專利名稱：換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
拜集成電路的蓬勃發(fā)展，使現(xiàn)今電子產(chǎn)品越發(fā)小巧精密，而每種集成電路的核心 零件“芯片”，是先從每塊標(biāo)準(zhǔn)直徑晶圓切割而來(lái)，由于電子產(chǎn)品越做越小、越多機(jī)能，使得 單一晶圓裁切出的芯片，也越細(xì)小多數(shù)量，假若局部稍切磨壞就會(huì)壞損好幾片芯片，這也代 表好幾件原本有機(jī)會(huì)在市場(chǎng)上，創(chuàng)造可觀利潤(rùn)的電子產(chǎn)品損失泡湯，因此研磨晶圓非常重 要，而供應(yīng)晶圓研磨機(jī)研磨晶圓的晶圓研磨液自然馬虎不得。晶圓研磨液為水性研磨漿液，二氧化硅，業(yè)界英文通稱為SLURRY，必須從原液混入 純水(業(yè)界英文通稱為DI)調(diào)配得宜，才適合晶圓研磨，混入純水太多會(huì)變得過(guò)稀無(wú)研磨效 果，或混入純水太少變得過(guò)濃產(chǎn)生過(guò)量研磨，另外晶圓液混酸(即加入純水及酸)完后向晶 圓研磨機(jī)輸送晶圓研磨液前，還要將過(guò)大的微粒濾除，以避免過(guò)大的微粒刮傷晶圓表面，現(xiàn) 有從原料槽抽出晶圓研磨原液跟純水定量注入混酸槽完成混酸，再抽出拌妥晶圓研磨液到 供應(yīng)槽儲(chǔ)備，并由供應(yīng)槽供應(yīng)拌妥晶圓研磨液到晶圓研磨機(jī)進(jìn)行后續(xù)研磨作業(yè)，都有完整 的自控生產(chǎn)回路。且如


圖1所示，現(xiàn)有晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)的供應(yīng)槽及周圍線路圖，其過(guò)濾晶圓研 磨液的過(guò)濾器10、11、12、13，是以數(shù)只裝設(shè)于供應(yīng)槽20的供應(yīng)槽輸出管21，該些過(guò)濾器10、 11、12、13的過(guò)濾能力，約在7μ粒徑大小，供應(yīng)槽20流出的拌妥晶圓研磨液，必先經(jīng)過(guò)濾 器10、11、12、13過(guò)濾，將較大微粒濾除后，才供應(yīng)至主管路送往研磨作業(yè)，但此結(jié)構(gòu)會(huì)造成 以下缺點(diǎn)1.于使用一段時(shí)間，濾芯阻塞到設(shè)定限度，但仍在生產(chǎn)當(dāng)中時(shí)，礙于臨時(shí)停機(jī)換修 會(huì)導(dǎo)致整批生產(chǎn)后續(xù)難以銜接的完全損失，莫不想不停機(jī)很快地?fù)屝迵Q好新濾芯，但一拆 到濾芯，就會(huì)使供應(yīng)槽輸出管的主供應(yīng)系統(tǒng)斷開，產(chǎn)生輸出的晶圓研磨液壓力及流量驟減， 導(dǎo)致研磨晶圓時(shí)流量壓力不均的狀況，而剛換好的濾芯也須要等一段時(shí)間，才會(huì)注滿待過(guò) 濾的濾晶圓研磨液，無(wú)法馬上回復(fù)流量壓力，因此縱使迅速地?fù)Q好新濾芯，也會(huì)因瞬間改變 流量壓力，對(duì)研磨質(zhì)量產(chǎn)生影響，使晶圓不良率升高。2.再由于過(guò)濾器位于主供應(yīng)系統(tǒng)上，因此無(wú)法用太過(guò)精密的濾芯去過(guò)濾，怕會(huì)影 響整個(gè)供應(yīng)系統(tǒng)的壓力及流量，而造成晶圓研磨時(shí)的流量及壓力不穩(wěn)定，因此若采用精密 過(guò)濾能力在7μ以下的濾芯，會(huì)很容易阻塞，導(dǎo)致更換頻繁讓主供應(yīng)系統(tǒng)上的晶圓研磨液 壓力及流量不穩(wěn)定。有鑒于現(xiàn)有晶圓研磨液生產(chǎn)過(guò)濾構(gòu)造，導(dǎo)致上述影響研磨晶圓壓力流量不穩(wěn)的種 種缺點(diǎn)，因而，本創(chuàng)作人乃積極研究改進(jìn)之道，終于研制出本實(shí)用新型。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的主要技術(shù)問(wèn)題在于，克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，而提供一種換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)，使產(chǎn)出當(dāng)中，過(guò)濾器的濾芯阻 塞到設(shè)定限度時(shí)，不停機(jī)換新濾芯的短暫搶修期間，仍能借由供應(yīng)槽內(nèi)穩(wěn)定的拌妥晶圓研 磨液存量，及暢通不受換修濾芯波及的供應(yīng)槽輸出管，使晶圓研磨機(jī)仍有穩(wěn)定的研磨液壓 力及流量進(jìn)行研磨，保持晶圓研磨良率，可將更小微粒過(guò)濾去除，降低研磨晶圓刮傷表面的 機(jī)率。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)，主要由一混酸稀釋晶圓 研磨原液的混酸槽、至少一只濾除過(guò)大微粒的過(guò)濾器、及一儲(chǔ)備并供應(yīng)拌妥晶圓研磨液到 晶圓研磨機(jī)的供應(yīng)槽管接而成，其特征在于該些過(guò)濾器不設(shè)于供應(yīng)槽的供應(yīng)槽輸出管，而 設(shè)于供應(yīng)槽的供應(yīng)槽輸入管，使產(chǎn)出當(dāng)中，過(guò)濾器的濾芯阻塞到設(shè)定限度時(shí)，不停機(jī)換新濾 芯的短暫搶修期間，仍能借由供應(yīng)槽內(nèi)穩(wěn)定的拌妥晶圓研磨液存量，及暢通不受換修濾芯 波及的供應(yīng)槽輸出管，使晶圓研磨機(jī)仍有穩(wěn)定的研磨液壓力及流量進(jìn)行研磨，保持晶圓研 磨良率。前述過(guò)濾器濾芯孔徑為6 μ以至于1 μ。本實(shí)用新型此種換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)，因更換濾芯 不會(huì)造成供應(yīng)槽輸出管內(nèi)，晶圓研磨液的壓力及流量壓降、升壓等不穩(wěn)定狀況，因此可時(shí)常 不停機(jī)就更換濾芯，就能使用較精密的濾芯(6 μ以至于1 μ )進(jìn)行過(guò)濾，如此更可將更小微 粒過(guò)濾去除，更降低研磨晶圓刮傷表面的機(jī)率。本實(shí)用新型的有益效果是，使產(chǎn)出當(dāng)中，過(guò)濾器的濾芯阻塞到設(shè)定限度時(shí)，不停機(jī) 換新濾芯的短暫搶修期間，仍能借由供應(yīng)槽內(nèi)穩(wěn)定的拌妥晶圓研磨液存量，及暢通不受換 修濾芯波及的供應(yīng)槽輸出管，使晶圓研磨機(jī)仍有穩(wěn)定的研磨液壓力及流量進(jìn)行研磨，保持 晶圓研磨良率，可將更小微粒過(guò)濾去除，降低研磨晶圓刮傷表面的機(jī)率。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
圖1是現(xiàn)有晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)的供應(yīng)槽及周圍線路圖。圖2是裝設(shè)本實(shí)用新型換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)的線 路圖。圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明10、11、12、13....過(guò)濾器301、302....供應(yīng)槽輸入管20····供應(yīng)槽21···.供應(yīng)槽輸出管100....混酸槽200、201…·過(guò)濾器300. · · ·供應(yīng)槽
具體實(shí)施方式
如圖2所示，本實(shí)用新型此種換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié) 構(gòu)，主要由一混酸稀釋晶圓研磨原液的混酸槽100、至少一只濾除過(guò)大微粒的過(guò)濾器200、
4201、及一儲(chǔ)備并供應(yīng)拌妥晶圓研磨液到晶圓研磨機(jī)(由于本實(shí)用新型是改進(jìn)到晶圓研磨 機(jī)前的生產(chǎn)結(jié)構(gòu)，因此圖中未示晶圓研磨機(jī))的供應(yīng)槽300管接而成，特別使該些過(guò)濾器 200,201設(shè)于供應(yīng)槽輸入管301、302，(該些管301、302同時(shí)也是混酸槽100的輸出管)。由此構(gòu)成，使產(chǎn)出當(dāng)中，過(guò)濾器200、201的濾芯阻塞到設(shè)定限度時(shí)，不停機(jī)換新濾 芯的短暫搶修期間，仍能借由供應(yīng)槽300內(nèi)穩(wěn)定的拌妥晶圓研磨液存量，及暢通不受換修 濾芯波及的供應(yīng)槽輸出管301、302，使晶圓研磨機(jī)仍有穩(wěn)定的研磨液進(jìn)行研磨，改進(jìn)現(xiàn)有過(guò) 濾器設(shè)于供應(yīng)槽輸出管，不停機(jī)換新濾芯的搶修期間，會(huì)造成對(duì)晶圓研磨產(chǎn)生不穩(wěn)定供應(yīng) 研磨液的缺點(diǎn)，而且所揭示的結(jié)構(gòu)亦是具有前所未有的創(chuàng)新構(gòu)造，具有新穎性、創(chuàng)造性、實(shí) 用性，符合有關(guān)新型專利要件的規(guī)定，故依法提起申請(qǐng)。以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上 的限制，凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與 修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)，主要由一混酸稀釋晶圓研磨原液的混酸槽、至少一只濾除過(guò)大微粒的過(guò)濾器、及一儲(chǔ)備并供應(yīng)拌妥晶圓研磨液到晶圓研磨機(jī)的供應(yīng)槽管接而成，其特征在于該些過(guò)濾器不設(shè)于供應(yīng)槽的供應(yīng)槽輸出管，而設(shè)于供應(yīng)槽的供應(yīng)槽輸入管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)，其特征 在于所述過(guò)濾器濾芯孔徑為6 μ以至于1μ。
專利摘要一種換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)，主要由一混酸稀釋晶圓研磨原液的混酸槽、至少一只濾除過(guò)大微粒的過(guò)濾器、及一儲(chǔ)備并供應(yīng)拌妥晶圓研磨液到晶圓研磨機(jī)的供應(yīng)槽管接而成，該些過(guò)濾器不設(shè)于供應(yīng)槽的供應(yīng)槽輸出管，而設(shè)于供應(yīng)槽的供應(yīng)槽輸入管。本實(shí)用新型使產(chǎn)出當(dāng)中，過(guò)濾器的濾芯阻塞到設(shè)定限度時(shí)，不停機(jī)換新濾芯的短暫搶修期間，仍能借由供應(yīng)槽內(nèi)穩(wěn)定的拌妥晶圓研磨液存量，及暢通不受換修濾芯波及的供應(yīng)槽輸出管，使晶圓研磨機(jī)仍有穩(wěn)定的研磨液壓力及流量進(jìn)行研磨，保持晶圓研磨良率，可將更小微粒過(guò)濾去除，降低研磨晶圓刮傷表面的機(jī)率。
文檔編號(hào)B24B57/02GK201751104SQ20102022379
公開日2011年2月23日 申請(qǐng)日期2010年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月12日
發(fā)明者黃怡文 申請(qǐng)人:宸沅國(guó)際股份有限公司