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一種金剛石膜的超高速復(fù)合拋光盤的制作方法

文檔序號:3373349閱讀:209來源:國知局
專利名稱:一種金剛石膜的超高速復(fù)合拋光盤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型屬于金剛石膜的高速拋光技術(shù),特別涉及金剛石膜高速及超高速精密拋光技術(shù)。
背景技術(shù)
目前,金剛石膜熱化學(xué)拋光時所使用的拋光盤多為單盤結(jié)構(gòu),拋光盤磨損后需要整體更換;而且在進行高速及超高速拋光時,需要進行嚴格的動平衡,動平衡調(diào)整麻煩。若使用鑄鐵等材料作為拋光盤,由于其質(zhì)量大,高速旋轉(zhuǎn)時的慣性力可能會使拋光盤破裂而發(fā)生危險。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了解決金剛石膜超高速拋光時動平衡調(diào)整、拋光盤更換及拋光盤破裂的技術(shù)問題,提供一種結(jié)構(gòu)簡單、轉(zhuǎn)動慣量小、動平衡調(diào)整方便、拋光盤更換容易的一種金剛石膜超高速復(fù)合拋光盤。一種金剛石膜的超高速復(fù)合拋光盤,包括材料可更換的拋光盤、鋁合金拋光盤座、 動平衡調(diào)整塊、聯(lián)接軸、高速電主軸。所述的鋁合金拋光盤座的一面有用于安裝動平衡調(diào)整塊的環(huán)形槽,另一面有用于安裝拋光盤的圓槽,中間部位是用于和聯(lián)接軸連接的定位孔及螺栓孔。材料可以更換的拋光盤安裝在鋁合金拋光盤座的圓槽中并通過螺栓連接,鋁合金拋光盤座另一面的梯形截面的環(huán)形槽內(nèi)安裝有三個動平衡調(diào)整塊,鋁合金拋光盤座通過聯(lián)接軸與電主軸相連接。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、重量輕、轉(zhuǎn)動慣量小,可以更換多種材料的拋光盤,動平衡調(diào)整簡單方便等優(yōu)點。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是拋光盤座的A向視圖。圖中1電主軸、2聯(lián)接軸、3動平衡調(diào)整塊、4調(diào)整螺釘、5拋光盤座、6拋光盤、7聯(lián)接螺栓。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的結(jié)構(gòu)原理和工作過程作進一步說明。一種金剛石膜的超高速復(fù)合拋光盤,如圖1所示,它包括電主軸1、聯(lián)接軸2、動平衡調(diào)整塊3、調(diào)整螺釘4、鋁合金拋光盤座5、材料可更換的拋光盤6、聯(lián)接螺栓7。聯(lián)接軸2 通過螺紋與電主軸1聯(lián)接,材料可更換的拋光盤6放置在鋁合金拋光盤座5上方的圓槽中、 它們通過螺栓7與聯(lián)接軸2的法蘭聯(lián)接,動平衡調(diào)整塊3安裝在鋁合金拋光盤座5下面的環(huán)形槽中,通過調(diào)整三個動平衡調(diào)整塊圓周方向的相對位置達到調(diào)整動平衡的目的,動平頁衡調(diào)整好后擰緊調(diào)整螺釘4將動平衡調(diào)整塊固定。由電主軸1通過聯(lián)接軸2帶動鋁合金拋光盤座及材料可更換的拋光盤6 —起旋轉(zhuǎn)。
權(quán)利要求1. 一種金剛石膜的超高速復(fù)合拋光盤,其特征在于包括拋光盤、鋁合金拋光盤座、動平衡調(diào)整塊、聯(lián)接軸、高速電主軸;所述鋁合金拋光盤座的一面有用于安裝動平衡調(diào)整塊的環(huán)形槽,另一面有用于安裝拋光盤的圓槽,中間部位是用于和聯(lián)接軸連接的定位孔及螺栓孔, 拋光盤安裝在鋁合金拋光盤座的圓槽中并通過螺栓連接,鋁合金拋光盤座另一面的梯形截面的環(huán)形槽內(nèi)安裝有三個動平衡調(diào)整塊,鋁合金拋光盤座通過聯(lián)接軸與電主軸相連接。
專利摘要一種金剛石膜的超高速復(fù)合拋光盤,包括拋光盤、拋光盤座、動平衡調(diào)整塊、聯(lián)接軸、高速電主軸等。拋光盤通過螺栓固定在拋光盤座的圓槽中,拋光盤座通過聯(lián)接軸與高速電主軸相連接,拋光盤座的環(huán)形槽內(nèi)安裝有動平衡調(diào)整塊。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、重量輕、拋光盤更換方便,可以實現(xiàn)的拋光速度高、動平衡調(diào)整方便、成本低等優(yōu)點。
文檔編號B24D13/14GK202053192SQ20102051278
公開日2011年11月30日 申請日期2010年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月1日
發(fā)明者周麗, 許立福, 黃樹濤 申請人:沈陽理工大學(xué)
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