專利名稱：具有隔熱件的蒸鍍源載具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種蒸鍍源載具，特別是涉及一種可維持蒸鍍材溫度的具有隔熱 件的蒸鍍源載具。
背景技術(shù)：
真空蒸鍍是將被鍍物置于真空環(huán)境下，并透過加熱蒸鍍材使其氣化或升華，進(jìn)而 使氣態(tài)的蒸鍍材可沉積于被鍍物表面，而達(dá)到于被鍍物表面形成薄膜的目的。其中，蒸鍍材 本身的溫度是決定蒸鍍材氣化速率的關(guān)鍵，并且也是影響蒸鍍速率的重要參數(shù)之一。也就 是當(dāng)蒸鍍材本身的溫度越高，蒸鍍材的氣化速率也會(huì)相對提升，并加速整體的蒸鍍速率。然 而，蒸鍍材溫度過高卻可能導(dǎo)致蒸鍍速率過快，而使薄膜沉積的厚度不均。反之，蒸鍍材溫 度過低，也可能使蒸鍍速率過慢以致于蒸鍍效果不佳。再者，真空蒸鍍技術(shù)中的電子式蒸鍍是利用電子束中的高能電子撞擊蒸鍍材，使 蒸鍍材氣化分解進(jìn)而擴(kuò)散至被鍍物表面。并且，為了能夠進(jìn)一步調(diào)控蒸鍍速率，因此可再額 外控制蒸鍍材本身的溫度，以調(diào)整蒸鍍材的氣化速率。圖1是現(xiàn)有習(xí)知技術(shù)中真空蒸鍍裝置100結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖1所示，現(xiàn)有習(xí)知技術(shù)的真空蒸鍍裝置100包括可提供真空環(huán)境的一真空腔 11，在真空腔11內(nèi)部擺設(shè)有用以放置被鍍物12的鍍盤13以及用以擺放蒸鍍材14的坩鍋 15。坩鍋15四周又設(shè)置有多個(gè)發(fā)射源16，可用以發(fā)射電子束以加熱蒸鍍材14使之氣化。在現(xiàn)有習(xí)知技術(shù)中，為了將電子束撞擊蒸鍍材14后的高能電荷順利導(dǎo)出，而不會(huì) 累積于坩鍋15上，因此多半選擇導(dǎo)電性佳的材質(zhì)制作坩鍋15。此外，在蒸鍍過程中需要維 持環(huán)境溫度達(dá)到一定的溫度，以維持蒸鍍效率，因此大多選擇使用導(dǎo)電佳且耐高溫特性的 金屬材質(zhì)的坩鍋15。由于金屬同樣具有熱傳性質(zhì)良好的特點(diǎn)，反而更容易使得坩鍋15中的蒸鍍材14 本身的溫度也經(jīng)由坩鍋15而散失，而不易維持蒸鍍材14的溫度。因此，只有透過不斷地加 熱蒸鍍材14，或是以更高能的電子束撞擊蒸鍍材14，才得以使蒸鍍材14處于最佳的蒸鍍溫度。然而，在不斷加熱蒸鍍材14的方式保持蒸鍍材14的溫度的過程中，因?yàn)檎翦儾?4 直接與坩鍋15直接接觸的緣故，蒸鍍材14的溫度也會(huì)不斷地傳遞至坩鍋15，造成坩鍋15 的溫度上升甚至過熱，因此需再于坩鍋15四周設(shè)置冷卻水路結(jié)構(gòu)17以控制坩鍋15溫度， 以避免因坩鍋15溫度過高而破壞了蒸鍍材14。因此，如何在蒸鍍過程中維持蒸鍍材14的蒸鍍溫度，并避免因蒸鍍材14的熱能傳 遞至坩鍋15而使得坩鍋15溫度過高，實(shí)在是目前急需解決的問題之一。由此可見，上述現(xiàn)有的真空蒸鍍裝置在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷， 而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述存在的問題，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來謀求解決之 道，但長久以來一直未見適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒有適切結(jié)構(gòu)能夠解決上 述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的具有隔熱件的蒸鍍源載具，實(shí)屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一，亦成為當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的目標(biāo)。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于，克服現(xiàn)有的真空蒸鍍裝置存在的缺陷，而提供一種 新型結(jié)構(gòu)的具有隔熱件的蒸鍍源載具，所要解決的技術(shù)問題是使其借由隔熱件以有效阻隔 蒸鍍材的熱能散失，并在蒸鍍過程中維持蒸鍍材的溫度，進(jìn)而穩(wěn)定蒸鍍材的氣化速率，達(dá)到 提高蒸鍍效率的功效，非常適于實(shí)用。本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本實(shí) 用新型提出的一種具有隔熱件的蒸鍍源載具，其包括一載具，其具有界定內(nèi)部空間體積的 側(cè)邊及底邊；以及一隔熱件，其設(shè)置于該載具內(nèi)并設(shè)于該底邊上。本實(shí)用新型的目的以及解決其技術(shù)問題還可以采用以下的技術(shù)措施來進(jìn)一步實(shí) 現(xiàn)。前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其進(jìn)一步具有一隔熱導(dǎo)電材設(shè)置于該載具的外 側(cè)，且相對于該底邊的位置。前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該隔熱導(dǎo)電材的材質(zhì)為鉬、鎢、石墨、紅銅 或不銹鋼。前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該隔熱件的材質(zhì)為鉬、鎢、陶瓷、石墨、紅銅 或不銹鋼。前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該隔熱件是為一塊材或一墊片。前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該載具的材質(zhì)為導(dǎo)電材質(zhì)。前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該導(dǎo)電材質(zhì)為鉬、鎢、石墨、紅銅或不銹鋼。前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其進(jìn)一步具有一坩鍋，其用以容置該載具、該隔 熱件以及該隔熱導(dǎo)電材。前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該坩鍋進(jìn)一步設(shè)置有一控溫裝置以調(diào)控該 坩鍋的溫度。前述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其中該坩鍋的材質(zhì)為紅銅。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。借由上述技術(shù)方案，本 實(shí)用新型至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有益效果透過將隔熱件設(shè)置于載具內(nèi)，可阻隔蒸鍍材熱能散失，達(dá)到保溫的效果，有助于使 蒸鍍過程穩(wěn)定進(jìn)行。借由隔熱件的設(shè)置，以利用隔熱件維持蒸鍍材的溫度，以使蒸鍍材可有較快的氣 化速率，進(jìn)而達(dá)到提升蒸鍍效率的功效。綜上所述，本實(shí)用新型一種具有隔熱件的蒸鍍源載具，其包括載具；以及隔熱 件。其中，載具具有界定內(nèi)部空間體積的側(cè)邊及底邊，而隔熱件設(shè)置于載具內(nèi)并設(shè)于底邊 上。在蒸鍍過程中，蒸鍍材則擺放于載具內(nèi)并位于隔熱件上，透過隔熱件的設(shè)置，可有效阻 絕蒸鍍材的熱能因熱傳導(dǎo)而散失，以穩(wěn)定蒸鍍材的蒸鍍溫度，并達(dá)到穩(wěn)定蒸鍍速率的目的。 本實(shí)用新型在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并具有明顯的積極效果，誠為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新 設(shè)計(jì)。上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本實(shí)用新型的上述和其他目的、特征 和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。

圖1是現(xiàn)有習(xí)知技術(shù)中真空蒸鍍裝置結(jié)構(gòu)的示意圖。 圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的一種具有隔熱件的蒸鍍源載具的示意圖。 圖3是本實(shí)用新型另一實(shí)施例的一種具有隔熱件的蒸鍍源載具的示意圖, 圖4是本實(shí)用新型又一實(shí)施例的一種具有隔熱件的蒸鍍源載具的示意圖,100 真空蒸鍍裝置 12 被鍍物 14 蒸鍍材 16 發(fā)射源 20:載具 40 控溫裝置11 真空腔 13 鍍盤 15 坩鍋17 冷卻水路結(jié)構(gòu) 30 隔熱件 50 隔熱導(dǎo)電材
具體實(shí)施方式
為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下 結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對依據(jù)本實(shí)用新型提出的具有隔熱件的蒸鍍源載具其具體實(shí)施方 式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的一種具有隔熱件30的蒸鍍源載具的示意圖。圖3 是本實(shí)用新型另一實(shí)施例的一種具有隔熱件30的蒸鍍源載具的示意圖。圖4是本實(shí)用新 型又一實(shí)施例的一種具有隔熱件30的蒸鍍源載具的示意圖。如圖2所示，本實(shí)施例為一種具有隔熱件30的蒸鍍源載具，其包括一載具20 ；以 及一隔熱件30。載具20為用以承載蒸鍍材14的容器，其具有界定內(nèi)部空間體積的側(cè)邊及底邊，而 蒸鍍材14則是置放于載具20的內(nèi)部空間中。其中，為了排除撞擊蒸鍍材14后的高能電 荷，因此使用材質(zhì)為導(dǎo)電材質(zhì)的載具20，以利用導(dǎo)電材質(zhì)的特性將高能電荷自載具20傳導(dǎo) 出去，又導(dǎo)電材質(zhì)可為鉬、鎢、石墨、紅銅或不銹鋼等材料。隔熱件30是設(shè)置于載具20內(nèi)并設(shè)于其底邊上，并且在蒸鍍過程中，蒸鍍材14是 擺放于隔熱件30上，因此可透過隔熱件30的設(shè)置使得蒸鍍材14不直接與載具20的底邊 接觸，以避免蒸鍍材14的溫度透過熱傳導(dǎo)的方式而散失。其中，隔熱件30可以是一塊材或 一墊片，且隔熱件30的材質(zhì)可為鉬、鎢、陶瓷、石墨、紅銅或不銹鋼。如圖3所示，為方便使用者操作，可將載具20擺放于坩鍋15內(nèi)再進(jìn)行蒸鍍工藝， 以使得坩鍋15內(nèi)容置有載具20及隔熱件30，并在隔熱件30上放置有蒸鍍材14。其中，坩 鍋15可為耐高溫的導(dǎo)電體，于材料上可選用紅銅。再者，由于坩鍋15選用可導(dǎo)電的材質(zhì)制作，因此坩鍋15亦容易吸收熱而使得坩鍋 15的溫度上升，為此可于坩鍋15的底部再進(jìn)一步設(shè)置有一控溫裝置40，并用以調(diào)控坩鍋15 的溫度，以避免在蒸鍍過程中坩鍋15的溫度過高。在本實(shí)施例中，控溫裝置40可為一冷卻 水路結(jié)構(gòu)(圖未示)，并可利用水冷式的散熱方式適時(shí)使坩鍋15的溫度下降。[0045]如圖4所示，載具20與坩鍋15間可再進(jìn)一步設(shè)置有一隔熱導(dǎo)電材50，隔熱導(dǎo)電材 50是設(shè)置于載具20的外側(cè)，且相對于底邊的位置。隔熱導(dǎo)電材50的材質(zhì)可以為鉬、鎢、石 墨、紅銅或不銹鋼...等，更佳的是，隔熱導(dǎo)電材50可以為熱傳導(dǎo)系數(shù)低且導(dǎo)電系數(shù)高的材質(zhì)。隔熱導(dǎo)電材50用以隔絕載具20與坩鍋15間的熱傳導(dǎo)，以避免坩鍋15及載具20 的溫度相互干擾，并進(jìn)一步維持蒸鍍材14溫度的穩(wěn)定性。再者，隔熱導(dǎo)電材50的導(dǎo)電特性 亦可使得累積于載具20上的電荷透過隔熱導(dǎo)電材50，并經(jīng)過坩鍋15傳導(dǎo)至真空蒸鍍裝置 外。在進(jìn)行蒸鍍過程前，可先于坩鍋15內(nèi)放置隔熱導(dǎo)電材50，再于隔熱導(dǎo)電材50上擺 放設(shè)置有隔熱件30的載具20，使坩鍋15內(nèi)放置有載具20、隔熱件30以及隔熱導(dǎo)電材50， 并透過隔熱件30及隔熱導(dǎo)電材50的設(shè)置，以減少蒸鍍材14熱能的散失，進(jìn)而于蒸鍍過程 中更加穩(wěn)定地維持蒸鍍材14的溫度。借此，由于可透過隔熱件30防止蒸鍍材14的溫度散失，以維持蒸鍍材14本身的 溫度，因此當(dāng)以電子束撞擊蒸鍍材14時(shí)，可使得蒸鍍材14有較高的氣化速率，進(jìn)而促使提 升蒸鍍效率。以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對本實(shí)用新型作任何形式上 的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟 悉本專業(yè)的技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容 作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi) 容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍 屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種具有隔熱件的蒸鍍源載具，其特征在于，其包括一載具，其具有界定內(nèi)部空間體積的側(cè)邊及底邊；以及一隔熱件，其設(shè)置于該載具內(nèi)并設(shè)于該底邊上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其特征在于，其進(jìn)一步具有一隔 熱導(dǎo)電材設(shè)置于該載具的外側(cè)，且相對于該底邊的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其特征在于，其中該隔熱導(dǎo)電材 的材質(zhì)為鉬、鎢、石墨、紅銅或不銹鋼。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其特征在于，其中該 隔熱件的材質(zhì)為鉬、鎢、陶瓷、石墨、紅銅或不銹鋼。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有隔熱件蒸鍍源載具，其特征在于，其中該隔熱件是為一 塊材或一墊片。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其特征在于，其中該載具的材質(zhì) 為導(dǎo)電材質(zhì)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其特征在于，其中該導(dǎo)電材質(zhì)為 鉬、鎢、石墨、紅銅或不銹鋼。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其特征在于，其進(jìn)一步具有一坩 鍋，其用以容置該載具、該隔熱件以及該隔熱導(dǎo)電材。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其特征在于，其中該坩鍋進(jìn)一步 設(shè)置有一控溫裝置以調(diào)控該坩鍋的溫度。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的具有隔熱件的蒸鍍源載具，其特征在于，其中該坩鍋的材質(zhì) 為紅銅。
專利摘要本實(shí)用新型是有關(guān)于一種具有隔熱件的蒸鍍源載具，其包括載具；以及隔熱件。其中，載具具有界定內(nèi)部空間體積的側(cè)邊及底邊，而隔熱件設(shè)置于載具內(nèi)并設(shè)于底邊上。在蒸鍍過程中，蒸鍍材則擺放于載具內(nèi)并位于隔熱件上，透過隔熱件的設(shè)置，可有效阻絕蒸鍍材的熱能因熱傳導(dǎo)而散失，以穩(wěn)定蒸鍍材的蒸鍍溫度，并達(dá)到穩(wěn)定蒸鍍速率的目的。
文檔編號C23C14/24GK201890920SQ201020628180
公開日2011年7月6日 申請日期2010年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月25日
發(fā)明者白英宏, 羅世欣, 陳宜杰 申請人:聚昌科技股份有限公司