專利名稱：緊湊型靈敏氣缸的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及雙面拋光/研磨機(jī)領(lǐng)域，尤其涉及雙面拋光/研磨機(jī)上盤系統(tǒng)的控制 壓力用氣缸的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
電子專用加工設(shè)備雙面拋光機(jī)的壓力控制通常采用氣動(dòng)控制，氣缸通常作為執(zhí)行 元件。傳統(tǒng)的拋光設(shè)備的加壓氣缸通常采用普通氣缸或低摩擦氣缸，均為標(biāo)準(zhǔn)氣缸。由于 雙面拋光/研磨設(shè)備的使用環(huán)境對潔凈度要求較高，設(shè)備通常在潔凈廠房內(nèi)使用，因此對 設(shè)備的高度有所限制，對作用壓力要求精確平穩(wěn)。在實(shí)際生產(chǎn)中，如果采用市場上可采購到 的標(biāo)準(zhǔn)氣缸，壓力精度、結(jié)構(gòu)尺寸、潔凈要求均不能滿足工藝使用的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種緊湊型靈敏氣缸。以解決因采 用標(biāo)準(zhǔn)氣缸導(dǎo)致設(shè)備高度過高及不易清潔的問題，同時(shí)實(shí)現(xiàn)對上盤系統(tǒng)壓力的精確控制。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案為一種緊湊型靈敏氣缸，包括有氣缸后 蓋(1)、氣缸前蓋(9)分別與缸筒(13)連接，缸筒(13)上設(shè)有上通氣口(15)活塞桿(8)上 設(shè)有活塞(5)，其主要特點(diǎn)是包括有在氣缸后蓋(1)上設(shè)有與主氣缸連接用螺紋孔(2)。所述的緊湊型靈敏氣缸，所述的活塞桿(8)的桿端設(shè)有與拉力傳感器連接的桿端 螺紋。所述的緊湊型靈敏氣缸，在所述的氣缸后蓋(1)與活塞(5)之間設(shè)有上緩沖墊 (14)；在氣缸前蓋(9)與活塞(5)之間設(shè)有下緩沖墊(7)。所述的緊湊型靈敏氣缸，在所述的活塞(5)上設(shè)有活塞密封圈(6)。所述的緊湊型靈敏氣缸，在所述的活塞密封圈(6)上涂有低摩擦潤滑脂。所述的 活塞密封圈(6)為特殊橡膠。在所述的缸筒內(nèi)壁采用珩磨加工，光潔度小于0.4 μ m。從而使氣缸動(dòng)作靈敏，啟動(dòng) 壓力0. 005Mpa，而普通氣缸為0. 05MPa。本發(fā)明的有益效果本發(fā)明上盤系統(tǒng)的升降和加壓分別由兩個(gè)串聯(lián)的氣缸完成，主氣缸負(fù)責(zé)上盤系統(tǒng) 的快速升降，加壓缸負(fù)責(zé)上盤系統(tǒng)的壓力控制。采用傳統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)氣缸時(shí)，主氣缸和加壓氣缸 之間由過渡連接法蘭連接，無形中增大了軸向尺寸。在本發(fā)明中，將加壓氣缸的后端蓋加 厚，并在后端蓋中間位置做有與主氣缸缸桿桿端螺紋一致的螺紋孔，這樣主氣缸可直接與 加壓氣缸相連，省去了中間的過渡連接法蘭。加壓缸的缸桿前端外螺紋做成與拉力傳感器 的螺紋一致，加壓缸與拉力傳感器可直接相連，同樣可省去中間的過渡零件。采用以上結(jié) 構(gòu)，有效的縮小了軸向安裝尺寸，大大縮短了上盤系統(tǒng)的安裝尺寸。前缸蓋的焊接結(jié)構(gòu)，后 缸蓋采用沉頭螺釘連接，一方面頭大大的增強(qiáng)了氣缸使用安全性，另一方面氣缸外觀整齊， 光滑美觀。特殊的活塞密封件，不僅能夠起到有效的密封作用，還實(shí)現(xiàn)了運(yùn)動(dòng)的低摩擦性，是實(shí)現(xiàn)上盤系統(tǒng)壓力精確控制的有力保證。本發(fā)明緊湊型靈敏氣缸，主要應(yīng)用于電子專用加工設(shè)備雙面拋光/研磨機(jī)上盤系 統(tǒng)的壓力控制及緩升緩降用，也可用于其他需要精確壓力控制及低速平穩(wěn)動(dòng)作控制的場
I=I O


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2升降和加壓兩個(gè)氣缸串聯(lián)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、氣缸后蓋；2、與主氣缸連接用螺紋孔；3密封圈；4、螺釘連接孔；5、活塞； 6、密封圈；7、緩沖墊；8、活塞桿；9、前蓋；10、與拉力傳感連接的桿端螺紋；11、密封圈；12、 通氣口 ；13、缸筒；14緩沖墊；15、通氣口 ；16、主氣缸杠桿；17、螺母。
具體實(shí)施例方式以下對本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限 定本發(fā)明的范圍。實(shí)施例1 一種緊湊型靈敏氣缸，包括有氣缸后蓋1、氣缸前蓋9分別與缸筒13連 接，缸筒13上設(shè)有上通氣口 15活塞桿8上設(shè)有活塞5，包括有在氣缸后蓋1上設(shè)有與主氣 缸連接用螺紋孔2。所述的活塞桿8的桿端設(shè)有與拉力傳感器連接的桿端螺紋。在所述的 氣缸后蓋1與活塞5之間設(shè)有上緩沖墊14 ；在氣缸前蓋9與活塞5之間設(shè)有下緩沖墊7。 在所述的活塞5上設(shè)有活塞密封圈6。在所述的活塞密封圈6上涂有低摩擦潤滑脂。加壓 缸前缸蓋與缸筒間采用焊接結(jié)構(gòu)，后缸蓋和缸筒采用沉頭螺釘連接，后缸蓋中間位置做有 與主氣缸缸桿桿端螺紋一致的螺紋孔，加壓缸的缸桿桿端螺紋分為兩段，其中前端外螺紋 與拉力傳感器的螺紋一致，氣缸行程兩端采用彈性緩沖，活塞采用整體式低摩擦型，在保證 密封可靠的前提下，實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)的低摩擦性。氣缸側(cè)面留有兩個(gè)通氣口，氣缸內(nèi)添加低摩擦潤 滑脂。實(shí)施例2 如圖2，所述的緊湊型靈敏氣缸通過與主氣缸連接用螺紋孔2與主氣缸 相連接。本氣缸用于雙面拋光/研磨機(jī)工作時(shí)上盤的緩升緩降及加工壓力精確控制，主氣 缸杠桿(或其他動(dòng)作機(jī)構(gòu))旋入其后蓋螺紋孔即可進(jìn)行大行程快升快降動(dòng)作。上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原 則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種緊湊型靈敏氣缸，包括有氣缸后蓋(1)、氣缸前蓋(9)分別與缸筒(13)連接，缸筒(13)上設(shè)有上通氣口(15)，活塞桿(8)上設(shè)有活塞(5)，其特征是，還包括有在氣缸后蓋(1)上設(shè)有與主氣缸連接用螺紋孔(2)。
2.如權(quán)利要求1所述的緊湊型靈敏氣缸，其特征是，所述的活塞桿(8)的桿端設(shè)有與拉 力傳感器連接的桿端螺紋。
3.如權(quán)利要求1或2所述的緊湊型靈敏氣缸，其特征是，在所述的氣缸后蓋(1)與活塞 (5)之間設(shè)有上緩沖墊(14)；在氣缸前蓋(9)與活塞(5)之間設(shè)有下緩沖墊(7)。
4.如權(quán)利要求1所述的緊湊型靈敏氣缸，其特征是，在所述的活塞(5)上設(shè)有活塞密封 圈(6)。
5.如權(quán)利要求1所述的緊湊型靈敏氣缸，其特征是，在所述的活塞密封圈(6)上涂有低 摩擦潤滑脂。
6.如權(quán)利要求1所述的緊湊型靈敏氣缸，其特征是，在所述的缸筒內(nèi)壁采用珩磨加工， 光潔度小于0.4 μ m。
全文摘要
本發(fā)明涉及雙面拋光/研磨機(jī)領(lǐng)域，尤其涉及雙面拋光/研磨機(jī)上盤系統(tǒng)的控制壓力用氣缸的結(jié)構(gòu)。一種緊湊型靈敏氣缸，包括有氣缸后蓋(1)、氣缸前蓋(9)分別與缸筒(13)連接，缸筒(13)上設(shè)有上通氣口(15)活塞桿(8)上設(shè)有活塞(5)，其主要特點(diǎn)是包括有在氣缸后蓋(1)上設(shè)有與主氣缸連接用螺紋孔(2)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是有效的縮小了軸向安裝尺寸，大大縮短了上盤系統(tǒng)的安裝尺寸。前缸蓋的焊接結(jié)構(gòu)，后缸蓋采用沉頭螺釘連接，一方面頭大大的增強(qiáng)了氣缸使用安全性，另一方面氣缸外觀整齊，光滑美觀。特殊的活塞密封件，不僅能夠起到有效的密封作用，還實(shí)現(xiàn)了運(yùn)動(dòng)的低摩擦性，是實(shí)現(xiàn)上盤系統(tǒng)壓力精確控制的有力保證。
文檔編號B24B41/00GK101982301SQ201010270759
公開日2011年3月2日 申請日期2010年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月30日
發(fā)明者梁春, 金萬斌 申請人:蘭州瑞德實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司