專利名稱：拋光液溫度控制裝置和拋光液輸送設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路領(lǐng)域，具體而言，涉及一種拋光液溫度控制裝置和拋光液輸送設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著大規(guī)模集成電路布線層數(shù)越來越多，為保證下一道工序的有效進行，需要對每一層布線進行平坦化。化學機械拋光(chemical-mechanical polishing，簡稱CMP)是最好的也是唯一的全局平面化技術(shù)。在化學機械拋光過程中，拋光液的溫度對拋光效果有很大的影響，溫度過低會導致拋光速率過低，溫度過高會增加布線表面的腐蝕。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明的一個目的在于提出一種可以精確地、穩(wěn)定地控制拋光液溫度的拋光液溫度控制裝置。本發(fā)明的另一個目的在于提出一種具有所述拋光液溫度控制裝置的拋光液輸送設(shè)備。為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明第一方面的實施例提出一種拋光液溫度控制裝置，所述拋光液溫度控制裝置包括第一和第二加熱容器，所述第一加熱容器內(nèi)限定有用于容納拋光液的第一容納腔且所述第二加熱容器內(nèi)限定有用于容納熱交換液的第二容納腔，其中所述第一加熱容器設(shè)有入口和出口，所述入口和所述出口分別與所述第一容納腔連通；第一和第二發(fā)熱元件，所述第一發(fā)熱元件設(shè)在所述第一容納腔內(nèi)，所述第二發(fā)熱元件設(shè)在所述第二容納腔內(nèi)；拋光液換熱管，所述拋光液換熱管設(shè)在所述第二容納腔內(nèi)且具有入口端和出口端，其中所述拋光液換熱管的入口端和出口端分別從所述第二加熱容器內(nèi)伸出，所述拋光液換熱管的入口端與所述第一加熱容器的出口相連；第一和第二溫度檢測器， 所述第一溫度檢測器鄰近所述第一加熱容器的出口，所述第二溫度檢測器設(shè)在所述拋光液換熱管上且鄰近所述拋光液換熱管的出口端；第一溫控器，所述第一溫控器分別與所述第一發(fā)熱元件和所述第一溫度檢測器相連以便根據(jù)所述第一溫度檢測器的溫度檢測值控制所述第一發(fā)熱元件的發(fā)熱量；和第二溫控器，所述第二溫控器分別與所述第二發(fā)熱元件和所述第二溫度檢測器相連以便根據(jù)所述第二溫度檢測器的溫度檢測值控制所述第二發(fā)熱元件的發(fā)熱量。根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置通過利用由所述第一發(fā)熱元件、所述第一溫度檢測器和所述第一溫控器構(gòu)成的拋光液溫度粗控回路對拋光液的溫度進行粗略控制、以及利用由所述第二發(fā)熱元件、所述第二溫度檢測器和所述第二溫控器構(gòu)成的拋光液溫度精控回路對拋光液的溫度進行精確控制，從而可以精確地控制拋光液的溫度(與設(shè)定溫度相比，誤差在正負0. 1度內(nèi))。另外，根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置可以具有如下附加的技術(shù)特征
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第一發(fā)熱元件為多個，所述多個第一發(fā)熱元件沿豎直方向彼此間隔開。這樣可以在豎直方向上對位于所述第一容納腔的不同位置處的拋光液進行加熱，從而可以更加快速地將拋光液的溫度加熱至接近設(shè)定溫度。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，每個所述第一發(fā)熱元件包括多個發(fā)熱電阻，所述多個發(fā)熱電阻沿水平方向彼此間隔開。這樣可以在水平方向上對位于所述第一容納腔的不同位置處的拋光液進行加熱，從而可以更加快速地將拋光液的溫度加熱至接近設(shè)定溫度。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，每個所述發(fā)熱電阻為波紋狀。通過設(shè)置波紋狀的所述發(fā)熱電阻，可以更加快速地將拋光液的溫度加熱至接近設(shè)定溫度。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述多個第一發(fā)熱元件中的一部分的發(fā)熱電阻沿拋光液的流動方向延伸，所述多個第一發(fā)熱元件中的另一部分的發(fā)熱電阻沿與拋光液的流動方向正交的方向延伸。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述拋光液溫度控制裝置還包括連接管，所述連接管的一端與所述第一加熱容器的出口相連且所述連接管的另一端與所述拋光液換熱管的入口端相連，其中所述第一溫度檢測器設(shè)在所述連接管上。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述拋光液換熱管在所述第二容納腔內(nèi)盤繞成波紋狀或渦旋狀。盤繞成波紋狀或渦旋狀的所述拋光液換熱管可以大大地增加所述拋光液換熱管內(nèi)的拋光液與所述第二容納腔內(nèi)的熱交換液的熱交換時間，從而可以更加精確地控制所述拋光液換熱管內(nèi)的拋光液的溫度。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述拋光液換熱管在所述第二容納腔內(nèi)盤繞成多層。 這樣可以進一步增加所述拋光液換熱管內(nèi)的拋光液與所述第二容納腔內(nèi)的熱交換液的熱交換時間，從而可以更加精確地控制所述拋光液換熱管內(nèi)的拋光液的溫度。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述熱交換液為去離子水。這樣不僅可以減少對拋光液的污染，而且可以防止在所述拋光液換熱管上形成水垢，從而避免影響所述拋光液換熱管內(nèi)的拋光液與所述第二容納腔內(nèi)的熱交換液的熱交換。根據(jù)本發(fā)明第二方面的實施例提出一種拋光液輸送設(shè)備，所述拋光液輸送設(shè)備包括拋光液儲存容器；拋光液輸送管，所述拋光液輸送管的進液端與所述拋光液儲存容器相連；拋光液溫度控制裝置，所述拋光液溫度控制裝置為根據(jù)本發(fā)明第一方面所述的拋光液溫度控制裝置，其中所述拋光液溫度控制裝置連接在所述拋光液輸送管上；和輸送泵，所述輸送泵設(shè)在所述拋光液輸送管和所述拋光液溫度控制裝置中的至少一個上以將所述拋光液儲存容器內(nèi)的拋光液從所述拋光液輸送管的出液端排出。根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液輸送設(shè)備通過設(shè)置根據(jù)本發(fā)明第一方面所述的拋光液溫度控制裝置，從而可以精確地控制輸送的拋光液的溫度，即所述拋光液輸送設(shè)備可以向化學機械拋光機輸送預定溫度的拋光液。因此，通過利用所述拋光液輸送設(shè)備輸送拋光液，可以大大地提高拋光效果。本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。


本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從結(jié)合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置的第一發(fā)熱元件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置的第一溫控器的溫度控制回路的示意圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置的第二溫控器的溫度控制回路的示意圖；和圖5是根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液輸送設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、 “左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本發(fā)明的描述中，除非另有規(guī)定和限定，需要說明的是，術(shù)語“安裝”、“相連”、 “連接”應做廣義理解，例如，可以是機械連接或電連接，也可以是兩個元件內(nèi)部的連通，可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語的具體含義。下面參照圖1-4描述根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置10。如圖1-4所示， 根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置10包括第一加熱容器110、第二加熱容器120、第一發(fā)熱元件200、第二發(fā)熱元件(圖中未示出)、拋光液換熱管300、第一溫度檢測器410、第二溫度檢測器420、第一溫控器510和第二溫控器520。第一加熱容器110內(nèi)限定有用于容納拋光液的第一容納腔111，且第二加熱容器 120內(nèi)限定有用于容納熱交換液的第二容納腔121，其中第二加熱容器120設(shè)有入口和出口，所述入口和所述出口分別與第一容納腔111連通。第一發(fā)熱元件200設(shè)在第一容納腔 111內(nèi)，所述第二發(fā)熱元件設(shè)在第二容納腔121內(nèi)。拋光液換熱管300設(shè)在第二容納腔121 內(nèi)，且拋光液換熱管300具有入口端和出口端，其中拋光液換熱管300的入口端和出口端分別從第二加熱容器120內(nèi)伸出，拋光液換熱管300的入口端與第一加熱容器110的出口相連。第一溫度檢測器410鄰近第一加熱容器110的出口，第二溫度檢測器420設(shè)在拋光液換熱管300上，且第二溫度檢測器420鄰近拋光液換熱管300的出口端。第一溫控器 510分別與第一發(fā)熱元件200和第一溫度檢測器410相連以便根據(jù)第一溫度檢測器410的溫度檢測值控制第一發(fā)熱元件200的發(fā)熱量。第二溫控器520分別與所述第二發(fā)熱元件和第二溫度檢測器420相連以便根據(jù)第二溫度檢測器420的溫度檢測值控制所述第二發(fā)熱元件的發(fā)熱量。下面描述利用根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置10控制拋光液的溫度的過程。在利用根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置10控制拋光液的溫度時，先將拋光液加入到第一加熱容器110的第一容納腔111內(nèi)，并利用第一發(fā)熱元件200對第一容納腔111內(nèi)的拋光液進行直接加熱以便快速地提高拋光液的溫度?？梢岳玫谝粶囟葯z測器 410檢測第一加熱容器110的出口處的拋光液的溫度(拋光液從第一加熱容器110的入口進入到第一加熱容器110內(nèi)，并從第一加熱容器110的出口離開第一加熱容器110)，第一溫控器510可以根據(jù)第一溫度檢測器410檢測到的第一加熱容器110的出口處的拋光液的溫度控制第一發(fā)熱元件200的發(fā)熱量。這樣第一發(fā)熱元件200、第一溫度檢測器410和第一溫控器510構(gòu)成拋光液溫度粗控回路(即第一溫控器510的溫度控制回路，如圖3所示)，可以快速地將拋光液的溫度加熱至接近設(shè)定溫度，即可以實現(xiàn)拋光液溫度的粗略控制。隨后拋光液進入到拋光液換熱管300內(nèi)(拋光液的流動方向如圖1中的箭頭方向所示，可以利用輸送泵帶動拋光液流動)，所述第二發(fā)熱元件對第二容納腔121內(nèi)的熱交換液進行加熱、進而所述熱交換液通過拋光液換熱管300與拋光液換熱管300內(nèi)的拋光液進行熱交換以便精確地控制拋光液換熱管300內(nèi)的拋光液的溫度?？梢岳玫诙囟葯z測器 420檢測拋光液換熱管300的出口端的拋光液的溫度，第二溫控器520可以根據(jù)第二溫度檢測器420檢測到的拋光液換熱管300的出口端的拋光液的溫度控制所述第二發(fā)熱元件的發(fā)熱量。這樣所述第二發(fā)熱元件、第二溫度檢測器420和第二溫控器520構(gòu)成拋光液溫度精控回路(即第二溫控器520的溫度控制回路，如圖4所示)，可以精確地控制拋光液的溫度 (與設(shè)定溫度相比，誤差在正負0. 1度內(nèi))。如上所述，拋光液溫度控制裝置10通過利用由第一發(fā)熱元件200、第一溫度檢測器410和第一溫控器510構(gòu)成的拋光液溫度粗控回路對拋光液的溫度進行粗略控制、以及利用由所述第二發(fā)熱元件、第二溫度檢測器420和第二溫控器520構(gòu)成的拋光液溫度精控回路對拋光液的溫度進行精確控制，從而可以精確地控制拋光液的溫度(與設(shè)定溫度相比，誤差在正負0. 1度內(nèi))。如圖1所示，在本發(fā)明的一些實施例中，第一發(fā)熱元件200可以是多個，多個第一發(fā)熱元件200可以沿豎直方向A(圖1中的箭頭方向)彼此間隔開。換言之，多個第一發(fā)熱元件200可以位于不同高度。這樣可以在豎直方向上對位于第一容納腔111的不同位置處的拋光液進行加熱，從而可以更加快速地將拋光液的溫度加熱至接近設(shè)定溫度。第一發(fā)熱元件200可以是電熱片，例如第一發(fā)熱元件200可以是PTFE(聚四氟乙烯)電熱片。所述第二發(fā)熱元件可以是電阻絲。具體地，第一發(fā)熱元件200可以是三個，這三個第一發(fā)熱元件 200可以分別位于第一容納腔111的上部、中部和下部。在本發(fā)明的一些示例中，如圖2所示，每個第一發(fā)熱元件200可以包括多個發(fā)熱電阻210，多個發(fā)熱電阻210可以沿水平方向彼此間隔開。這樣可以在水平方向上對位于第一容納腔111的不同位置處的拋光液進行加熱，從而可以更加快速地將拋光液的溫度加熱至接近設(shè)定溫度。而且，可以通過接通和斷開多個第一發(fā)熱元件200的發(fā)熱電阻210中的至少一部分來控制拋光液的溫度。如圖2所示，在本發(fā)明的一個具體示例中，每個發(fā)熱電阻210可以是波紋狀。通過
7設(shè)置波紋狀的發(fā)熱電阻210，可以大大地增加發(fā)熱電阻210與拋光液的接觸面積，使發(fā)熱電阻210可以直接加熱更多的拋光液，從而可以更加快速地將拋光液的溫度加熱至接近設(shè)定溫度。在本發(fā)明的一個實施例中，如圖2所示，多個第一發(fā)熱元件200中的一部分的發(fā)熱電阻210可以沿拋光液的流動方向B延伸，多個第一發(fā)熱元件200中的另一部分的發(fā)熱電阻210可以沿與拋光液的流動方向正交的方向C延伸。換言之，多個第一發(fā)熱元件200中的另一部分的發(fā)熱電阻210的延伸方向與拋光液的流動方向正交。具體地，當?shù)谝粶囟葯z測器410檢測到的第一加熱容器110的出口處的拋光液的溫度大于設(shè)定溫度時，可以關(guān)閉沿與拋光液的流動方向正交的方向延伸的發(fā)熱電阻210中的一部分。第一加熱容器110可以設(shè)在第二加熱容器120的上方。在本發(fā)明的一個示例中， 如圖1所示，拋光液溫度控制裝置10還可以包括連接管600，連接管600的一端可以與第一加熱容器110的出口相連，且連接管600的另一端可以與拋光液換熱管300的入口端相連以便將第一容納腔111內(nèi)的拋光液輸送到拋光液換熱管300內(nèi)，其中第一溫度檢測器410 可以設(shè)在連接管600上。具體地，第一溫度檢測器410可以設(shè)在第二加熱容器120外。有利地，連接管600的外壁上可以設(shè)有保溫層，這樣可以防止拋光液在經(jīng)過連接管600時向外界環(huán)境散發(fā)熱量。如圖1所示，在本發(fā)明的一些實施例中，拋光液換熱管300可以在第二容納腔121 內(nèi)盤繞成波紋狀或渦旋狀。盤繞成波紋狀或渦旋狀的拋光液換熱管300可以大大地延長拋光液通過拋光液換熱管300的路徑和時間，即大大地增加了拋光液換熱管300內(nèi)的拋光液與第二容納腔121內(nèi)的熱交換液的熱交換時間，從而可以更加精確地控制拋光液換熱管 300內(nèi)的拋光液的溫度。在本發(fā)明的一個實施例中，拋光液換熱管300可以在第二容納腔121內(nèi)盤繞成多層。拋光液換熱管300在第二容納腔121內(nèi)可以在水平方向上盤繞成多層，也可以在豎直方向上盤繞成多層。這樣可以進一步增加拋光液換熱管300內(nèi)的拋光液與第二容納腔121 內(nèi)的熱交換液的熱交換時間，從而可以更加精確地控制拋光液換熱管300內(nèi)的拋光液的溫度。具體地，拋光液換熱管300可以從第二容納腔121的右側(cè)延伸至第二容納腔121的左側(cè)，然后可以向上延伸，再從第二容納腔121的左側(cè)延伸至第二容納腔121的右側(cè)，以此類推，從而可以使拋光液換熱管300在第二容納腔121內(nèi)在豎直方向上盤繞成多層。有利地， 每一層的拋光液換熱管300都可以盤繞成波紋狀或渦旋狀。第二容納腔121內(nèi)的熱交換液可以是去離子水，這樣不僅可以減少對拋光液的污染，而且可以防止在拋光液換熱管300上形成水垢，從而避免影響拋光液換熱管300內(nèi)的拋光液與第二容納腔121內(nèi)的熱交換液的熱交換。下面參照圖5描述根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液輸送設(shè)備1。如圖5所示，根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液輸送設(shè)備1包括拋光液儲存容器20、拋光液輸送管30、拋光液溫度控制裝置和輸送泵(圖中未示出)。拋光液輸送管30的進液端與拋光液儲存容器20相連。所述拋光液溫度控制裝置為根據(jù)上述實施例的拋光液溫度控制裝置10，其中拋光液溫度控制裝置10連接在拋光液輸送管30上。所述輸送泵設(shè)在拋光液輸送管30和拋光液溫度控制裝置10中的至少一個上以將拋光液儲存容器20內(nèi)的拋光液從拋光液輸送管30的出液端排出。
也就是說，利用所述輸送泵使拋光液儲存容器20內(nèi)的拋光液從拋光液輸送管30 的進液端進入到拋光液輸送管30中，并在拋光液輸送管30中流動，然后所述拋光液從拋光液輸送管30的出液端離開拋光液輸送管30。圖5中的箭頭方向為所述拋光液的流動方向。根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液輸送設(shè)備1通過設(shè)置根據(jù)上述實施例的拋光液溫度控制裝置10，從而可以精確地控制輸送的拋光液的溫度，即拋光液輸送設(shè)備1可以向化學機械拋光機輸送預定溫度的拋光液。因此，通過利用拋光液輸送設(shè)備1輸送拋光液，可以大大地提高拋光效果。具體地，拋光液輸送管30可以分別與第一加熱容器110的入口和拋光液換熱管 300的出口端相連。利用所述輸送泵使拋光液儲存容器20內(nèi)的拋光液從拋光液輸送管30 的進液端進入到拋光液輸送管30中，并在拋光液輸送管30中流動。由于第一加熱容器110 的入口與拋光液輸送管30相連，所述拋光液從第一加熱容器110的入口進入到第一容納腔 111內(nèi)，隨后所述拋光液在拋光液溫度控制裝置10內(nèi)流動。離開拋光液換熱管300的出口端的拋光液再次進入到拋光液輸送管30內(nèi)，并從拋光液輸送管30的出液端進入到化學機械拋光機中。離開拋光液換熱管300的出口端的拋光液也可以直接進入到化學機械拋光機中(拋光液的流動方向如圖5中的箭頭方向所示)。如圖5所示，在本發(fā)明的一些實施例中，拋光液輸送設(shè)備1還可以包括壓力調(diào)節(jié)裝置40和流量調(diào)節(jié)裝置50。壓力調(diào)節(jié)裝置40和流量調(diào)節(jié)裝置50都可以設(shè)在拋光液輸送管 30上，壓力調(diào)節(jié)裝置40用于調(diào)節(jié)拋光液的壓力，流量調(diào)節(jié)裝置50用于調(diào)節(jié)拋光液的流量。 壓力調(diào)節(jié)裝置40和流量調(diào)節(jié)裝置50可以是已知的用于調(diào)節(jié)液體壓力和流量的裝置，這里不再詳細描述。此外，拋光液輸送設(shè)備1還可以包括開關(guān)閥60，開關(guān)閥60可以設(shè)在拋光液輸送管30上用于接通和斷開拋光液輸送管30。根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置10可以精確地控制拋光液的溫度。在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求
1.一種拋光液溫度控制裝置，其特征在于，包括第一和第二加熱容器，所述第一加熱容器內(nèi)限定有用于容納拋光液的第一容納腔且所述第二加熱容器內(nèi)限定有用于容納熱交換液的第二容納腔，其中所述第一加熱容器設(shè)有入口和出口，所述入口和所述出口分別與所述第一容納腔連通；第一和第二發(fā)熱元件，所述第一發(fā)熱元件設(shè)在所述第一容納腔內(nèi)，所述第二發(fā)熱元件設(shè)在所述第二容納腔內(nèi)；拋光液換熱管，所述拋光液換熱管設(shè)在所述第二容納腔內(nèi)且具有入口端和出口端，其中所述拋光液換熱管的入口端和出口端分別從所述第二加熱容器內(nèi)伸出，所述拋光液換熱管的入口端與所述第一加熱容器的出口相連；第一和第二溫度檢測器，所述第一溫度檢測器鄰近所述第一加熱容器的出口，所述第二溫度檢測器設(shè)在所述拋光液換熱管上且鄰近所述拋光液換熱管的出口端；第一溫控器，所述第一溫控器分別與所述第一發(fā)熱元件和所述第一溫度檢測器相連以便根據(jù)所述第一溫度檢測器的溫度檢測值控制所述第一發(fā)熱元件的發(fā)熱量；和第二溫控器，所述第二溫控器分別與所述第二發(fā)熱元件和所述第二溫度檢測器相連以便根據(jù)所述第二溫度檢測器的溫度檢測值控制所述第二發(fā)熱元件的發(fā)熱量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述第一發(fā)熱元件為多個，所述多個第一發(fā)熱元件沿豎直方向彼此間隔開。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光液溫度控制裝置，其特征在于，每個所述第一發(fā)熱元件包括多個發(fā)熱電阻，所述多個發(fā)熱電阻沿水平方向彼此間隔開。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光液溫度控制裝置，其特征在于，每個所述發(fā)熱電阻為波紋狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述多個第一發(fā)熱元件中的一部分的發(fā)熱電阻沿拋光液的流動方向延伸，所述多個第一發(fā)熱元件中的另一部分的發(fā)熱電阻沿與拋光液的流動方向正交的方向延伸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液溫度控制裝置，其特征在于，還包括連接管，所述連接管的一端與所述第一加熱容器的出口相連且所述連接管的另一端與所述拋光液換熱管的入口端相連，其中所述第一溫度檢測器設(shè)在所述連接管上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述拋光液換熱管在所述第二容納腔內(nèi)盤繞成波紋狀或渦旋狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述拋光液換熱管在所述第二容納腔內(nèi)盤繞成多層。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述熱交換液為去離子水。
10.一種拋光液輸送設(shè)備，其特征在于，包括 拋光液儲存容器；拋光液輸送管，所述拋光液輸送管的進液端與所述拋光液儲存容器相連； 拋光液溫度控制裝置，所述拋光液溫度控制裝置為根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項所述的拋光液溫度控制裝置，其中所述拋光液溫度控制裝置連接在所述拋光液輸送管上；和輸送泵，所述輸送泵設(shè)在所述拋光液輸送管和所述拋光液溫度控制裝置中的至少一個上以將所述拋光液儲存容器內(nèi)的拋光液從所述拋光液輸送管的出液端排出。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種拋光液溫度控制裝置和拋光液輸送設(shè)備。所述拋光液溫度控制裝置包括第一和第二加熱容器、第一和第二發(fā)熱元件、拋光液換熱管、第一和第二溫度檢測器，第一溫度檢測器鄰近第一加熱容器的出口，第二溫度檢測器設(shè)在拋光液換熱管上且鄰近拋光液換熱管的出口端；第一溫控器，第一溫控器分別與第一發(fā)熱元件和第一溫度檢測器相連以便根據(jù)第一溫度檢測器的溫度檢測值控制第一發(fā)熱元件的發(fā)熱量；和第二溫控器，第二溫控器分別與第二發(fā)熱元件和第二溫度檢測器相連以便根據(jù)第二溫度檢測器的溫度檢測值控制第二發(fā)熱元件的發(fā)熱量。根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光液溫度控制裝置可以精確地控制拋光液的溫度。
文檔編號B24B57/02GK102430979SQ201110310658
公開日2012年5月2日 申請日期2011年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月13日
發(fā)明者何永勇, 沈攀, 潘燕, 路新春 申請人:清華大學