述的Y軸運(yùn)動(dòng)單元(104)是由交流伺服電機(jī)(401)、Y軸工作臺(tái)(402)、滾珠絲杠 (403)、直線導(dǎo)軌(404)、光柵尺(405)和座(406)組成，交流伺服電機(jī)(401)與滾珠絲杠 (403)通過(guò)聯(lián)軸器相連，滾珠絲杠(403)與Y軸工作臺(tái)(402)連接，Y軸工作臺(tái)(402)與直線導(dǎo)軌(404)組成移動(dòng)副；直線導(dǎo)軌(404)和光柵尺(405)設(shè)置在座(406)上，Y軸工作臺(tái) (402)與X軸運(yùn)動(dòng)單元(103)的座(306)相連。
2.如權(quán)利要求I所述的一種集成式電極工具，其特征在于是由工具夾具(711)、電機(jī) (712)、導(dǎo)電銅環(huán)(713)和集成電極(714)組成，電機(jī)(712)輸出軸直接與集成電極(714) 相連，兩個(gè)導(dǎo)電銅環(huán)(713)分別嵌入工具夾具(711)的兩環(huán)形槽中，在集成電極(714)的方形槽中各嵌有一金屬電極，通過(guò)碳刷分別與兩導(dǎo)電銅環(huán)(713)相連，當(dāng)集成電極(714)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，碳刷始終與導(dǎo)電銅環(huán)(713)內(nèi)側(cè)保持接觸。
3.如權(quán)利要求I所述的一種集成式電極工具，其特征在于是由工具夾具(721)、電機(jī) (722)、導(dǎo)電銅環(huán)(723)和集成電極(724)組成，電機(jī)(722)輸出軸直接與集成電極(724) 相連，兩個(gè)導(dǎo)電銅環(huán)(723)分別嵌入工具夾具(721)的兩環(huán)形槽中，集成電極(724)的環(huán)形金屬電極與下端導(dǎo)電銅環(huán)直接接觸，集成電極(724)的針狀金屬電極通過(guò)碳刷與上端導(dǎo)電銅環(huán)內(nèi)側(cè)相連。集成電極(724)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，碳刷始終與導(dǎo)電銅環(huán)(723)內(nèi)側(cè)保持接觸。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種具有集成式電極工具的五軸電流變拋光設(shè)備，是由設(shè)備支座，Z軸運(yùn)動(dòng)單元，X軸運(yùn)動(dòng)單元，Y軸運(yùn)動(dòng)單元、回轉(zhuǎn)工作臺(tái)和集成式電極工具組成，Z軸運(yùn)動(dòng)單元設(shè)置在設(shè)備支座上，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)設(shè)置在Z軸運(yùn)動(dòng)單元的Z軸工作臺(tái)上，集成式電極工具設(shè)置在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)上，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)設(shè)置在X軸運(yùn)動(dòng)單元的X軸工作臺(tái)上；本發(fā)明主要由X軸運(yùn)動(dòng)單元、Y軸運(yùn)動(dòng)單元、Z軸運(yùn)動(dòng)單元、兩個(gè)回轉(zhuǎn)工作臺(tái)和集成式電極工具實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)體或非導(dǎo)體材料的自由曲面零件電流變拋光加工；為保證加工精度，每個(gè)運(yùn)動(dòng)單元都采用了高精度直流伺服電機(jī)和高精度光柵尺；本發(fā)明還公開了集成式電極工具結(jié)構(gòu)，由于采用集成式電極工具，既可以實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)體類工件的拋光，也可以實(shí)現(xiàn)對(duì)非導(dǎo)體類工件的拋光。
文檔編號(hào)B24B1/00GK102581707SQ201210060488
公開日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2012年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月9日
發(fā)明者冀世軍, 吳文征, 張雷, 曲興田, 王昕 申請(qǐng)人:吉林大學(xué)