專利名稱：一種陰極鍍膜設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及行波管陰極組件鍍膜領(lǐng)域，具體為一種用于陰極基體刻蝕鍍膜的 陰極鍍膜設(shè)備。
背景技術(shù)：
在行波管中，陰極組件的基本作用是提供一個低表面逸出功、大發(fā)射電流、長壽 命、強抗中毒和耐離子轟擊等特點的電子源。傳統(tǒng)的浸漬鋇鎢陰極發(fā)射電流不夠大、壽命不 夠長、工作溫度過高、工作穩(wěn)定性不夠好，這些劣勢導(dǎo)致浸漬鋇鎢陰極無法符合行波管的要 求。因此在浸漬型鋇鎢陰極上需要鍍一層膜以改善陰極性能，如降低陰極的逸出功，提高陰 極的發(fā)射能力，在同等工作電流條件下，降低陰極工作溫度，延長陰極工作壽命。當(dāng)陰極基 體精度要求高時，傳統(tǒng)鍍膜設(shè)備對膜層質(zhì)量控制的困難度就會加大，導(dǎo)致鍍膜質(zhì)量不理想， 無法滿足行波管要求。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種陰極鍍膜設(shè)備，以解決在陰極基體精度要求高時， 傳統(tǒng)的鍍膜設(shè)備其鍍膜質(zhì)量無法滿足行波管陰極要求的問題。為了達(dá)到上述目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案為一種陰極鍍膜設(shè)備，包括有T形殼體，所述殼體頂部敞口，底部連通有供等離子體 射入的管口，所述殼體頂部敞口蓋合有頂蓋，其特征在于所述殼體T形頂部兩端外纏繞有 螺線包，殼體T形頂部中對應(yīng)螺線包的兩端內(nèi)還分別設(shè)置有豎向屏蔽罩，所述殼體中從上 到下依次設(shè)置有兩層中間有位置對應(yīng)的開孔的橫向屏蔽罩，其中上層的橫向屏蔽罩開孔中 安裝有支架，所述殼體中靠近底部管口位置設(shè)置有與下層橫向屏蔽罩的開孔位置對應(yīng)的靶 材，所述殼體T形頂部兩端內(nèi)還分別設(shè)置有燈絲，所述燈絲位于所述橫向屏蔽罩兩端，且燈 絲與對應(yīng)位置的豎向屏蔽罩之間還分別設(shè)置有罩在燈絲外的半圓形屏蔽罩，從所述上層的 橫向屏蔽罩、靶材及半圓形屏蔽罩上分別連接有導(dǎo)線，所述導(dǎo)線從殼體底部引出。所述的一種陰極鍍膜設(shè)備，其特征在于所述頂蓋頂部安裝有閥門。所述的一種陰極鍍膜設(shè)備，其特征在于所述下層的橫向屏蔽罩開孔中安裝有可 取下的擋板。所述的一種陰極鍍膜設(shè)備，其特征在于所述頂蓋和殼體頂部敞口之間設(shè)置有密 封墊片。本實用新型原理主要是通過磁場改變電子運動方向，束縛和延長電子的運動路 徑，電子與氮原子發(fā)生碰撞形成高密度等離子體，對靶材轟擊引起濺射，濺射出來的中性靶 原子沉積在陰極上，鍍上一層薄膜。本實用新型中，陰極基體放置于支架上，艙室內(nèi)高密度等離子體打到靶材上，濺 射出的中性靶原子沉積到陰極基體上，鍍上一層薄膜。本實用新型可在實驗室或車間內(nèi) 工作，溫度(25 士 15) °C，相對空氣濕度在80%以內(nèi)。設(shè)備電源為單相電網(wǎng)電源，交流電壓(220士22) V，頻率(50士 1)Hz。本實用新型具有高效、低溫、低損傷、操作簡便、工作穩(wěn)定性和適應(yīng)性好等優(yōu)點。
圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖1所示。一種陰極鍍膜設(shè)備，包括有T形殼體1，殼體1頂部敞口，底部連通 有供等離子體射入的管口 10，殼體1頂部敞口蓋合有頂蓋2，殼體IT形頂部兩端外纏繞有 螺線包14，殼體IT形頂部中對應(yīng)螺線包14的兩端內(nèi)還分別設(shè)置有豎向屏蔽罩9，殼體1中 從上到下依次設(shè)置有兩層中間有位置對應(yīng)的開孔的橫向屏蔽罩8-1、8-2，其中上層的橫向 屏蔽罩8-1開孔中安裝有支架7，殼體1中靠近底部管口 10位置設(shè)置有與下層橫向屏蔽罩 8-2的開孔位置對應(yīng)的靶材6，殼體IT形頂部兩端內(nèi)還分別設(shè)置有燈絲11，燈絲11位于橫 向屏蔽罩8-1、8-2兩端，且燈絲11與對應(yīng)位置的豎向屏蔽罩9之間還分別設(shè)置有罩在燈絲 11外的半圓形屏蔽罩12，從上層的橫向屏蔽罩8-1、靶材6及半圓形屏蔽罩12上分別連接 有導(dǎo)線13，導(dǎo)線13從殼體1底部引出。頂蓋2頂部安裝有閥門4。下層的橫向屏蔽罩8-2開孔中安裝有可取下的擋板5。 頂蓋2和殼體頂部敞口之間設(shè)置有密封墊片3。
權(quán)利要求1.一種陰極鍍膜設(shè)備，包括有T形殼體，所述殼體頂部敞口，底部連通有供等離子體 射入的管口，所述殼體頂部敞口蓋合有頂蓋，其特征在于所述殼體T形頂部兩端外纏繞有 螺線包，殼體T形頂部中對應(yīng)螺線包的兩端內(nèi)還分別設(shè)置有豎向屏蔽罩，所述殼體中從上 到下依次設(shè)置有兩層中間有位置對應(yīng)的開孔的橫向屏蔽罩，其中上層的橫向屏蔽罩開孔中 安裝有支架，所述殼體中靠近底部管口位置設(shè)置有與下層橫向屏蔽罩的開孔位置對應(yīng)的靶 材，所述殼體T形頂部兩端內(nèi)還分別設(shè)置有燈絲，所述燈絲位于所述橫向屏蔽罩兩端，且燈 絲與對應(yīng)位置的豎向屏蔽罩之間還分別設(shè)置有罩在燈絲外的半圓形屏蔽罩，從所述上層的 橫向屏蔽罩、靶材及半圓形屏蔽罩上分別連接有導(dǎo)線，所述導(dǎo)線從殼體底部引出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陰極鍍膜設(shè)備，其特征在于所述頂蓋頂部安裝有閥門。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陰極鍍膜設(shè)備，其特征在于所述下層的橫向屏蔽罩開 孔中安裝有可取下的擋板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陰極鍍膜設(shè)備，其特征在于所述頂蓋和殼體頂部敞口 之間設(shè)置有密封墊片。
專利摘要本實用新型公開了一種陰極鍍膜設(shè)備，包括有殼體，殼體底部有管口，殼體頂部有頂蓋，殼體頂部兩端外有螺線包，殼體頂部中有豎向屏蔽罩，殼體中有兩層中間有開孔的橫向屏蔽罩，上層的橫向屏蔽罩開孔中安裝有支架，殼體中靠近管口有靶材，殼體頂部兩端還有燈絲，燈絲與豎向屏蔽罩之間還有半圓形屏蔽罩，從橫向屏蔽罩、靶材及半圓形屏蔽罩上分別有導(dǎo)線從殼體底部引出。
文檔編號C23C14/34GK201785480SQ201020527279
公開日2011年4月6日 申請日期2010年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月11日
發(fā)明者于晨晨, 吳華夏, 孟昭紅, 方衛(wèi), 沈旭東, 陳愛民 申請人:安徽華東光電技術(shù)研究所