專利名稱：適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
化學(xué)氣相沉積是一種被廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)新型材料(如C/C、C/SiC、SiC/SiC等復(fù)合材料)的工藝方法。隨著社會(huì)的發(fā)展、技術(shù)的進(jìn)步，航天、航空、交通等諸多領(lǐng)域?qū)瘜W(xué)氣相沉積材料有了更高的要求，材料或制品的尺寸在向大型化發(fā)展。沉積均勻性是化學(xué)氣相沉積的一個(gè)十分重要的質(zhì)量指標(biāo)，但是由于目前沒有適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的沉積氣路系統(tǒng)，要保證大型(特別是高度尺寸很大)材料或制品化學(xué)氣相沉積均勻性卻十分困難，這就阻礙了大型化學(xué)氣相沉積爐的開發(fā)，制約了大型(特別是高度尺寸很大)材料或制品的化學(xué)氣相沉積。而在沉積氣路系統(tǒng)中，進(jìn)氣管系統(tǒng)又是十分關(guān)鍵的器件，目前的進(jìn)氣管系統(tǒng)和排氣管系統(tǒng)都不能適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的沉積氣路系統(tǒng)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能保證大型特別是高度尺寸很大的材料或制品化學(xué)氣相沉積均勻性的適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供的適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)，喇叭狀出氣口連接有接氣管。在所述的喇叭狀出氣口和所述的接氣管之間連接有擴(kuò)氣管。在所述的喇叭狀出氣口內(nèi)設(shè)有傾斜微螺旋氣流導(dǎo)向槽。接氣管、擴(kuò)氣管和喇叭狀出氣口均由石墨材料制成。采用上述技術(shù)方案的適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)，與一般化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管比較，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)1、適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)采用喇叭狀出氣口，布?xì)饷娣e大，有利于氣體分布均勻和氣流場(chǎng)的穩(wěn)定。2、在喇叭狀出氣口的內(nèi)錐面上設(shè)有傾斜微螺旋氣流導(dǎo)向槽，對(duì)排氣有一定的氣流導(dǎo)向作用，使氣體形成旋流，擴(kuò)大了氣流均勻分布的范圍。3、適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)的進(jìn)氣口由小變大，有利于防止氣體在管內(nèi)沉積堵塞。綜上所述，本實(shí)用新型是一種能保證大型特別是高度尺寸很大的材料或制品化學(xué)氣相沉積均勻性且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠、制造方便、成本低廉的適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)。

圖1是本實(shí)用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型的改進(jìn)剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。參見圖1，喇叭狀出氣口 3連接有接氣管1，在喇叭狀出氣口 3內(nèi)設(shè)有傾斜微螺旋氣流導(dǎo)向槽4，接氣管1和喇叭狀出氣口 3均由石墨材料制成。參見圖2，在喇叭狀出氣口 3和接氣管1之間連接有擴(kuò)氣管2，在喇叭狀出氣口 3 內(nèi)設(shè)有傾斜微螺旋氣流導(dǎo)向槽4，接氣管1、擴(kuò)氣管2和喇叭狀出氣口 3均由石墨材料制成。參見圖1和圖2，圖中所示進(jìn)氣管系統(tǒng)的接氣管1和擴(kuò)氣管2置于沉積爐的沉積室、發(fā)熱體和隔熱爐膽的外面，即置于冷區(qū)，喇叭狀出氣口 3則置于沉積室內(nèi)。沉積氣體由進(jìn)氣管系統(tǒng)的接氣管1和擴(kuò)氣管2流入，進(jìn)氣管的喇叭狀出氣口 3將沉積氣體均勻地分布到沉積室內(nèi)。由于進(jìn)氣管自進(jìn)氣端至出氣端其內(nèi)孔尺寸由小變大，且進(jìn)氣端布置于冷區(qū)，有效地防止了氣體在孔內(nèi)沉積造成堵塞。
權(quán)利要求1.一種適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)，其特征是喇叭狀出氣口(3)連接有接氣管(Do
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)，其特征是在所述的喇叭狀出氣口( 和所述的接氣管(1)之間連接有擴(kuò)氣管O)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)，其特征是 在所述的喇叭狀出氣口( 內(nèi)設(shè)有傾斜微螺旋氣流導(dǎo)向槽G)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)，喇叭狀出氣口(3)連接有接氣管(1)。在所述的喇叭狀出氣口(3)和所述的接氣管(1)之間連接有擴(kuò)氣管(2)。在所述的喇叭狀出氣口(3)內(nèi)設(shè)有傾斜微螺旋氣流導(dǎo)向槽(4)。本實(shí)用新型是一種能保證大型特別是高度尺寸很大的材料或制品化學(xué)氣相沉積均勻性且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠、制造方便、成本低廉的適用于大型化學(xué)氣相沉積爐的進(jìn)氣管系統(tǒng)。
文檔編號(hào)C23C16/455GK201942748SQ201020688020
公開日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2010年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月29日
發(fā)明者戴煜, 羊建高, 譚興龍 申請(qǐng)人:戴煜, 羊建高, 譚興龍