專(zhuān)利名稱(chēng)：一種真空管鍍膜工架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能真空管鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及ー種真空鍍膜機(jī)鍍膜室內(nèi)的真空管鍍膜エ架。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)通常使用磁控濺射鍍膜機(jī)。如圖I所示，待鍍膜管I置于真空鍍膜室內(nèi)的真空管エ架2的エ架主體3上，真空管エ架2置于大轉(zhuǎn)盤(pán)4上進(jìn)行公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)。エ架主體3長(zhǎng)度一般在50 70cm，距底部上20cm左右固定有鍍膜管護(hù)套5，護(hù)套高度在I. 5 3cm，待鍍膜管置于エ架主體3上，下端有鍍膜管護(hù)套5套住，エ架主體上部有但由于而真空管長(zhǎng)度有150cm、160cm、180cm等幾種類(lèi)型,有時(shí)有超過(guò)200cm的型號(hào)，也就說(shuō)ー支超過(guò)150cm的真空管的支撐部位有30 50cm,所有支撐彈簧卡6置于エ架主體上面的弾性本身就不是均勻的，并且在使用過(guò)程中容易有減弱現(xiàn)象產(chǎn)生，即支撐彈簧卡6彈性變小，待鍍膜管I在自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)時(shí)就會(huì)出現(xiàn)晃動(dòng)現(xiàn)象，特別待鍍膜管I的上端會(huì)晃動(dòng)幅度比較大，這樣就會(huì)造成管上下與靶材7的距離出現(xiàn)不一致的情況，影響鍍膜的均勻性，另由于管與管之間距離非常短，容易造成管與管的磨傷。

實(shí)用新型內(nèi)容為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供ー種真空管鍍膜エ架，它支撐真空管不容易失效，不易在鍍膜時(shí)發(fā)生晃動(dòng)。為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案該真空管鍍膜エ架，包括ー個(gè)或多個(gè)エ架主體，所述的エ架主體的底端通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與真空鍍膜機(jī)的動(dòng)カ裝置聯(lián)接；所述エ架主體的頂端設(shè)置支撐彈簧卡；エ架主體至少在頂部設(shè)有向上的管ロ ；所述的エ架主體頂端還設(shè)置一由耐高溫、非導(dǎo)電、非導(dǎo)磁的支撐套；所述支撐套包括一筒體，所述筒體裝配在所述エ架主體的管口內(nèi)，筒體的頂端向エ架主體外延伸井向下翻折形成外翻邊；所述支撐彈簧卡包括沿所述筒體軸向置于筒體與エ架主體之間并沿徑向具有彈性的豎直部分、向所述的エ架主體外延伸并彎曲形成的弧形部分；所述支撐彈簧卡繞所述支撐套的軸線均布設(shè)置有多條；所述支撐套的外翻邊上設(shè)有用于卡裝多條支撐彈簧卡的多個(gè)卡槽；所述支撐彈簧卡的弧形部分卡裝于卡槽內(nèi)且弧形部分突出于所述外翻邊。本實(shí)用新型的有益效果是它支撐真空管不容易失效，不易在鍍膜時(shí)發(fā)生晃動(dòng)，從而能提聞鍛I旲質(zhì)量。

[0012]
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)ー步的說(shuō)明圖I為現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖I中I處局部放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中I待鍍膜管，2真空管エ架，3エ架主體，4大轉(zhuǎn)盤(pán)，5鍍膜管護(hù)套，6支撐彈簧卡，61豎直部分，62弧形部分，7靶材，8支撐套，81卡槽，82筒體，83外翻邊。
具體實(shí)施方式
如圖3所示，該真空管鍍膜エ架包括多個(gè)エ架主體3，エ架主體3的底端通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與真空鍍膜機(jī)的動(dòng)カ裝置聯(lián)接。エ架主體3至少在頂部設(shè)有向上的管ロ。エ架主體3 的頂端設(shè)置支撐彈簧卡6。支撐彈簧卡6采用耐高溫、高彈性的材料制成，例如不銹鋼條帶。エ架主體3頂端還設(shè)置一由耐高溫、非導(dǎo)電、非導(dǎo)磁材料制成的支撐套8，例如陶瓷材料。支撐套8包括一筒體82，筒體82裝配在エ架主體3的管口內(nèi)，筒體82的頂端向エ架主體3外延伸井向下翻折形成外翻邊83。支撐彈簧卡6包括沿筒體82軸向置于筒體82與エ架主體3之間并沿徑向具有彈性的豎直部分61、向エ架主體3外延伸并彎曲形成的弧形部分62。由于豎直部分61具有徑向的弾性，使之撐在支撐套的筒體82與エ架主體3之間，從而對(duì)支撐套的筒體起到固定作用，即對(duì)支撐套起到固定作用。支撐彈簧卡6繞支撐套8的軸線均布設(shè)置有多條。支撐套8的外翻邊83上設(shè)有用于卡裝多條支撐彈簧卡6的多個(gè)卡槽81。支撐彈簧卡6的弧形部分62卡裝于卡槽81內(nèi)且弧形部分62突出于外翻邊83。支撐彈簧卡6的弧形部分62 —方面便于待鍍膜管插到エ架主體3上，且減少插裝時(shí)對(duì)待鍍膜管的管ロ部進(jìn)行碰撞，另一方面利用其弧形部分的弾性對(duì)待鍍膜管形成進(jìn)ー步的支撐。
權(quán)利要求1.ー種真空管鍍膜エ架，包括一個(gè)或多個(gè)エ架主體，所述的エ架主體的底端通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與真空鍍膜機(jī)的動(dòng)カ裝置聯(lián)接；所述エ架主體的頂端設(shè)置支撐彈簧卡；エ架主體至少在頂部設(shè)有向上的管ロ ；其特征是 所述的エ架主體頂端還設(shè)置一由耐高溫、非導(dǎo)電、非導(dǎo)磁的支撐套；所述支撐套包括一筒體，所述筒體裝配在所述エ架主體的管口內(nèi)，筒體的頂端向エ架主體外延伸井向下翻折形成外翻邊； 所述支撐彈簧卡包括沿所述筒體軸向置于筒體與エ架主體之間并沿徑向具有彈性的豎直部分、向所述的エ架主體外延伸并彎曲形成的弧形部分； 所述支撐彈簧卡繞所述支撐套的軸線均布設(shè)置有多條； 所述支撐套的外翻邊上設(shè)有用于卡裝多條支撐彈簧卡的多個(gè)卡槽；所述支撐彈簧卡的弧形部分卡裝于卡槽內(nèi)且弧形部分突出于所述外翻邊。
專(zhuān)利摘要一種真空管鍍膜工架，包括一個(gè)或多個(gè)工架主體，工架主體的底端通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與真空鍍膜機(jī)的動(dòng)力裝置聯(lián)接；工架主體的頂端設(shè)置支撐彈簧卡；工架主體至少在頂部設(shè)有向上的管口；其特征是工架主體頂端還設(shè)置一支撐套；支撐套包括一筒體，筒體裝配在所述工架主體的管口內(nèi)，筒體的頂端向工架主體外延伸并向下翻折形成外翻邊；支撐彈簧卡包括沿筒體軸向置于筒體與工架主體之間并沿徑向具有彈性的豎直部分、向工架主體外延伸并彎曲形成的弧形部分；支撐彈簧卡設(shè)置有多條，其弧形部分卡裝于支撐套的卡槽內(nèi)且弧形部分突出于外翻邊。它支撐真空管不容易失效，不易在鍍膜時(shí)發(fā)生晃動(dòng)，從而能提高鍍膜質(zhì)量。
文檔編號(hào)C23C14/50GK202390526SQ201120527400
公開(kāi)日2012年8月22日 申請(qǐng)日期2011年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月16日
發(fā)明者于洪文, 何曉倩, 安利娟, 張艷麗, 李寶山, 李春江, 李萍, 陳志朋, 馬兵 申請(qǐng)人:山東桑樂(lè)太陽(yáng)能有限公司