專利名稱：一種反應氣體傳輸系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種反應氣體傳輸系統(tǒng)，具體地講是涉及一種低壓金屬有機物化學氣相沉積工藝反應腔室的反應氣體傳輸系統(tǒng)。
背景技術：
光伏應用的未來市場發(fā)展，特別是用于與電網(wǎng)相連的光伏電廠的應用，關鍵取決于降低太陽能電池生產成本的潛力。薄膜太陽能電池生產過程能耗低，具備大幅度降低原材料和制造成本的潛力；同時，薄膜太陽能電池在弱光條件下仍可發(fā)電。因此，目前市場對薄膜太陽能電池的需求正逐漸增長，而制造薄膜太陽能電池的技術更成為近年來的研究熱
點οZnO是一種N型直接帶隙半導體材料，室溫下禁帶寬度Eg為3. 37eV。由于其原材料豐富且無毒，具有高電導和高透過率，并且在H等離子體環(huán)境中性能穩(wěn)定，因此，在太陽能電池領域，ZnO作為透明導電氧化物薄膜可進一步提高Si薄膜太陽能電池的效率和穩(wěn)定性，加快產業(yè)化進程。作為陷光結構的絨面ZnO薄膜前電極和背反射電極顯得尤為重要。ZnO的生長方法有很多，包括脈沖激光沉積、低壓金屬有機物化學氣相沉積、射頻 /中頻/直流濺射、電子束和熱反應蒸發(fā)、等離子體化學氣相沉積、噴霧熱分解和溶膠-凝膠法等。其中較為成熟的是低壓化學氣相沉積工藝。在低壓金屬有機物化學氣相沉積中，工藝氣體氣場的均勻性、氣體的反應速度以及反應氣體噴出距離一直是比較重要和關鍵的參數(shù)，為了滿足工藝環(huán)境的諸多要求，在氣體反應腔室的設計中就應當充分加以考慮，如圖1所示，為充分給予工藝調整的空間和設備的兼容性，氣體噴淋板裝置4在物理結構上可以設計為可移動式的，氣體噴淋板裝置4的可調整性是在噴淋板的中心位置加裝與反應腔室腔蓋1結合的可移動導向圓缸3，通過絲杠系統(tǒng)進行手動上下調節(jié)。工藝特殊氣體的柔性氣體管路2同樣通過可移動導向圓缸3中心位置作為接口界面進入到氣體噴淋板裝置4內部，柔性氣體管路2在可移動導向圓缸3 上下運動的過程中跟著運動，同時在反應腔室腔蓋1開啟和閉合時也跟著運動。由于氣體噴淋板裝置4的上下可調范圍一般不超過5cm，此距離對于特殊氣體軟管來講，只要預先留有相應余量，在此運動的過程中都不會出現(xiàn)任何問題。但問題的關鍵在于，腔室需要打開和關閉，打開的角度一般在110度，這樣的一個打開的動作對于柔性氣體管路2來講是一個很大的角度，在彎曲角度上有很高的要求。同時在彎曲次數(shù)增多之后，不可避免的會有金屬疲勞的現(xiàn)象發(fā)生，同樣在運動的過程中很容易出現(xiàn)意外情況。眾所周知，做ZnO工藝用的特殊氣體均有毒性或易燃性，會給操作人員和維護人員帶來極大的安全隱患。

發(fā)明內容
本發(fā)明提供一種反應氣體傳輸系統(tǒng)，結構簡單，極大程度的降低了特殊氣體傳輸過程中發(fā)生泄露的可能性，且成本較低，易于維護。為解決上述技術問題，本發(fā)明技術方案如下一種反應氣體傳輸系統(tǒng)，包括設于反應腔室腔蓋上部的氣體管路，氣體管路輸氣端通過腔蓋與反應腔室內的噴淋裝置連通，具體的講，氣體管路輸氣端是通過腔蓋上的可移動導向圓缸與反應腔室內的噴淋裝置連通；該系統(tǒng)還包括設于反應腔室內部側壁上的氣體導入模塊和設于腔蓋下部的氣體導出模塊；反應腔室側壁開有引入氣體的通孔，與氣體導入模塊密閉連通；腔蓋開有引出氣體的通孔，氣體導出模塊和氣體管路的引氣端通過該通孔連通；當腔蓋閉合時，氣體導入模塊和氣體導出模塊密閉連通。所述設于反應腔室腔蓋上部的氣體管路可以為柔性氣體管路。所述反應氣體可以通過硬性氣體管路與反應腔室側壁上的通孔連通。所述氣體導入模塊可以選擇通過其自帶的彈性壓合面與氣體導出模塊密閉連通。由于反應氣體是兩種或兩種以上，所有的通氣體的通孔、氣體管路以及氣體導入、 導出模塊均為至少兩套氣路，比如一路通水蒸氣，另一路通二乙基鋅蒸汽。本發(fā)明提供的反應氣體傳輸系統(tǒng)，通過用反應腔室內部的氣體導入和導出結構，將外部氣體管路的進氣和輸氣兩端均固定于腔蓋上，避免了外部氣體管路存在運動的情況，極大地降低了氣體泄露的可能性，結構簡單，且成本較低，易于維護。


圖1是現(xiàn)有技術的反應氣體傳輸系統(tǒng)結構示意圖； 圖2是本發(fā)明的反應氣體傳輸系統(tǒng)結構示意圖3是本發(fā)明的一種氣體導入模塊的結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步詳細的說明。實施例1
一種反應氣體傳輸系統(tǒng)，如圖2所示，包括設于反應腔室腔蓋1上部的柔性氣體管路2， 柔性氣體管路2輸氣端通過腔蓋1與反應腔室內的噴淋裝置4連通，具體的講，柔性氣體管路2輸氣端是通過腔蓋1上的可移動導向圓缸3與反應腔室內的噴淋裝置4連通；該系統(tǒng)還包括設于反應腔室內部側壁上的氣體導入模塊6和設于腔蓋下部的氣體導出模塊7 ；反應腔室側壁開有引入氣體的通孔5，與氣體導入模塊6密閉連通；腔蓋1開有引出氣體的通孔8，氣體導出模塊7和柔性氣體管路2的引氣端通過該通孔8連通；當腔蓋1閉合時，氣體導入模塊6通過其自帶的彈性壓合面9與氣體導出模塊7密閉連通，彈性壓合面9如圖 3所示。所述反應氣體可以通過硬性氣體管路與反應腔室側壁上的通孔5連通。
權利要求
1.一種反應氣體傳輸系統(tǒng)，包括設于反應腔室腔蓋上部的氣體管路，氣體管路輸氣端通過腔蓋與反應腔室內的噴淋裝置連通，其特征在于還包括設于反應腔室內部側壁上的氣體導入模塊和設于腔蓋下部的氣體導出模塊；反應腔室側壁開有引入氣體的通孔，與氣體導入模塊密閉連通；腔蓋開有引出氣體的通孔，氣體導出模塊和氣體管路的引氣端通過該通孔連通；當腔蓋閉合時，氣體導入模塊和氣體導出模塊密閉連通。
2.根據(jù)權利要求1所述的反應氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于所述設于反應腔室腔蓋上部的氣體管路為柔性氣體管路。
3.根據(jù)權利要求1所述的反應氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于所述反應氣體通過硬性氣體管路與反應腔室側壁上的通孔連通。
4.根據(jù)權利要求1所述的反應氣體傳輸系統(tǒng)，其特征在于所述氣體導入模塊通過其自帶的彈性壓合面與氣體導出模塊密閉連通。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種反應氣體傳輸系統(tǒng)，具體地講是涉及一種低壓金屬有機物化學氣相沉積工藝反應腔室的反應氣體傳輸系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括設于反應腔室腔蓋上部的氣體管路，氣體管路輸氣端通過腔蓋與反應腔室內的噴淋裝置連通，該系統(tǒng)還包括設于反應腔室內部側壁上的氣體導入模塊和設于腔蓋下部的氣體導出模塊；反應腔室側壁開有引入氣體的通孔，與氣體導入模塊密閉連通；腔蓋開有引出氣體的通孔，氣體導出模塊和氣體管路的引氣端通過該通孔連通；當腔蓋閉合時，氣體導入模塊和氣體導出模塊密閉連通。該系統(tǒng)結構簡單，極大程度的降低了特殊氣體傳輸過程中發(fā)生泄露的可能性，且成本較低，易于維護。
文檔編號C23C16/455GK102433552SQ20111046067
公開日2012年5月2日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權日2011年12月31日
發(fā)明者吳國發(fā), 崔軍, 辛科 申請人:漢能科技有限公司