專(zhuān)利名稱(chēng)：Pecvd設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)。
背景技術(shù)：
對(duì)于PECVD (等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積)設(shè)備開(kāi)關(guān)爐門(mén)，應(yīng)該具有便于結(jié)構(gòu)緊湊， 位置調(diào)整和密封可靠的特點(diǎn)。目前PECVD設(shè)備的開(kāi)關(guān)爐門(mén)主要有兩種方式第一種是普通 旋轉(zhuǎn)式，如圖1所示，旋轉(zhuǎn)氣缸1通過(guò)旋臂桿5與爐門(mén)3中心的關(guān)節(jié)軸承4連接，旋轉(zhuǎn)氣缸1 將爐門(mén)3旋轉(zhuǎn)至爐體2的爐口處，然后將爐門(mén)3與爐口壓緊，中心的關(guān)節(jié)軸承4起到自動(dòng)找 正的作用，它的缺點(diǎn)是氣缸負(fù)載較大，且不便于位置的調(diào)節(jié)；第二種方式是間接旋轉(zhuǎn)方式， 如圖2所示，與爐門(mén)3上的關(guān)節(jié)軸承4連接的旋臂桿5固定在支座7上，通過(guò)氣缸6的伸縮 來(lái)帶動(dòng)爐門(mén)3的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)到爐口處再將爐門(mén)夾緊，它的缺陷在于占用空間大，不方便調(diào)節(jié) 位置。
發(fā)明內(nèi)容為了克服上述缺點(diǎn)，本實(shí)用新型提供了一種氣缸負(fù)載小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、結(jié)構(gòu)緊湊、占 地面積小、方便位置調(diào)整、密封性效果好的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)。本實(shí)用新型所述的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)包括導(dǎo)軌、無(wú)桿氣缸、無(wú)桿氣缸滑塊、 支撐板、導(dǎo)軌滑塊、爐體、爐門(mén)、運(yùn)動(dòng)臂、至少兩個(gè)關(guān)節(jié)軸承；其中，導(dǎo)軌、無(wú)桿氣缸及爐體均 被固定在機(jī)架上，導(dǎo)軌滑塊與導(dǎo)軌可滑動(dòng)的配合，無(wú)桿氣缸滑塊與無(wú)桿氣缸外殼可滑動(dòng)的 配合，無(wú)桿氣缸滑塊與導(dǎo)軌滑塊都固定在支撐板上，支撐板與運(yùn)動(dòng)臂固定連接，運(yùn)動(dòng)臂通過(guò) 兩個(gè)關(guān)節(jié)軸承與爐門(mén)連接，關(guān)節(jié)軸承的連線(xiàn)與導(dǎo)軌垂直。本實(shí)用新型所述的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)為直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，采用無(wú)桿氣缸驅(qū) 動(dòng)，無(wú)桿氣缸滑塊設(shè)置在無(wú)桿氣缸上，通過(guò)無(wú)桿氣缸推動(dòng)無(wú)桿氣缸滑塊沿著無(wú)桿氣缸的表 面自由滑動(dòng)；當(dāng)無(wú)桿氣缸工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)爐門(mén)沿著導(dǎo)軌向爐口處移動(dòng)，使?fàn)t門(mén)穩(wěn)定地到達(dá)與爐 口同心的位置，然后將爐門(mén)推向爐口并夾緊。當(dāng)爐門(mén)沿著導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)至爐口，只要保證在關(guān)節(jié) 軸承的兩點(diǎn)處，爐門(mén)能夠大體對(duì)準(zhǔn)爐口，由于兩關(guān)節(jié)軸承的連線(xiàn)與爐門(mén)運(yùn)動(dòng)方向垂直，此時(shí) 爐門(mén)可以在豎直方向小角度內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，便于它與爐體6的爐口自動(dòng)找正，實(shí)現(xiàn)爐門(mén)與爐口的 緊密貼合。而調(diào)整關(guān)節(jié)軸承兩點(diǎn)處的位置，只需上下調(diào)節(jié)爐頭爐尾的位置便可以輕易實(shí)現(xiàn)。本實(shí)用新型所述的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)，導(dǎo)軌、滑塊等組成為直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 兩個(gè)關(guān)節(jié)軸承之間連線(xiàn)與導(dǎo)軌垂直。因此，可以最大程度的實(shí)現(xiàn)爐門(mén)與爐口的自動(dòng)找正功 能，同時(shí)該爐門(mén)節(jié)省空間，使氣缸負(fù)載小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，爐門(mén)機(jī)構(gòu)緊湊，密封性能也得到了保 障，并且方便設(shè)備的安裝和維護(hù)。而間接旋轉(zhuǎn)方式爐門(mén)，由于關(guān)節(jié)軸承連線(xiàn)是傾斜的，爐體 將很難調(diào)整位置。為了獲得更好的效果，本實(shí)用新型所述的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)可以采用以下 措施1、本實(shí)用新型所述的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)，所述的導(dǎo)軌為兩根，與其分別配合的導(dǎo)軌滑塊也為兩個(gè)。其優(yōu)點(diǎn)在于，在無(wú)桿氣缸進(jìn)行驅(qū)動(dòng)時(shí)，爐門(mén)可以較平穩(wěn)的向爐口運(yùn)動(dòng)。2、本實(shí)用新型所述的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)，所述的兩根導(dǎo)軌分為位于無(wú)桿氣 缸的上方和下方。其優(yōu)點(diǎn)在于，可以使?fàn)t門(mén)更加平穩(wěn)的在無(wú)桿氣缸的驅(qū)動(dòng)下向爐口運(yùn)動(dòng)。3、本實(shí)用新型所述的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)，所述的無(wú)桿氣缸為機(jī)械耦合型或 磁性耦合型。

圖1為普通旋轉(zhuǎn)式PECVD設(shè)備開(kāi)關(guān)爐門(mén)的示意圖。圖2為間接旋轉(zhuǎn)方式PECVD設(shè)備開(kāi)關(guān)爐門(mén)的示意圖。圖3為本實(shí)用新型所述PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)的示意圖。1-旋轉(zhuǎn)氣缸；2-爐體；3-爐門(mén)；4-關(guān)節(jié)軸承；5-旋臂桿；6_活塞式氣缸；7_支座； 8-運(yùn)動(dòng)臂；9-導(dǎo)軌；10-無(wú)桿氣缸；11-無(wú)桿氣缸滑塊；12-支撐板；13-導(dǎo)軌滑塊。
具體實(shí)施方式
圖3為本實(shí)用新型所述PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)的實(shí)施例。本實(shí)用新型所述的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)包括爐體2、爐門(mén)3、兩個(gè)關(guān)節(jié)軸承4、 運(yùn)動(dòng)臂8、兩根導(dǎo)軌9、無(wú)桿氣缸10、無(wú)桿氣缸滑塊11、支撐板12、兩個(gè)導(dǎo)軌滑塊13。兩根導(dǎo)軌9、無(wú)桿氣缸10及爐體2均被固定在機(jī)架上，其中兩根導(dǎo)軌9分別固定在 無(wú)桿氣缸10的上方和下方；導(dǎo)軌滑塊13設(shè)置在導(dǎo)軌9上，并可沿著導(dǎo)軌9上左右自由滑動(dòng)；無(wú)桿氣缸滑塊11設(shè)置在無(wú)桿氣缸10上，并可以沿著無(wú)桿氣缸10的表面自由滑 動(dòng)，無(wú)桿氣缸滑塊11滑動(dòng)的動(dòng)力來(lái)源于無(wú)桿氣缸10內(nèi)部，其動(dòng)力是通過(guò)機(jī)械耦合或磁性耦 合實(shí)現(xiàn)的；無(wú)桿氣缸滑塊11與兩個(gè)導(dǎo)軌滑塊13都固定在支撐板12上，兩個(gè)導(dǎo)軌滑塊13分 別固定在無(wú)桿氣缸滑塊11的上方和下方；支撐板12與運(yùn)動(dòng)臂8固定連接；運(yùn)動(dòng)臂8通過(guò)兩個(gè)關(guān)節(jié)軸承4與爐門(mén)3連接，兩個(gè)關(guān)節(jié)軸承4的連線(xiàn)與導(dǎo)軌9垂直。
權(quán)利要求1.一種PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)，其特征在于它包括導(dǎo)軌、無(wú)桿氣缸、無(wú)桿氣缸滑塊、 支撐板、導(dǎo)軌滑塊、爐體、爐門(mén)、運(yùn)動(dòng)臂、至少兩個(gè)關(guān)節(jié)軸承；其中，導(dǎo)軌、無(wú)桿氣缸及爐體均 被固定在機(jī)架上，導(dǎo)軌滑塊與導(dǎo)軌可滑動(dòng)的配合，無(wú)桿氣缸滑塊與無(wú)桿氣缸外殼可滑動(dòng)的 配合，無(wú)桿氣缸滑塊與導(dǎo)軌滑塊都固定在支撐板上，支撐板與運(yùn)動(dòng)臂固定連接，運(yùn)動(dòng)臂通過(guò) 兩個(gè)關(guān)節(jié)軸承與爐門(mén)連接，關(guān)節(jié)軸承的連線(xiàn)與導(dǎo)軌垂直。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)，其特征在于所述的導(dǎo)軌為兩根，與 其分別配合的導(dǎo)軌滑塊也為兩個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)，其特征在于所述的兩根導(dǎo)軌分為 位于無(wú)桿氣缸的上方和下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)，其特征在于所述的無(wú) 桿氣缸為機(jī)械耦合型或磁性耦合型。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型所述PECVD設(shè)備新型開(kāi)關(guān)爐門(mén)包括導(dǎo)軌、無(wú)桿氣缸、無(wú)桿氣缸滑塊、支撐板、導(dǎo)軌滑塊、爐體、爐門(mén)、運(yùn)動(dòng)臂、至少兩個(gè)關(guān)節(jié)軸承；其中，導(dǎo)軌、無(wú)桿氣缸及爐體均被固定在機(jī)架上，導(dǎo)軌滑塊與導(dǎo)軌可滑動(dòng)的配合，無(wú)桿氣缸滑塊與無(wú)桿氣缸可滑動(dòng)的配合，無(wú)桿氣缸滑塊與導(dǎo)軌滑塊都固定在支撐板上，支撐板與運(yùn)動(dòng)臂固定連接，運(yùn)動(dòng)臂通過(guò)兩個(gè)關(guān)節(jié)軸承與爐門(mén)連接，關(guān)節(jié)軸承的連線(xiàn)與導(dǎo)軌垂直；其優(yōu)點(diǎn)在于氣缸負(fù)載小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小、方便位置調(diào)整、密封性效果好。
文檔編號(hào)C23C16/44GK201873750SQ20102062982
公開(kāi)日2011年6月22日 申請(qǐng)日期2010年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月29日
發(fā)明者崔慧敏, 王鵬 申請(qǐng)人:青島賽瑞達(dá)電子科技有限公司