專利名稱：一種用于真空管鍍膜的復(fù)合真空管工架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及真空管磁控濺射鍍膜機技術(shù)領(lǐng)域，尤其是真空管磁控濺射鍍膜機的真空管エ架。
背景技術(shù)：
鍍膜是真空管生產(chǎn)中的關(guān)鍵技術(shù)，現(xiàn)有真空管磁控濺射鍍膜機多為單機式生產(chǎn)，不能實現(xiàn)連續(xù)化鍍膜方式，每ー爐真空管都需要經(jīng)過裝管、抽真空、鍍膜、放氣、拾管過程，然后再進行下ー爐的重復(fù)過程，鍍膜時間占整個生產(chǎn)過程的60%左右，因此ー爐裝管數(shù)量決定了生產(chǎn)效率的高低。如圖I所示，普通鍍膜機真空管エ架2均勻的分布在大轉(zhuǎn)盤I 一周，通過自轉(zhuǎn)軸與大轉(zhuǎn)盤I連接，和大轉(zhuǎn)盤I 一起在真空室5內(nèi)實現(xiàn)自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)動作，而靶材3的消耗在固定 エ藝參數(shù)下只與時間有關(guān)系，因此在保證質(zhì)量的前提下如何提高單爐鍍管數(shù)量是提高生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素。

實用新型內(nèi)容為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點，本實用新型的目的在于提供一種用于真空管鍍膜的復(fù)合真空管エ架，它可提高真空管磁控濺射鍍膜機一爐的裝管數(shù)量，從而提高真空管鍍膜效率。為了解決上述問題，本實用新型采用以下技術(shù)方案一種用于真空管鍍膜的復(fù)合真空管エ架，包括安裝在主傳動軸上的大轉(zhuǎn)盤、與大轉(zhuǎn)盤同軸固裝的大齒輪；還包括真空管エ架，所述真空管エ架底端設(shè)置ーエ架主軸，該エ架主軸上安裝有エ架齒輪；繞所述大轉(zhuǎn)盤的軸線在其上方均布設(shè)置多個小轉(zhuǎn)盤，各小轉(zhuǎn)盤中心處分別固裝一根自轉(zhuǎn)軸且同軸安裝有小齒輪，所述各自轉(zhuǎn)軸分別通過軸承安裝在大轉(zhuǎn)盤上；所述小齒輪與所述大齒輪嚙合；與所述小轉(zhuǎn)盤還同軸安裝有ニ級傳動齒輪；在每個小轉(zhuǎn)盤上方且繞小轉(zhuǎn)盤軸線均布設(shè)置至少兩個真空管エ架；所述エ架齒輪與所述ニ級傳動齒輪嚙合；所述エ架主軸通過軸承安裝在小轉(zhuǎn)盤上；所述大齒輪與各小齒輪之間的傳動比相同；所述ニ級傳動齒輪與各エ架齒輪的傳動比相同。本實用新型的有益效果是它可提高真空管磁控濺射鍍膜機一爐的裝管數(shù)量，從而提高真空管鍍膜效率。從而與現(xiàn)有技術(shù)相比能節(jié)省生產(chǎn)成本，在同樣質(zhì)量情況下折合單支管節(jié)省生產(chǎn)成本超過20% ;生產(chǎn)效率提高約30%。同時，也降低了真空鍍膜對真空室操作空間的要求，不需要建更大的真空室，還減少了靶材浪費。
以下結(jié)合附圖
和實施例對本實用新型做進ー步的說明圖I為現(xiàn)有的真空管濺射鍍膜機真空室的俯視結(jié)構(gòu)狀態(tài)示意圖；[0013]圖2為采用本實用新型復(fù)合真空管エ架的真空管濺射鍍膜機真空室的俯視結(jié)構(gòu)狀態(tài)不意圖；圖3為本實用新型實施例的主視圖；圖中1大轉(zhuǎn)盤，2真空管エ架，3靶材，5真空室，6復(fù)合真空管エ架；7自轉(zhuǎn)軸，8主傳動軸，9大齒輪，10エ架主軸，11エ架齒輪，12小轉(zhuǎn)盤，13小齒輪，14 ニ級傳動齒輪。
具體實施方式
如圖I所示，該用于真空管鍍膜的復(fù)合真空管エ架，包括安裝在主傳動軸8上的大轉(zhuǎn)盤I、與大轉(zhuǎn)盤I同軸固裝的大齒輪9 ;還包括真空管エ架2，所述真空管エ架2底端設(shè)置ーエ架主軸10，該エ架主軸10上安裝有エ架齒輪11。繞所述大轉(zhuǎn)盤I的軸線在其上方均布設(shè)置多個小轉(zhuǎn)盤12，各小轉(zhuǎn)盤12中心處分別固裝一根自轉(zhuǎn)軸7且同軸安裝有小齒輪13，所述各自轉(zhuǎn)軸7分別通過軸承安裝在大轉(zhuǎn)盤I上；所述小齒輪13與所述大齒輪9嚙合；與所述小轉(zhuǎn)盤12還同軸安裝有ニ級傳動齒輪14。在每個小轉(zhuǎn)盤12上方且繞小轉(zhuǎn)盤12軸線均布設(shè)置有四個真空管エ架2 ;所述エ架齒輪11與所述ニ級傳動齒輪14嚙合；所述エ架主軸10通過軸承安裝在小轉(zhuǎn)盤12上。工作時，主傳動軸8驅(qū)動大轉(zhuǎn)盤I轉(zhuǎn)動，大轉(zhuǎn)盤I通過自轉(zhuǎn)軸7、小轉(zhuǎn)盤12帶動各真空管エ架2繞大轉(zhuǎn)盤I的軸線公轉(zhuǎn)。同吋，與大轉(zhuǎn)盤I同軸的大齒輪9驅(qū)動小齒輪13轉(zhuǎn)動，小齒輪13帶動自轉(zhuǎn)軸7進行自轉(zhuǎn)，安裝在同一小轉(zhuǎn)盤12上的真空管エ架2繞該小轉(zhuǎn)盤12的軸線自轉(zhuǎn)。此外，自轉(zhuǎn)軸7進ー步通過ニ級傳動齒輪14、エ架齒輪11驅(qū)動真空管エ架2進行二次自轉(zhuǎn)。這樣增加單個真空鍍膜機真空室內(nèi)的真空管エ架的數(shù)量，即增加了毎次鍍膜時安裝的真空管數(shù)量，提高了工作效率；而且不影響鍍膜質(zhì)量，并同時減少了靶材空濺射的時間即減少了靶材的浪費。本實用新型并不僅僅局限于上述實施例，作為其他實施方式兩個、三個、五個甚至更多個真空管エ架設(shè)置在ー個小轉(zhuǎn)盤上，也能實現(xiàn)發(fā)明目的，連接及傳動方式與上述方式相同。但優(yōu)選上述四個真空管エ架的方式。
權(quán)利要求1.一種用于真空管鍍膜的復(fù)合真空管工架，包括安裝在主傳動軸上的大轉(zhuǎn)盤、與大轉(zhuǎn)盤同軸固裝的大齒輪；還包括真空管工架，所述真空管工架底端設(shè)置一工架主軸，該工架主軸上安裝有工架齒輪；其特征是 繞所述大轉(zhuǎn)盤的軸線在其上方均布設(shè)置多個小轉(zhuǎn)盤，各小轉(zhuǎn)盤中心處分別固裝一根自轉(zhuǎn)軸且同軸安裝有小齒輪，所述各自轉(zhuǎn)軸分別通過軸承安裝在大轉(zhuǎn)盤上；所述小齒輪與所述大齒輪嚙合；與所述小轉(zhuǎn)盤還同軸安裝有二級傳動齒輪； 在每個小轉(zhuǎn)盤上方且繞小轉(zhuǎn)盤軸線均布設(shè)置至少兩個真空管工架；所述工架齒輪與所述二級傳動齒輪嚙合；所述工架主軸通過軸承安裝在小轉(zhuǎn)盤上； 所述大齒輪與各小齒輪之間的傳動比相同； 所述二級傳動齒輪與各工架齒輪的傳動比相同。
專利摘要一種用于真空管鍍膜的復(fù)合真空管工架，包括安裝在主傳動軸上的大轉(zhuǎn)盤、及同軸固裝的大齒輪、真空管工架及其底端設(shè)置的工架主軸，工架主軸上安裝工架齒輪；其特征是繞大轉(zhuǎn)盤在其上方均布設(shè)置多個小轉(zhuǎn)盤，各小轉(zhuǎn)盤固裝在一自轉(zhuǎn)軸上且同軸安裝小齒輪，小齒輪與大齒輪嚙合；各自轉(zhuǎn)軸分別通過軸承安裝在大轉(zhuǎn)盤上；與小轉(zhuǎn)盤同軸安裝二級傳動齒輪；在小轉(zhuǎn)盤上方繞其軸線均布設(shè)置多個真空管工架；工架齒輪與二級傳動齒輪嚙合；工架主軸通過軸承安裝在小轉(zhuǎn)盤上；大齒輪與各小齒輪的傳動比相同；二級傳動齒輪與各工架齒輪的傳動比相同。它可提高真空管鍍膜效率，節(jié)省生產(chǎn)成本，也降低了真空鍍膜對真空室操作空間的要求，還減少了靶材浪費。
文檔編號C23C14/50GK202390527SQ201120528259
公開日2012年8月22日 申請日期2011年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月16日
發(fā)明者于洪文, 何曉倩, 安利娟, 張艷麗, 李寶山, 李春江, 李萍, 陳志朋, 馬兵 申請人:山東桑樂太陽能有限公司