專利名稱：Pecvd設(shè)備翻蓋機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及PECVD設(shè)備領(lǐng)域，具體為一種PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)。
背景技術(shù)：
等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)的原理是利用低溫等離子體作能量源， 樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入 適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜。與翻蓋機構(gòu)相關(guān)的中國專利申請(申請?zhí)?0222142. X、03258946. 8、 200520062051.3,200420088781. 6,200520061424. 5,200520125544. 7,200620057185. 0、 200620063422. 4,200620026058. 4,200720049074. X)等，存在以下的不足之處1)以上專利用于PECVD設(shè)備很重的蓋板條件下，無法實現(xiàn)翻蓋功能；2)要想完成PECVD設(shè)備的翻蓋功能，成本高，可靠性差，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)，其主要解決的技術(shù)問題是 在低成本、高可靠性、結(jié)構(gòu)簡單的條件下完成PECVD設(shè)備重蓋的開啟，并可以在不加附屬設(shè) 備的條件下完成蓋板翻轉(zhuǎn)90度的定位功能，為設(shè)備維護(hù)提供的可靠的保證。本實用新型的技術(shù)方案是一種PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)，該翻蓋機構(gòu)設(shè)有雙孔限位鉸鏈、氣彈簧、鉸鏈旋轉(zhuǎn)軸、 限位銷，雙孔限位鉸鏈包括鉸鏈上半部分、鉸鏈下半部分，鉸鏈上半部分與蓋板連接，鉸鏈 下半部分與機體連接；鉸鏈上半部分設(shè)有兩個孔，鉸鏈下半部分設(shè)有兩個孔，鉸鏈旋轉(zhuǎn)軸分 別穿過鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分的一個孔，使鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分鉸接；氣 彈簧的一端連接于機體上，氣彈簧的另一端連接于蓋板上。所述的PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)，鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分的另一孔在蓋板旋轉(zhuǎn) 開啟時相對，限位銷分別穿過所述鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分的另一孔，使鉸鏈上半部 分和鉸鏈下半部分連接。所述的PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)，蓋板旋轉(zhuǎn)開啟的角度為0 90度，當(dāng)上蓋板翻轉(zhuǎn)到 90度時，由于鉸鏈下半部分帶有限位塊，使得翻轉(zhuǎn)停止，這時插入限位銷鎖死。 所述的PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)，蓋板的一端設(shè)有把手。所述的PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)，鉸鏈下半部分帶有限位塊，限位塊與鉸鏈下半部分 一體結(jié)構(gòu)，限位塊設(shè)在與鉸鏈上半部分旋轉(zhuǎn)方向相對應(yīng)的位置。本實用新型的有益效果是1、本實用新型采用獨特的雙孔限位鉸鏈與氣彈簧配合使用，鉸鏈上半部分與蓋板 連接，下半部分與機體連接，中間雙孔結(jié)構(gòu)其中一個孔插入旋轉(zhuǎn)軸用于鉸鏈的連接和旋轉(zhuǎn) 作用，使鉸鏈上半部分能繞軸旋轉(zhuǎn)。另一個孔用于蓋板旋轉(zhuǎn)90度時，將一根限位銷插入鉸 鏈上半部分和鉸鏈下半部分的另一孔，將鉸鏈限位。氣彈簧在整個機構(gòu)中起到助推作用使開蓋更加省力，在關(guān)蓋時起到緩沖作用，使蓋板不會立刻與機體相撞導(dǎo)致機體或蓋板損傷。2、本實用新型翻蓋旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡單、成本低、可靠性高、可以翻蓋90度自鎖、 強度大、使用壽命長，減少生產(chǎn)用材料和生產(chǎn)成本、旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)順暢、穩(wěn)定，很好的實現(xiàn) PECVD設(shè)備腔體重蓋的開啟功能。

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖(合蓋狀態(tài))。圖2為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖(開蓋90°狀態(tài))。圖中，1、把手；2、蓋板；3、氣彈簧；4、鉸鏈上半部分；5、鉸鏈旋轉(zhuǎn)軸；6、鉸鏈下半部 分；7、機體；8、限位銷；9、限位塊。
具體實施方式
如圖1-2所示，本實用新型PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)主要包括把手1、蓋板2、氣彈簧 3、鉸鏈上半部分4、鉸鏈旋轉(zhuǎn)軸5、鉸鏈下半部分6、機體7、限位銷8等，具體結(jié)構(gòu)如下鉸鏈上半部分4與蓋板2連接，鉸鏈下半部分6與機體7連接。鉸鏈上半部分4 設(shè)有兩個孔(鉸接孔和限位孔)，鉸鏈下半部分6設(shè)有兩個孔(鉸接孔和限位孔)，鉸鏈旋 轉(zhuǎn)軸5分別穿過鉸鏈上半部分4和鉸鏈下半部分6的一個孔(鉸接孔)，使鉸鏈上半部分4 和鉸鏈下半部分6鉸接，旋轉(zhuǎn)軸用于鉸鏈的連接和旋轉(zhuǎn)作用，使鉸鏈上半部分能繞軸旋轉(zhuǎn)； 鉸鏈上半部分4和鉸鏈下半部分6的另一孔在蓋板2旋轉(zhuǎn)到達(dá)90度時相對，限位銷8分別 穿過所述鉸鏈上半部分4和鉸鏈下半部分6的另一孔(限位孔)，使使鉸鏈上半部分4和鉸 鏈下半部分6連接，將鉸鏈限位。從而，形成獨特的雙孔限位鉸鏈。氣彈簧3的一端連接于 機體7上，氣彈簧3的另一端連接于蓋板2上，蓋板的一端設(shè)有把手1，在開蓋時，需要人手 施加初始的作用力在把手上。在合蓋時，也需要人手施加初始的作用力在把手1上。本實用新型的工作過程如下在需要開蓋時，通過把手1和氣彈簧3的配合，使蓋板2繞鉸鏈旋轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動開啟， 當(dāng)蓋板2旋轉(zhuǎn)到達(dá)90度時，由于鉸鏈下半部分6帶有限位塊9，限位塊9與鉸鏈下半部分6 一體結(jié)構(gòu)，限位塊9設(shè)在與鉸鏈上半部分4旋轉(zhuǎn)方向相對應(yīng)的位置，可將鉸鏈上半部分4卡 住，使得蓋板2翻轉(zhuǎn)停止，鉸鏈上半部分4和鉸鏈下半部分6的另一孔相對，限位銷8插入 所述孔，將鉸鏈上半部分4和鉸鏈下半部分6限位，蓋子保持90度狀態(tài)固定不動，方便設(shè)備 的維護(hù)(圖2)；在需要關(guān)蓋時，將限位銷8取出，通過把手1和氣彈簧3的配合，使蓋板2繞 鉸鏈旋轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動關(guān)閉。氣彈簧在整個機構(gòu)中起到助推作用使開蓋更加省力，在關(guān)蓋時起 到緩沖作用，使蓋板不會立刻與機體相撞導(dǎo)致機體或蓋板損傷。
權(quán)利要求1.一種PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)，其特征在于該翻蓋機構(gòu)設(shè)有雙孔限位鉸鏈、氣彈簧、鉸 鏈旋轉(zhuǎn)軸、限位銷，雙孔限位鉸鏈包括鉸鏈上半部分、鉸鏈下半部分，鉸鏈上半部分與蓋板 連接，鉸鏈下半部分與機體連接；鉸鏈上半部分設(shè)有兩個孔，鉸鏈下半部分設(shè)有兩個孔，鉸 鏈旋轉(zhuǎn)軸分別穿過鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分的一個孔，使鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部 分鉸接；氣彈簧的一端連接于機體上，氣彈簧的另一端連接于蓋板上。
2.按照權(quán)利要求1所述的PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)，其特征在于鉸鏈上半部分和鉸鏈下 半部分的另一孔在蓋板旋轉(zhuǎn)開啟時相對，限位銷分別穿過所述鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部 分的另一孔，使鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分連接。
3.按照權(quán)利要求2所述的PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)，其特征在于蓋板旋轉(zhuǎn)開啟的角度為 0 90度。
4.按照權(quán)利要求1所述的PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)，其特征在于蓋板的一端設(shè)有把手。
5.按照權(quán)利要求1所述的PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)，其特征在于鉸鏈下半部分帶有限位 塊，限位塊與鉸鏈下半部分一體結(jié)構(gòu)，限位塊設(shè)在與鉸鏈上半部分旋轉(zhuǎn)方向相對應(yīng)的位置。
專利摘要本實用新型涉及PECVD設(shè)備領(lǐng)域，具體為一種PECVD設(shè)備翻蓋機構(gòu)。該翻蓋機構(gòu)設(shè)有雙孔限位鉸鏈、氣彈簧、鉸鏈旋轉(zhuǎn)軸、限位銷，雙孔限位鉸鏈包括鉸鏈上半部分、鉸鏈下半部分，鉸鏈上半部分與蓋板連接，鉸鏈下半部分與機體連接；鉸鏈上半部分設(shè)有兩個孔，鉸鏈下半部分設(shè)有兩個孔，鉸鏈旋轉(zhuǎn)軸分別穿過鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分的一個孔，使鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分鉸接；氣彈簧的一端連接于機體上，氣彈簧的另一端連接于蓋板上。本實用新型主要解決的技術(shù)問題是在低成本、高可靠性、結(jié)構(gòu)簡單的條件下完成PECVD設(shè)備重蓋的開啟，并可以在不加附屬設(shè)備的條件下完成蓋板翻轉(zhuǎn)90度的定位功能，為設(shè)備維護(hù)提供的可靠的保證。
文檔編號C23C16/44GK201785487SQ20102051247
公開日2011年4月6日 申請日期2010年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月1日
發(fā)明者梁學(xué)敏 申請人:沈陽拓荊科技有限公司