專利名稱：外圓磨床晶體對(duì)中心夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料加工領(lǐng)域，屬于一種用在外圓磨床上的晶體對(duì)中心夾具。
背景技術(shù)：
由于半導(dǎo)體材料屬于硬脆材料，不便于對(duì)其加工頂尖孔，因此，晶體被裝夾到磨床上時(shí)，如何對(duì)中心成了影響加工效率及加工質(zhì)量的重要因素。目前，其對(duì)中心方式常采用千 分表對(duì)中心方式，即把晶體預(yù)先裝夾到磨床上，然后用千分表測(cè)量晶體頭尾在同一個(gè)圓面 上的變動(dòng)數(shù)值，并用橡皮錘敲擊晶體，使千分表的變動(dòng)值減小到一個(gè)可以接受的數(shù)值即可。 此方法對(duì)中心效率低，并且在敲擊過程中對(duì)機(jī)床頂尖的精度造成一定影響，時(shí)間長(zhǎng)了還會(huì) 造成頭架主軸軸承的損壞。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種用在外圓磨床晶體對(duì)中心夾具，本夾具裝夾晶棒效 率高、對(duì)中心準(zhǔn)確且不會(huì)對(duì)機(jī)床產(chǎn)生損害。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取以下設(shè)計(jì)方案一種外圓磨床晶體對(duì)中心夾具，它包括2個(gè)定位支架、2個(gè)位于定位支架中部的 帶刻度的支桿，帶刻度的支桿高度可調(diào)。每個(gè)定位支架呈“Y”型，“Y”型的上部為帶錐孔的圓柱棒，圓柱棒與機(jī)床兩頭頂尖 外圓配合，單晶棒兩端與機(jī)床兩頭頂尖接觸。固定桿，插入固定桿內(nèi)的活動(dòng)桿、固定桿與活動(dòng)桿以鎖定螺釘固定。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是裝夾晶棒效率高、對(duì)中心準(zhǔn)確且不會(huì)對(duì)機(jī)床產(chǎn)生損害，并可 以有多種規(guī)格以適應(yīng)不同長(zhǎng)度、直徑區(qū)間的晶體。

圖Ia為本實(shí)用新型主視圖；圖Ib為圖Ia的側(cè)視圖圖2為利用本實(shí)用新型裝夾晶棒示意圖圖3為支桿示意圖圖4為圓柱棒示意圖
具體實(shí)施方式
參見圖1、圖2、圖3、圖4所示一種外圓磨床晶體對(duì)中心夾具，包括定位支架1、帶 錐孔的圓柱棒1-1。帶刻度的支桿2、3，其中支桿又由活動(dòng)桿4、固定桿6、鎖定螺釘5組成。 活動(dòng)桿插入固定桿內(nèi)、固定桿與活動(dòng)桿以鎖定螺釘固定?；顒?dòng)桿4上帶有長(zhǎng)度標(biāo)尺，可以調(diào) 節(jié)到任意高度并用鎖定螺釘5鎖緊。具體操作是在晶體裝夾過程中測(cè)量出夾具兩支距離1的晶體直徑ab，然后通過計(jì)算得出夾具上兩支桿相應(yīng)高度hi、h2即通過直徑差計(jì)算出高度差，測(cè)量晶具體長(zhǎng)度并選用合適長(zhǎng)度的夾具，在裝夾過程中，使定位支架“Y”型結(jié)構(gòu)靠實(shí)機(jī)床頭架頂尖外圓面和機(jī)床尾 架頂尖外圓面，同時(shí)晶棒靠實(shí)支桿“Y”型結(jié)構(gòu)。然后鎖緊機(jī)床尾架頂尖即可。通過兩點(diǎn)定 位方式完成晶體對(duì)中心操作。 此對(duì)中心方式的原理為通過兩點(diǎn)法確定中心線，其中機(jī)床頭架頂尖外圓面和尾 架頂尖外圓面為不變，只需調(diào)節(jié)支桿2、3到相應(yīng)的高度即可。由于晶棒沒有頂尖孔，因此在 裝夾過程中需要帶錐孔的圓柱棒1-1配合使用。
權(quán)利要求一種外圓磨床晶體對(duì)中心夾具，其特征在于它包括2個(gè)定位支架、2個(gè)位于定位支架中部的帶刻度的支桿，帶刻度的支桿高度可調(diào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外圓磨床晶體對(duì)中心夾具，其特征在于每個(gè)定位支架 呈“γ”型，“Y”型的上部為帶錐孔的圓柱棒，圓柱棒與機(jī)床兩頭頂尖外圓配合，單晶棒兩端 與機(jī)床兩頭頂尖接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種外圓磨床晶體對(duì)中心夾具，其特征在于所述的帶 刻度支桿包括固定桿，插入固定桿內(nèi)的活動(dòng)桿、固定桿與活動(dòng)桿以鎖定螺釘固定。
專利摘要一種外圓磨床晶體對(duì)中心夾具，它包括2個(gè)定位支架、2個(gè)位于定位支架中部的帶刻度的支桿，帶刻度的支桿高度可調(diào)，每個(gè)定位支架呈“Y”型，“Y”型的上部為帶錐孔的圓柱棒，圓柱棒與機(jī)床兩頭頂尖外圓配合，單晶棒兩端與機(jī)床兩頭頂尖接觸。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是本夾具裝夾晶棒效率高、對(duì)中心準(zhǔn)確且不會(huì)對(duì)機(jī)床產(chǎn)生損害。其可以有多種規(guī)格以適應(yīng)不同長(zhǎng)度、直徑區(qū)間的晶體。
文檔編號(hào)B24B5/02GK201586898SQ20092027827
公開日2010年9月22日 申請(qǐng)日期2009年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月28日
發(fā)明者馮德伸, 李秀輝, 閆會(huì)民, 閔振東 申請(qǐng)人:北京有色金屬研究總院;北京國(guó)晶輝紅外光學(xué)科技有限公司