專利名稱：一種硅片表面損傷層去除裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅片表面損傷層去除裝置。
背景技術(shù)：
硅片在制造加工、裝箱、運(yùn)輸過程中，稍有不慎就會(huì)造成硅片表面損傷，目前主要通過化學(xué)方法消除硅片表面損傷，化學(xué)處理過程中產(chǎn)生的酸霧及NO嚴(yán)重污染環(huán)境和損害工作人員的身心健康。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有技術(shù)在使用中，硅片損傷采用化學(xué)方法除去硅片表面損傷層的過程，產(chǎn)生有害物質(zhì)的問題，提供一種硅片表面損傷層去除裝置。本實(shí)用新型解決現(xiàn)有問題的技術(shù)方案是一種硅片表面損傷層去除裝置，作為本實(shí)用新型的改進(jìn)，包括彈性固定體，所述的彈性固定體兩端至中間漸厚，彈性固定體底面設(shè)有可隨彈性固定體彈性彎折的磨料層。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的彈性固定體上設(shè)有握柄。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的磨料層為條狀磨料片，所述的磨料片從中間至兩側(cè)排列設(shè)置于彈性固定體上。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比較，通過在一彈性固定體上設(shè)置磨料層構(gòu)成一機(jī)械打磨裝置，可通過手動(dòng)或機(jī)動(dòng)打磨消除硅片表面的損傷層，兩側(cè)至中間漸厚的彈性固定體在使用過程中可形成階梯或無極變化的預(yù)緊力，可避免因施力不當(dāng)造成的硅片損壞和滿足不同場(chǎng)合的需要。有益效果是通過可靠的機(jī)械打磨帶體化學(xué)方法避免化學(xué)品污染環(huán)境及損害操作人員身心健康。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參見圖1，本實(shí)施案例包括彈性固定體1，彈性固定體1兩端至中間漸厚，彈性固定體1底面設(shè)有可隨彈性固定體彈性彎折的磨料層2。為了便于手工使用，彈性固定體1上設(shè)有握柄3。為了制造簡(jiǎn)單，磨料層2為條狀磨料片21，磨料片21從中間至兩側(cè)排列設(shè)置于彈性固定體上1，既滿足因彈性固定體1發(fā)生彈性形變而隨之形變的需要，同時(shí)又便于制造。
權(quán)利要求1.一種硅片表面損傷層去除裝置，其特征在于包括彈性固定體，所述的彈性固定體兩端至中間漸厚，彈性固定體底面設(shè)有可隨彈性固定體彈性彎折的磨料層。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片表面損傷層去除裝置，其特征在于所述的彈性固定體上設(shè)有握柄。
3.如權(quán)利要求1所述的硅片表面損傷層去除裝置，其特征在于所述的磨料層為條狀磨料片，所述的磨料片從中間至兩側(cè)排列設(shè)置于彈性固定體上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅片表面損傷層去除裝置，作為本實(shí)用新型的改進(jìn)，包括彈性固定體，所述的彈性固定體兩端至中間漸厚，彈性固定體底面設(shè)有可隨彈性固定體彈性彎折的磨料層。本實(shí)用新型通過在一彈性固定體上設(shè)置磨料層構(gòu)成一機(jī)械打磨裝置，可通過手動(dòng)或機(jī)動(dòng)打磨消除硅片表面的損傷層，兩側(cè)至中間漸厚的彈性固定體在使用過程中可形成階梯或無極變化的預(yù)緊力，可避免因施力不當(dāng)造成的硅片損壞和滿足不同場(chǎng)合的需要。有益效果是通過可靠的機(jī)械打磨帶體化學(xué)方法避免化學(xué)品污染環(huán)境及損害操作人員身心健康。
文檔編號(hào)B24D3/00GK202240820SQ201120323549
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月31日
發(fā)明者汪貴發(fā), 蔣建松 申請(qǐng)人:浙江光益硅業(yè)科技有限公司