專利名稱:一種多晶硅棒研磨機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及ー種多晶硅研磨設(shè)備,具體涉及ー種多晶硅棒研磨機。
背景技術(shù):
多晶硅棒研磨機是利用壓嵌在研具上的磨料顆粒,通過電動機帶動砂輪高速旋轉(zhuǎn)并與エ件在一定壓カ下相對運動,對硅棒的加工表面進(jìn)行精加工,去除因切方機鋼線給力不足造成的硅棒表面線痕,達(dá)到生產(chǎn)エ藝需要。目前現(xiàn)有的多晶研磨機價格比較昂貴,而相對來說普通機械研磨機價格比較便宜,但是普通機械研磨機不能對大規(guī)格的晶棒平磨,使得對多晶硅棒進(jìn)行研磨成本較高
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供ー種多晶硅棒研磨機。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是ー種多晶硅棒研磨機,包括平面吸盤、晶棒夾具和樹脂砂輪,所述平面吸盤的上、下兩邊各安裝有所述晶棒夾具,晶棒夾具的側(cè)方設(shè)置有所述樹脂砂輪。本發(fā)明通過對普通機械研磨機輕微的改動,把原粗砂輪改為樹脂砂輪,吸盤加裝晶棒夾具,即可讓其實現(xiàn)多晶研磨機的功能。使用時在平面吸盤兩邊加裝晶棒夾具,晶棒放在平面吸盤上通過夾具上的固定裝置固定晶棒,再啟動砂輪對晶棒加工面進(jìn)行精整加工。有益效果本發(fā)明通過對普通機械研磨機機械結(jié)構(gòu)的改進(jìn),使其可以對大規(guī)格的晶棒進(jìn)行平磨,并達(dá)到產(chǎn)品質(zhì)量要求,而且安全系數(shù)提高、操作更方便,大大降低了產(chǎn)品成本。
圖I為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意 圖2為圖I的側(cè)視圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進(jìn)ー步說明
如圖I和2所示ー種多晶硅棒研磨機,包括平面吸盤I、晶棒夾具2和樹脂砂輪,所述平面吸盤I的上、下兩邊各安裝有所述晶棒夾具2,晶棒夾具2的側(cè)方設(shè)置有所述樹脂砂輪。
權(quán)利要求
1.ー種多晶硅棒研磨機,其特征在于包括平面吸盤(I)、晶棒夾具(2)和樹脂砂輪,所述平面吸盤(I)的上、下兩邊各安裝有所述晶棒夾具(2),晶棒夾具(2)的側(cè)方設(shè)置有所述樹脂砂輪。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種多晶硅棒研磨機,包括平面吸盤、晶棒夾具和樹脂砂輪,所述平面吸盤的上、下兩邊各安裝有所述晶棒夾具,晶棒夾具的側(cè)方設(shè)置有所述樹脂砂輪。本發(fā)明通過對普通機械研磨機機械結(jié)構(gòu)的改進(jìn),使其可以對大規(guī)格的晶棒進(jìn)行平磨,并達(dá)到產(chǎn)品質(zhì)量要求,而且安全系數(shù)提高、操作更方便,大大降低了產(chǎn)品成本。
文檔編號B24B37/02GK102717330SQ20111007967
公開日2012年10月10日 申請日期2011年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月31日
發(fā)明者姚興平 申請人:江蘇新潮光伏能源發(fā)展有限公司